分析用固定阳极型X射线管及其制造方法技术

本发明专利技术的一实施方式所涉及的X射线管包括具有开口的真空密封外壳、安装于真空密封外壳且气密性地封闭开口的X射线透射组件(20)、阴极、以及阳极靶。X射线透射组装件(20)包括窗框(21)、X射线透射窗(22)、抗X射线树脂膜(23)、密封构件(25)、以及干燥气体(29)。X射线透射窗(22)被收进窗框(21)，与窗框(21)一起保持真空密封外壳(17)内部的气密状态，且有铍薄板形成。抗X射线树脂膜(23)与窗框(21)和X射线透射窗(22)一起在内部形成空间。干燥气体(29)填充于上述空间。

【技术实现步骤摘要】
分析用固定阳极型X射线管及其制造方法
本专利技术的实施方式涉及X射线管以及X射线管的制造方法。
技术介绍
通常，X射线管用于医疗诊断系统、工业诊断系统等。上述X射线管例如用于工业用领域等中所进行的X射线异物检查、X射线分析。X射线分析是指各种材料的成分分析、产品的组成分析。X射线分析所使用的X射线管包括阳极、阴极、以及真空密封外壳。此外，通常，X射线管的X射线透射窗具有Be(铍)窗。Be窗构成真空密封外壳的一部分，使所利用的X射线束透过(取出至外部)。对于上述分析用的X射线管，若在Be窗的外表面露出至大气的状态下连续地使用X射线管，则会发生下述问题：在经常使用的过程中Be窗、或Be窗与真空密封外壳之间的焊接部会被腐蚀，从而导致真空密封外壳的真空气密状态被破坏。为了提高分析精度，就需要减薄Be窗，但在这种情况下，尤其加剧了上述的问题的发生。因此，已知有下述(1)和(2)的技术，作为用于减少这种问题的发生的技术。(1)在Be窗的外表面涂布聚酰亚胺树脂形成液，然后，通过干燥和烧成在Be板的外表面形成不易因X射线而劣化的聚酰亚胺树脂覆膜。(2)除了树脂以外，使用硼化合物这样的无机覆膜来作为保护覆膜。
技术实现思路
本实施方式提供一种能够力图实现产品寿命的长期化，能够得到出色的产品可靠性的分析用固定阳极型X射线管以及分析用固定阳极型X射线管的制造方法。附图说明图1是表示实施方式1所涉及的X射线管的简要结构图。图2是放大图1所示的X射线透射组件来表示的剖视图。图3是表示图1和图2所示的X射线透射组件的分解图，是示出窗框、X射线透射窗、以及抗X射线树脂膜的图。图4是放大实施方式2所涉及的X射线管的X射线透射组件来表示的剖视图。图5是表示图4所示的X射线透射组件的分解图，是示出窗框、X射线透射窗、以及抗X射线树脂膜的图。图6是放大实施方式3所涉及的X射线管的X射线透射组件来表示的剖视图。图7是表示图6所示的X射线透射组件的分解图，是示出窗框、X射线透射窗、抗X射线树脂膜、橡胶密封材料、按压构件、以及间隔件的图。图8是放大实施方式4所涉及的X射线管的X射线透射组件来表示的剖视图。图9是表示图8所示的X射线透射组件的分解图，是示出窗框、X射线透射窗、抗X射线树脂膜、框构件、橡胶密封材料、以及按压构件的图。图10是放大实施方式5所涉及的X射线管的X射线透射组件来表示的剖视图。图11是表示图10所示的X射线透射组件的分解图，是示出窗框、X射线透射窗、抗X射线树脂膜、框构件、橡胶密封材料、以及按压构件的图。图12是放大比较例的X射线管的X射线透射组件来表示的剖视图。具体实施方式一实施方式所涉及的X射线管包括：真空密封外壳，该真空密封外壳具有开口；X射线透射组件，该X射线透射组件安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；阴极，该阴极收纳于所述真空密封外壳，用于射出电子；以及阳极靶，该阳极靶收纳于所述真空密封外壳，用于射出X射线，所述X射线透射组件包括：窗框，该窗框与所述开口相对，气密性地安装于所述真空密封外壳；X射线透射窗，该X射线透射窗被收进所述窗框，与所述窗框一起保持所述真空密封外壳内部的气密状态，且由铍薄板形成，用于使X射线透过；抗X射线树脂膜，该抗X射线树脂膜位于所述X射线透射窗的外部气体侧，以隔开间隙的方式与所述X射线透射窗相对，且与所述窗框、所述X射线透射窗一起在内部形成空间；密封构件，该密封构件气密性地封闭所述窗框与所述抗X射线树脂膜之间的间隙，保持所述空间的气密状态；以及干燥气体，该干燥气体填充于所述空间。