曝光装置、曝光方法、器件制造方法、程序及记录介质制造方法及图纸

曝光装置具有：包括配置在光学部件周围的至少一部分中的第1部件、和配置在光学部件周围的一部分中的第2部件，并能够形成液体的液浸空间的液浸部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置。控制装置以使得第2部件的第1动作与第2部件的第2动作不同的方式控制驱动装置，所述第2部件的第1动作是从包含在同一列中的第1曝光区域的曝光结束起到第2曝光区域的曝光开始为止的、在衬底的第1移动期间中的第2部件的第1动作，所述第2部件的第2动作是从某列的第3曝光区域的曝光结束起到另一列的第4曝光区域的曝光开始为止的、在衬底的第2移动期间中的第2部件的第2动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】曝光装置、曝光方法、器件制造方法、程序及记录介质
本专利技术涉及曝光装置、曝光方法、器件制造方法、程序及记录介质。本申请基于2012年10月12日申请的日本国专利申请2012-227051号主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
在光刻工序中所使用的曝光装置中，已知例如下述专利文献1所公开的那样的、经由液体以曝光用光对衬底进行曝光的液浸曝光装置。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第7864292号
技术实现思路
在液浸曝光装置中，一旦例如液体从规定的空间流出或是残留在衬底等物体上，就有可能产生曝光不良。其结果是，有可能产生不良器件。本专利技术方式的目的在于提供能够抑制产生曝光不良的曝光装置及曝光方法。此外，本专利技术方式的目的还在于提供能够抑制产生不良器件的器件制造方法、程序及记录介质。根据本专利技术的第1方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在衬底中一个列所包含的沿与扫描方向交叉的方向配置的多个曝光区域的每一个被依次曝光前或曝光后，进行对与一个列不同的列的曝光区域的曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从同一列所包含的第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从某列的第3曝光区域的曝光结束到另一列的第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第2方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括具有第1下表面且配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和具有隔着间隙而与第1下表面相对的第2上表面以及能够与衬底相对的第2下表面且配置在曝光用光的光路的周围的至少一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在衬底中一个列所包含的沿与扫描方向交叉的方向配置的多个曝光区域的每一个被依次曝光前或曝光后，进行对与一个列不同的列的曝光区域的曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从同一列所包含的第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从某列的第3曝光区域的曝光结束到另一列的第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第3方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在对关于扫描方向为第1尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对关于扫描方向为与第1尺寸不同的第2尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从第3曝光区域的曝光结束到第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第4方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括具有第1下表面且配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和具有隔着间隙而与第1下表面相对的第2上表面以及能够与衬底相对的第2下表面且配置在曝光用光的光路的周围的至少一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在对关于扫描方向为第1尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对关于扫描方向为与第1尺寸不同的第2尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从第3曝光区域的曝光结束到第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第5方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在对关于扫描方向分别为第1尺寸、第2尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对关于扫描方向为第3尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从第3曝光区域的曝光结束到第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第6方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括具有第1下表面且配置在光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和具有隔着间隙而与第1下表面相对的第2上表面以及能够与衬底相对的第2下表面且配置在曝光用光的光路的周围的至少一部分中的第2部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置，在对关于扫描方向分别为第1尺寸、第2尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对关于扫描方向为第3尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，控制装置控制驱动装置，以使得从第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的衬底的第1移动期间中的、第2部件的第1动作与从第3曝光区域的曝光结束到第4曝光区域的曝光开始的衬底的第2移动期间中的、第2部件的第2动作不同。根据本专利技术的第7方式，提供一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由射出面与衬底之间的液体并利用曝光用光对衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，曝光装置包括：能够形成液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在光学部件的周围的至少一部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由所述射出面与所述衬底之间的液体并利用所述曝光用光对所述衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，所述曝光装置的特征在于，包括：能够形成所述液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在所述光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在所述光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动的驱动装置；和控制所述驱动装置的控制装置，在所述衬底中一个列所包含的沿与所述扫描方向交叉的方向配置的多个曝光区域的每一个被依次曝光前或曝光后，进行对与所述一个列不同的列的曝光区域的曝光，所述控制装置控制所述驱动装置，以使得从同一列所包含的第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的所述衬底的第1移动期间中的、所述第2部件的第1动作与从某列的第3曝光区域的曝光结束到另一列的第4曝光区域的曝光开始的所述衬底的第2移动期间中的、所述第2部件的第2动作不同。