将薄膜太阳电池器件粘附在其他衬底上的方法技术

技术编号:11508627 阅读:77 留言:0更新日期:2015-05-27 12:37
一种将薄膜太阳电池器件粘附在其他衬底上的方法,该方法包括:步骤1:清洗薄膜太阳电池器件和外加转移衬底;步骤2:在外加转移衬底上蒸镀一层金属;步骤3:在薄膜太阳电池器件上蒸镀背电极;步骤4:采用热压键合的方法将外加转移衬底和薄膜太阳电池器件键合在一起,使薄膜太阳电池器件上的背电极与外加转移衬底上的金属发生接触,形成基片;步骤5:将基片放入腐蚀液中,将薄膜太阳电池器件本身的衬底进行剥离,完成制备。本发明专利技术可以解决外延剥离技术中传统的粘结剂体积大、重量大、易碎、易分解的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种将薄膜太阳电池器件粘附在其他衬底上的方法,该方法包括:步骤1:清洗薄膜太阳电池器件和外加转移衬底;步骤2:在外加转移衬底上蒸镀一层金属;步骤3:在薄膜太阳电池器件上蒸镀背电极;步骤4:采用热压键合的方法将外加转移衬底和薄膜太阳电池器件键合在一起,使薄膜太阳电池器件上的背电极与外加转移衬底上的金属发生接触,形成基片;步骤5:将基片放入腐蚀液中,将薄膜太阳电池器件本身的衬底进行剥离,完成制备。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马静刘雯杨添舒时彦朋杨富华王晓东
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
类型:发明
国别省市:北京;11

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