电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种电子束熔炼除氧与长晶技术耦合制备多晶硅的装置及方法。其装置包括炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部安装有保温盖，石英坩埚底部中央位置开设有孔，且石英坩埚底部安装有水冷铜底座。其方法包括装料抽真空；加热使硅料全部熔化；设置高压和束流预热，关闭高压和束流；保持硅料处于液态；电子束熔炼除氧；初步铸锭长晶：调节石墨加热器，使硅晶体的生长速度为1.2～1.3cm/h；冷却取料。该方法实现了同一设备上的两种工艺，利用电子束熔炼去除硅中氧杂质，总能耗降低30%，生产效率提高40%。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置，炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，其特征在于炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部安装有保温盖，石英坩埚底部中央位置开设有孔，且石英坩埚底部安装有水冷铜底座。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：安广野，郭校亮，王登科，姜大川，谭毅，
申请(专利权)人：青岛隆盛晶硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37