【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氮化铝陶瓷覆盖衬底，包括：氮化铝陶瓷晶片，包括选自包括氧、钇、钪、铒、铍、钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨及上述物质的合金、衍生物或组合的清单中的至少一种其它材料或元素，并且包括上表面和下表面，并具有大于160W/m‑K的热传导率；圆形几何形状，包括从11英寸到13英寸范围内的直径；从0.035英寸到0.050英寸范围内的厚度；以及所述下表面的平整度偏离0.010英寸或更小。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：穆罕默德·M·拉希德，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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