一种具有隧道结结构的边发射半导体激光器及其制备方法技术

技术编号:11552077 阅读:151 留言:0更新日期:2015-06-04 01:14
本发明专利技术涉及一种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,包括N面电极1、具有隧道结结构的外延结构,光刻具有隧道结结构的外延结构两侧形成脊形台,在形成脊形台的外延结构表面沉淀电绝缘层8,电绝缘层上层叠P面电极9。本发明专利技术提供的这种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,减少了P型限制层中空穴的损耗,提高了载流子的注入效率,从而提高了器件的输出功率;同时消除了某些半导体P型重掺杂较为困难的问题,降低了器件的工作电压,从而提高了半导体激光器的功率转化效率。本发明专利技术提供的这种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,广泛适用于各种材料系的边发射半导体激光器。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,其特征在于,包括N面电极(1)、具有隧道结结构的外延结构,光刻具有隧道结结构的外延结构两侧形成脊形台,在形成脊形台的外延结构表面沉淀电绝缘层(8),所述电绝缘层(8)上光刻出引线孔(13),电绝缘层(8)上层叠P面电极(9)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:计伟曲智龙
申请(专利权)人:北京牡丹视源电子有限责任公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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