一种水溶性正型感光聚酰亚胺及制作其图案化薄膜的方法技术

技术编号:11552564 阅读:131 留言:0更新日期:2015-06-04 01:38
一种水溶性正型感光聚酰亚胺,包括含有通式(1)结构的聚合物、醌二叠氮化合物和偶极矩为0.1-1.6D的酚类化合物;其中,R1表示至少含有两个碳原子的二价到八价的有机官能团,R2表示至少含有两个碳原子的二价到六价的有机官能团,R3表示H或碳原子数为1-10的有机官能团,n为10-100000的整数,m为0-2的整数,p和q为0-4的整数,但p和q不能同时为0。还公开了利用所述水溶性正型感光聚酰亚胺制作感光聚酰亚胺图案化薄膜的方法。该水溶性正型感光聚酰亚胺具有优良的热稳定性,显影过程中非曝光区域薄膜的损耗少,且显影时间短。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种水溶性正型感光聚酰亚胺,其特征在于,所述水溶性正型感光聚酰亚胺包括含有通式(1)结构的聚合物: 其中,R1表示至少含有两个碳原子的二价到八价的有机官能团,R2表示至少含有两个碳原子的二价到六价的有机官能团,R3表示H或碳原子数为1‑10的有机官能团,n为10‑100000的整数,m为0‑2的整数,p和q为0‑4的整数,但p和q不能同时为0; 所述水溶性正型感光聚酰亚胺还包括醌二叠氮化合物和偶极矩为0.1‑1.6D的酚类化合物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张双庆胡钢
申请(专利权)人:广东丹邦科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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