一种用于密闭反应室的自净化系统技术方案

技术编号:11506374 阅读:90 留言:0更新日期:2015-05-27 07:38
本发明专利技术公开一种用于密闭反应室的自净化系统,密闭反应室包括一个主箱体,主箱体内开设上腔体和下腔体,上腔体与下腔体通过一隔板隔开,隔板上开设一通风孔;主箱体外侧开设送风口和抽风口;自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀;风机安装在隔板下沿并与通风孔对接,主箱体的上腔体顶部与下腔体底部均安装过滤箱;送风法兰安装在主箱体的送风口,抽风法兰内置一电控风阀,抽风法兰安装在主箱体的抽风口;控制箱安装在主箱体外部;风机和电控风阀均与变频控制器电连接;本发明专利技术应用于碳化硅外延生长的密闭反应室,能够快速有效的清理反应室腔体内的细小颗粒,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于密闭反应室的自净化系统,其特征在于:密闭反应室包括一个主箱体,主箱体内开设上腔体和下腔体,上腔体与下腔体通过一隔板隔开,隔板上开设一通风孔;主箱体外侧开设送风口和抽风口;自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀;风机安装在隔板下沿并与通风孔对接,主箱体的上腔体顶部与下腔体底部均安装过滤箱;送风法兰安装在主箱体的送风口,抽风法兰内置一电控风阀,抽风法兰安装在主箱体的抽风口,送风法兰与上腔体顶部的过滤箱对应,抽风法兰与下腔体底部的过滤箱对应,抽风法兰与送风法兰通过一管道连接;控制箱内置一变频控制器,控制箱外部设有与变频控制器的电连接的电源指示灯、风机工作指示灯和阀门工作指示灯,控制箱安装在主箱体外部;风机和电控风阀均与变频控制器电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吕立平冯淦赵建辉
申请(专利权)人:瀚天天成电子科技厦门有限公司
类型:发明
国别省市:福建;35

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