此外，一实施方式所涉及的X射线管包括：真空密封外壳，该真空密封外壳具有开口；X射线透射组件，该X射线透射组件安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；阴极，该阴极收纳于所述真空密封外壳，用于射出电子；以及阳极靶，该阳极靶收纳于所述真空密封外壳，用于射出X射线，所述X射线透射组件包括：窗框，该窗框以与所述开口相对的方式气密性地安装于所述真空密封外壳；X射线透射窗，该X射线透射窗被收进所述窗框，与所述窗框一起保持所述真空密封外壳内部的气密状态，且由薄板形成，用于使X射线透过；抗X射线树脂膜，该抗X射线树脂膜位于所述X射线透射窗的外部气体侧，隔开间隔与所述X射线透射窗相对；框构件，该框构件与所述开口相对，气密性地安装有所述抗X射线树脂膜，且与所述窗框、所述X射线透射窗、以及所述抗X射线树脂膜一起在内部形成空间；密封构件，该密封构件气密性地封闭所述窗框与所述框构件之间的间隙，保持所述空间的气密状态；以及干燥气体，该干燥气体填充于所述空间。一实施方式所涉及的X射线管的制造方法包括下述步骤：准备具有开口的真空封闭外壳、窗框、由铍薄板形成的使X射线透过的X射线透射窗、射出电子的阴极、射出X射线的阳极靶、以及抗X射线树脂膜；将所述X射线透射窗收进所述窗框；在收有所述X射线透射窗的所述窗框与所述开口相对的状态下，将所述窗框安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；在所述真空密封外壳内收纳所述阴极和阳极靶；对收纳有所述阴极和阳极靶且安装有收纳所述X射线透射窗的所述窗框的所述真空密封外壳的内部进行真空排气，并气密性地密封所述真空密封外壳；在干燥气体气氛中使所述抗X射线树脂膜在所述真空密封外壳的外部隔开间隔与所述X射线透射窗相对，在所述窗框、所述X射线透射窗、所述抗X射线树脂膜的内部形成填充有干燥气体的空间；以及使用密封构件气密性地封闭所述窗框与所述抗X射线树脂膜之间的间隙，保持所述空间的气密状态，从而形成具有所述窗框、X射线透射窗、抗X射线树脂膜、密封构件、以及干燥气体的X射线透射组件。此外，一实施方式所涉及的X射线管的制造方法包括下述步骤：准备具有开口的真空封闭外壳、窗框、由铍薄板形成的使X射线透过的X射线透射窗、射出电子的阴极、射出X射线的阳极靶、框构件、以及抗X射线树脂膜；将所述X射线透射窗收进所述窗框；在收有所述X射线透射窗的所述窗框与所述开口相对的状态下，将所述窗框安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；在所述真空密封外壳内收纳所述阴极和阳极靶；对收纳有所述阴极和阳极靶且安装有收纳所述X射线透射窗的所述窗框的所述真空密封外壳的内部进行真空排气，并气密性地密封所述真空密封外壳；将所述抗X射线树脂膜气密性地安装于所述框构件；在干燥气体气氛中，在所述框构件在所述真空密封外壳的外部与所述开口相对的状态下使所述抗X射线树脂膜隔开间隔与所述X射线透射窗相对，在所述窗框、所述X射线透射窗、所述抗X射线树脂膜、以及所述框构件的内部形成填充有干燥气体的空间；以及使用密封构件气密性地封闭所述窗框与所述框构件之间的间隙，保持所述空间的气密状态，从而形成具有所述窗框、X射线透射窗、框构件、抗X射线树脂膜、密封构件、以及干燥气体的X射线透射组件。首先，对本专利技术的实施方式的基本构思进行说明。分析用的X射线管使用于各种各样材料的元素分析、产品的组成分析等。例如，也可使用于氯化物类物质、硫化物类物质、氟化物类物质、酸类等的分析。然而，伴随着X射线的照射，从这些物质中会释放出腐蚀性的气体，该腐蚀性的气体与空气中的水分结合而使得Be窗、Be窗与真空密封外壳的焊接部(以下称为焊接部)的外表面生成盐酸、硫酸、氟酸等酸，这些酸被推定为是发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线管，其特征在于，包括：真空密封外壳，该真空密封外壳具有开口；X射线透射组件，该X射线透射组件安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；阴极，该阴极收纳于所述真空密封外壳，用于射出电子；以及阳极靶，该阳极靶收纳于所述真空密封外壳，用于射出X射线，所述X射线透射组件包括：窗框，该窗框与所述开口相对，气密性地安装于所述真空密封外壳；X射线透射窗，该X射线透射窗被收进所述窗框，与所述窗框一起保持所述真空密封外壳内部的气密状态，且由铍薄板形成，用于使X射线透过；抗X射线树脂膜，该抗X射线树脂膜位于所述X射线透射窗的外部气体侧，以隔开间隙的方式与所述X射线透射窗相对，且与所述窗框、所述X射线透射窗一起在内部形成空间；密封构件，该密封构件气密性地封闭所述窗框与所述抗X射线树脂膜之间的间隙，保持所述空间的气密状态；以及干燥气体，该干燥气体填充于所述空间。

【技术特征摘要】
