用于合成的石英管制造技术

技术编号:11801134 阅读:105 留言:0更新日期:2015-07-30 19:43
本实用新型专利技术提供了一种用于合成的石英管,其包括:石英管体,具有相对的开口端和封闭端,具有预定的管体容量;石英管帽,具有相对的开口端和封闭端,具有预定的管帽容量,石英管帽的开口端装入并封堵在石英管体的开口端内并焊接在一起。石英管帽的封闭端沿长度方向突伸到石英管体的开口端之外;当石英管一次合成使用后,在石英管帽的开口端和石英管体的开口端焊接在一起的焊接部位处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽再次装入石英管体内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向石英管帽的封闭端至石英管体的开口端之间的距离为L1',每次合成使用时沿长度方向石英管帽的开口端至石英管体的开口端之间的距离为L2,L1'≥2L2。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及合成器件领域,尤其涉及一种用于合成的石英管
技术介绍
图1为现有的用于合成的石英管的示意图。如图1所示,在用水平法进行砷化镓(GaAs)多晶合成时,需要用石英管将镓和砷真空氢氧焰封焊。每次合成完后都需要对焊接部位W处(图中采用虚线示出)进行切割,所以在重复使用2次切管之后,石英管的有效长度将会减少8英寸左右,太短的空间量在砷化镓多晶合成时会有炸管的危险,一旦出现炸管,合成当中的材料全部会报废,砷挥发到空气当中,不仅对生产造成很大损失,而且会对环境造成很大危害。因此,在传统的工艺下,使用两次后的封装石英管已经无法使用,只能报废处理。而石英管的价格昂贵,这极大的增加了砷化镓多晶合成的费用,并且造成了较大的浪费。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
中存在的问题,本技术的目的在于提供一种用于合成的石英管,其从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,能降低生产成本。为了实现上述目的,本技术提供了一种用于合成的石英管,其包括:石英管体,具有沿长度方向的相对的开口端和封闭端,且具有预定的管体容量;以及石英管帽,具有沿长度方向的相对的开口端和封闭端,且具有预定的管帽容量,石英管帽的开口端装入并封堵在石英管体的开口端内并焊接在一起。石英管帽的封闭端沿长度方向突伸到石英管体的开口端之外;其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽的开口端和石英管体的开口端焊接在一起的焊接部位处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽再次装入石英管体内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向石英管帽的封闭端至石英管体的开口端之间的距离为LI’,且每次合成使用时沿长度方向石英管帽的开口端至石英管体的开口端之间的距离为L2,LI’彡2L2。本技术的有益效果如下:通过对石英管帽进行加长,增加了石英管的空间容量,使石英管用于合成的空间容量达到最低工艺技术要求从而保证了合成的顺利进行,同时,加长的石英管帽通过一次合成使用进行切割后还可以进行再次合成使用,使用于合成的石英管从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,极大地降低了生产成本,达到了节能降耗的目的。【附图说明】图1为现有的用于合成的石英管的示意图;图2为根据本技术的用于合成的石英管第一次使用的示意图;图3为根据本技术的用于合成的石英管第二次使用的示意图;图4为根据本技术的用于合成的石英管第三次使用的示意图。其中,附图标记说明如下:I石英管体21开口端11开口端22封闭端12封闭端L长度方向2石英管帽【具体实施方式】下面参照附图来详细说明根据本技术的用于合成的石英管。参照图2至图4,根据本技术的用于合成的石英管包括:石英管体1,具有沿长度方向L的相对的开口端11和封闭端12,且具有预定的管体容量;以及石英管帽2,具有沿长度方向L的相对的开口端21和封闭端22,且具有预定的管帽容量,石英管帽2的开口端21装入并封堵在石英管体I的开口端11内并焊接在一起。石英管帽2的封闭端22沿长度方向L突伸到石英管体I的开口端11之外;其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽2的开口端21和石英管体I的开口端11焊接在一起的焊接部位W处将石英管切割(在图中沿虚线切割),从而将剩余的石英管帽2再次装入石英管体I内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向L石英管帽2的封闭端22至石英管体I的开口端11之间的距离为LI’,且每次合成使用时沿长度方向L石英管帽2的开口端21至石英管体I的开口端11之间的距离为L2,L1’彡2L2。通过LI’和L2之间的关系,可以确保每次合成时使石英管的总容量大于石英管体I的管体容量,形成的石英管的总容量提供合成的空间。相比于现有技术,本技术通过对石英管帽2进行加长,增加了石英管的空间容量,使石英管用于合成的空间容量达到最低工艺技术要求从而保证了合成的顺利进行,同时,加长的石英管帽2通过一次合成使用进行切割后还可以进行再次合成使用,使用于合成的石英管从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,极大地降低了生产成本,达到了节能降耗的目的。在根据本技术的用于合成的石英管的一实施例中,LI’ = nXL2,n为正整数,n ^ 2,从而可以准确地控制LI’的尺寸,进而在重复最大次数使用后,石英管帽2正好全部使用完,而不造成石英管帽2的浪费,有效地控制了成本。在根据本技术的用于合成的石英管的一实施例中,所述多晶合成可为砷化镓多晶合成,当然不限于此,根据本技术所述的用于合成的石英管可以依据实际需要适用于合适的材料合成。最后补充说明的是,由于多次切割并重复使用,由于石英管体I和石英管帽2在切割后的长度的变化,每次合成使用时石英管体I的开口端11的位置发生变化,但是为了简化起见,在图2至图4中均用同一附图标记标示;同样地,每次合成使用时石英管帽2的开口端21的位置也发生变化,但是为了简化起见,在图2至图4中均用同一附图标记标示;但是每次合成使用时,沿长度方向L石英管帽2的封闭端22至石英管体I的开口端11之间的距离变化,但是为了清楚起见,在图2至图4中以不同的标记给出,例如第一次合成时采用LI’,第二次合成时采用LI”,第三次合成使用时采用LI”’,以此类推。【主权项】1.一种用于合成的石英管,包括: 石英管体(1),具有沿长度方向(L)的相对的开口端(11)和封闭端(12),且具有预定的管体容量;以及 石英管帽(2),具有沿长度方向(L)的相对的开口端(21)和封闭端(22),且具有预定的管帽容量,石英管帽⑵的开口端(21)装入并封堵在石英管体⑴的开口端(11)内并焊接在一起; 其特征在于, 石英管帽⑵的封闭端(22)沿长度方向(L)突伸到石英管体(I)的开口端(11)之外; 其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽(2)的开口端(21)和石英管体(I)的开口端(11)焊接在一起的焊接部位(W)处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽(2)再次装入石英管体(I)内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向(L)石英管帽(2)的封闭端(22)至石英管体⑴的开口端(11)之间的距离为LI’,且每次合成使用时沿长度方向(L)石英管帽(2)的开口端(21)至石英管体⑴的开口端(11)之间的距离为L2,LI,彡2L2。2.根据权利要求1所述的用于合成的石英管,其特征在于,LI’= nXL2,η为正整数,n ^ 2。【专利摘要】本技术提供了一种用于合成的石英管,其包括:石英管体,具有相对的开口端和封闭端,具有预定的管体容量;石英管帽,具有相对的开口端和封闭端,具有预定的管帽容量,石英管帽的开口端装入并封堵在石英管体的开口端内并焊接在一起。石英管帽的封闭端沿长度方向突伸到石英管体的开口端之外;当石英管一次合成使用后,在石英管帽的开口端和石英管体的开口端焊接在一起的焊接部位处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽再次装入石英管体内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向石英管帽的封闭端至石英管体的开口端之间的距离为L1',每次合成使用时沿长度方向石英管帽的开口端至石英管体的开口端之间的距离为L2,L1'≥2L2。【IPC分类】C30B29-4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于合成的石英管,包括:石英管体(1),具有沿长度方向(L)的相对的开口端(11)和封闭端(12),且具有预定的管体容量;以及石英管帽(2),具有沿长度方向(L)的相对的开口端(21)和封闭端(22),且具有预定的管帽容量,石英管帽(2)的开口端(21)装入并封堵在石英管体(1)的开口端(11)内并焊接在一起;其特征在于,石英管帽(2)的封闭端(22)沿长度方向(L)突伸到石英管体(1)的开口端(11)之外;其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽(2)的开口端(21)和石英管体(1)的开口端(11)焊接在一起的焊接部位(W)处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽(2)再次装入石英管体(1)内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向(L)石英管帽(2)的封闭端(22)至石英管体(1)的开口端(11)之间的距离为L1',且每次合成使用时沿长度方向(L)石英管帽(2)的开口端(21)至石英管体(1)的开口端(11)之间的距离为L2,L1'≥2L2。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:雷仁贵罗小龙
申请(专利权)人:广东先导半导体材料有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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