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.10.12 JP 2012-2270511.一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由所述射出面与所述衬底之间的液体并利用所述曝光用光对所述衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，所述曝光装置的特征在于，包括：能够形成所述液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在所述光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在所述曝光用光的光路的周围的至少一部分中的第2部件，所述第1部件具有第1下表面，所述第2部件具有隔着间隙而与所述第1下表面相对的第2上表面以及能够与所述衬底相对的第2下表面；能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动的驱动装置；和控制所述驱动装置的控制装置，在所述衬底中一个列所包含的沿与所述扫描方向交叉的方向配置的多个曝光区域的每一个被依次曝光前或曝光后，进行对与所述一个列不同的列的曝光区域的曝光，所述控制装置控制所述驱动装置，以使得从同一列所包含的第1曝光区域的曝光结束到第2曝光区域的曝光开始的所述衬底的第1移动期间中的、所述第2部件的第1动作与从某列的第3曝光区域的曝光结束到另一列的第4曝光区域的曝光开始的所述衬底的第2移动期间中的、所述第2部件的第2动作不同，还具有对所述液浸空间的液体的至少一部分进行回收的流体回收部，所述流体回收部配置于所述第2部件。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述第3曝光区域包含在与所述第1曝光区域相同的列中。3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述第2曝光区域关于与所述扫描方向交叉的方向而配置在所述第1曝光区域的相邻位置。4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，包含所述第4曝光区域的列关于所述扫描方向而配置在包含所述第3曝光区域的列的相邻位置。5.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动方向是不同的。6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述移动方向包含与所述扫描方向交叉的方向。7.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间，所述第2部件关于与所述扫描方向交叉的方向而向一侧移动，在所述第2移动期间，所述第2部件关于与所述扫描方向交叉的方向而向一侧及另一侧移动。8.根据权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间，所述衬底关于与所述扫描方向交叉的方向而向一侧移动，在所述第2移动期间，所述衬底关于与所述扫描方向交叉的方向而向一侧及另一侧移动。9.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动距离是不同的。10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，所述移动距离包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动距离。11.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间开始时刻与所述第2移动期间开始时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。12.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间结束时刻与所述第2移动期间结束时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。13.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动速度是不同的。14.根据权利要求13所述的曝光装置，其特征在于，所述移动速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动速度。15.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的加速度是不同的。16.根据权利要求15所述的曝光装置，其特征在于，所述加速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的加速度。17.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件在关于与所述扫描方向交叉的方向已确定的可动范围内移动。18.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间，所述第2部件持续移动。19.根据权利要求18所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第1曝光区域的曝光开始到曝光结束的第1曝光期间及所述第1移动期间，所述第2部件持续移动。20.根据权利要求18所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第1曝光区域的曝光开始到曝光结束的第1曝光期间、所述第1移动期间、以及从所述第2曝光区域的曝光开始到曝光结束的第2曝光期间，所述第2部件持续移动。21.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第2移动期间，所述第2部件持续移动。22.根据权利要求21所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第3曝光区域的曝光开始到曝光结束的第3曝光期间及所述第2移动期间，所述第2部件持续移动。23.根据权利要求21所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第3曝光区域的曝光开始到曝光结束的第3曝光期间、所述第2移动期间、以及从所述第4曝光区域的曝光开始到曝光结束的第4曝光期间，所述第2部件持续移动。24.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，在所述第2移动期间的至少一部分中，所述第2部件停止。25.根据权利要求24所述的曝光装置，其特征在于，在所述第2移动期间的至少一部分中，所述衬底沿与所述扫描方向实质上平行的方向移动，所述第2部件在所述衬底沿与所述扫描方向实质上平行的方向移动的期间的至少一部分中停止。26.根据权利要求24所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第3曝光区域的曝光开始到曝光结束的第3曝光期间，所述第2部件持续移动。27.根据权利要求24中任一项所述的曝光装置，其特征在于，在从所述第3曝光区域的曝光开始到曝光结束的第3曝光期间、以及从所述第4曝光区域的曝光开始到曝光结束的第4曝光期间，所述第2部件持续移动。28.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述第2移动期间比所述第1移动期间长。29.一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由所述射出面与所述衬底之间的液体并利用所述曝光用光对所述衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，所述曝光装置的特征在于，包括：能够形成所述液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在所述光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在所述光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动的驱动装置；和控制所述驱动装置的控制装置，在对在所述扫描方向上为第1尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对在所述扫描方向上为与所述第1尺寸不同的第2尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，所述控制装置控制所述驱动装置，以使得从所述第1曝光区域的曝光结束到所述第2曝光区域的曝光开始的所述衬底的第1移动期间中的、所述第2部件的第1动作与从所述第3曝光区域的曝光结束到所述第4曝光区域的曝光开始的所述衬底的第2移动期间中的、所述第2部件的第2动作不同。30.一种曝光装置，其一边使衬底相对于从光学部件的射出面射出的曝光用光沿扫描方向移动，一边经由所述射出面与所述衬底之间的液体并利用所述曝光用光对所述衬底的多个曝光区域的每一个依次进行曝光，所述曝光装置的特征在于，包括：能够形成所述液体的液浸空间的液浸部件，该液浸部件包括配置在所述光学部件的周围的至少一部分中的第1部件、和配置在所述光学部件的周围的一部分中的第2部件；能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动的驱动装置；和控制所述驱动装置的控制装置，在对在所述扫描方向上分别为第1尺寸、第2尺寸的第1曝光区域、第2曝光区域依次曝光前或曝光后，对在所述扫描方向上为第3尺寸的第3曝光区域、第4曝光区域依次曝光，所述控制装置控制所述驱动装置，以使得从所述第1曝光区域的曝光结束到所述第2曝光区域的曝光开始的所述衬底的第1移动期间中的、所述第2部件的第1动作与从所述第3曝光区域的曝光结束到所述第4曝光区域的曝光开始的所述衬底的第2移动期间中的、所述第2部件的第2动作不同。31.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，沿所述扫描方向配置的多个曝光区域所形成的列在所述衬底上配置有多个，所述第1曝光区域、第2曝光区域包含在同一列中。32.根据权利要求31所述的曝光装置，其特征在于，所述第3曝光区域、第4曝光区域包含在同一列中。33.根据权利要求32所述的曝光装置，其特征在于，包含所述第3曝光区域、第4曝光区域的列与包含所述第1曝光区域、第2曝光区域的列不同。34.根据权利要求32所述的曝光装置，其特征在于，所述第1曝光区域、第2曝光区域与所述第3曝光区域、第4曝光区域包含在同一列中。35.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，沿所述扫描方向配置的多个曝光区域所形成的列在所述衬底上配置有多个，包含所述第1曝光区域的列与包含所述第2曝光区域的列不同，包含所述第3曝光区域的列与包含所述第4曝光区域的列不同。36.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动距离是不同的。37.根据权利要求36所述的曝光装置，其特征在于，所述移动距离包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动距离。38.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间开始时刻与所述第2移动期间开始时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。39.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间结束时刻与所述第2移动期间结束时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。40.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动速度是不同的。41.根据权利要求40所述的曝光装置，其特征在于，所述移动速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动速度。42.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的加速度是不同的。43.根据权利要求42所述的曝光装置，其特征在于，所述加速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的加速度。44.根据权利要求29所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件在关于与所述扫描方向交叉的方向已确定的可动范围内移动。45.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，沿所述扫描方向配置的多个曝光区域所形成的列在所述衬底上配置有多个，所述第1曝光区域、第2曝光区域包含在同一列中。46.根据权利要求45所述的曝光装置，其特征在于，所述第3曝光区域、第4曝光区域包含在同一列中。47.根据权利要求46所述的曝光装置，其特征在于，包含所述第3曝光区域、第4曝光区域的列与包含所述第1曝光区域、第2曝光区域的列不同。48.根据权利要求46所述的曝光装置，其特征在于，所述第1曝光区域、第2曝光区域与所述第3曝光区域、第4曝光区域包含在同一列中。49.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，沿所述扫描方向配置的多个曝光区域所形成的列在所述衬底上配置有多个，包含所述第1曝光区域的列与包含所述第2曝光区域的列不同，包含所述第3曝光区域的列与包含所述第4曝光区域的列不同。50.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动距离是不同的。51.根据权利要求50所述的曝光装置，其特征在于，所述移动距离包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动距离。52.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间开始时刻与所述第2移动期间开始时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。53.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间结束时刻与所述第2移动期间结束时刻，所述第2部件相对于所述光学部件的位置是不同的。54.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的移动速度是不同的。55.根据权利要求54所述的曝光装置，其特征在于，所述移动速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的移动速度。56.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间与所述第2移动期间，所述第2部件的加速度是不同的。57.根据权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述加速度包括关于与所述扫描方向交叉的方向的加速度。58.根据权利要求30所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件在关于与所述扫描方向交叉的方向已确定的可动范围内移动。59.根据权利要求1至58中任一项所述的曝光装置，其特征在于，在所述第1移动期间，在所述衬底向与所述扫描方向交叉的方向的一侧以第1速度移动的第1状态下，所述第2部件向与所述扫描方向交叉的方向的一侧以第1加速度移动，在所述衬底向与所述扫描方向交叉的方向的一侧以比所述第1速度高的第2速度移动的第2状态下，所述第2部件向与所述扫描方向交叉的方向的一侧以比所述第1加速度低的第2加速度移动。60.根据权利要求1至58中任一项所述的曝光装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤真路，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP