用于光学系统的MEMS可变光阑和用于调节其孔径大小的方法技术方案

公开了用于光学系统的MEMS可变光阑(400)。MEMS可变光阑(400)包括：至少两层光阑结构，每层光阑结构具有悬接叶片元件(404a、404b、404c、404d、406a、406b、406c、406d)，这些悬接叶片元件(404a、404b、404c、404d、406a、406b、406c、406d)有角度地彼此隔开，至少两层叶片元件(404a、404b、404c、404d、406a、406b、406c、406d)被布置为彼此重叠并相互协作以限定允许光通过的孔径(408)；以及旋转致动设备(401)，该旋转致动设备被布置为使得至少两层中的至少一些叶片元件(404a、404b、404c、404d、406a、406b、406c、406d)围绕它们各自的轴线以非接触方式进行旋转，以改变所述孔径的大小。还公开一种调整用于光学系统的MEMS可变光阑(400)的孔径的大小的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于光学系统的MEMS可变光阑，包括：至少两层光阑结构，每层光阑结构具有悬接叶片元件，所述悬接叶片元件有角度地彼此隔开，所述至少两层叶片元件被布置为彼此重叠并相互协作以限定允许光通过的孔径；以及旋转致动设备，所述旋转致动设备被布置为使得所述至少两层叶片元件中的至少一些叶片元件围绕它们各自的轴线以非接触方式进行旋转，以改变所述孔径的大小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：周光亚，余洪斌，曹福祥，
申请(专利权)人：新加坡国立大学，
类型：发明
国别省市：新加坡;SG