2013.12.06 JP 2013-2529661.一种分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，包括：真空密封外壳，该真空密封外壳具有开口；X射线透射组件，该X射线透射组件安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；阴极，该阴极收纳于所述真空密封外壳，用于射出电子；以及阳极靶，该阳极靶收纳于所述真空密封外壳，用于射出X射线，所述X射线透射组件包括：窗框，该窗框与所述开口相对，气密性地安装于所述真空密封外壳；X射线透射窗，该X射线透射窗被收进所述窗框，与所述窗框一起保持所述真空密封外壳内部的气密状态，且由铍薄板形成，用于使X射线透过；抗X射线树脂膜，该抗X射线树脂膜位于所述X射线透射窗的外部气体侧，以隔开间隙的方式与所述X射线透射窗相对，且与所述窗框、所述X射线透射窗一起在内部形成空间；密封构件，该密封构件气密性地封闭所述窗框与所述抗X射线树脂膜之间的间隙，保持所述空间的气密状态；以及干燥气体，该干燥气体不含有水分，且填充于所述空间。2.如权利要求1所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述密封构件具有：橡胶密封材料，该橡胶密封材料设置于所述窗框与所述抗X射线树脂膜之间；以及按压构件，该按压构件保持隔着所述橡胶密封材料将所述抗X射线树脂膜按压至所述窗框的状态。3.如权利要求1所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述抗X射线树脂膜由包含聚酰亚胺树脂和聚醚醚酮树脂中的至少一种的树脂材料形成。4.如权利要求1所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述干燥气体包含有氮、氖、氩、氪以及氙中的至少一种的惰性气体。5.如权利要求1所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述密封构件具有利用了粘接剂的粘接接合部以及利用了所述抗X射线树脂膜的熔接的熔接接合部中的至少一个。6.一种分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，包括：真空密封外壳，该真空密封外壳具有开口；X射线透射组件，该X射线透射组件安装于所述真空密封外壳，气密性地封闭所述开口；阴极，该阴极收纳于所述真空密封外壳，用于射出电子；以及阳极靶，该阳极靶收纳于所述真空密封外壳，用于射出X射线，所述X射线透射组件包括：窗框，该窗框与所述开口相对，气密性地安装于所述真空密封外壳；X射线透射窗，该X射线透射窗被收进所述窗框，与所述窗框一起保持所述真空密封外壳内部的气密状态，且由铍薄板形成，用于使X射线透过；抗X射线树脂膜，该抗X射线树脂膜位于所述X射线透射窗的外部气体侧，隔开间隔与所述X射线透射窗相对；框构件，该框构件与所述开口相对，气密性地安装有所述抗X射线树脂膜，且与所述窗框、所述X射线透射窗、以及所述抗X射线树脂膜一起在内部形成空间；密封构件，该密封构件气密性地封闭所述窗框与所述框构件之间的间隙，保持所述空间的气密状态；以及干燥气体，该干燥气体不含有水分，且填充于所述空间。7.如权利要求6所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述密封构件具有：橡胶密封材料，该橡胶密封材料设置于所述窗框与所述框构件之间；以及按压构件，该按压构件保持隔着所述橡胶密封材料将所述框构件按压至所述窗框的状态。8.如权利要求6所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述抗X射线树脂膜由包含聚酰亚胺树脂和聚醚醚酮树脂中的至少一种的树脂材料形成。9.如权利要求6所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述干燥气体是包含有氮、氖、氩、氪以及氙中的至少一种的惰性气体。10.如权利要求6所述的分析用固定阳极型X射线管，其特征在于，所述密封构件具有利用了粘接剂的粘接接合部以及利用了所述抗X射线树脂膜的熔接的熔接接合部中的至少一个。11.一种分析用固定阳极型X射线管的制造方法，其特征在于，包括下述步骤：准备具有开口的真空密封外壳、窗框、由铍薄板形成的使X射线透过的X射线...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿武秀郎，高桥直树，
申请(专利权)人：株式会社东芝，东芝电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP