【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电子束低频轰击去除硅料中氧的方法,步骤包括装料、抽真空、电子枪预热、电子束轰击硅料和冷却后取料,其特征在于:所述的电子束轰击硅料是:直到硅料全部熔化后,再调节电子束频率为5~10Hz,进行5~15min的电子束低频轰击。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭校亮,王登科,姜大川,安广野,谭毅,
申请(专利权)人:青岛隆盛晶硅科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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