光测定装置、方法、程序、记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术的光测定装置具备主激光器、从激光器、照射光脉冲输出器、以及被测定信号输出器。根据该光测定装置，主激光器输出主激光脉冲。从激光器输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲。另外，照射光脉冲输出器接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲。被测定信号输出器接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号。另外，修正上述被测定信号的测定误差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光测定装置、方法、程序、记录介质
本专利技术涉及一种光的测定。
技术介绍
目前，已知以下的方法，即通过太赫兹检测器(例如光传导开关)接收从太赫兹输出器(例如光传导开关)向被测定物赋予的太赫兹光A(是脉冲)透过了被测定物的光、与太赫兹光A的脉冲周期稍微不同的脉冲周期的光B，测定被测定物(例如参照专利文献1(日本特开2010-2218号公报)以及专利文献2(日本特开2011-7590号公报))。在上述那样的现有技术中，从主激光器向太赫兹输出器赋予主激光脉冲，从从激光器向太赫兹检测器赋予从激光脉冲(光B)。但是，主激光脉冲和从激光脉冲的重复频率稍微不同。此外，在专利文献3(专利第4782889号)和专利文献4(专利第4786767号)中记载了使主激光脉冲和从激光脉冲的重复频率稍微不同的技术。另外，基于主激光脉冲和从激光脉冲生成触发信号。该触发信号成为通过太赫兹检测器检测出的信号的时间原点(例如参照专利文献1的图6)。
技术实现思路
但是，在上述那样的现有技术中，考虑到太赫兹光A、从激光脉冲(光B)以及主激光脉冲的光路长度由于周围的温度变化而伸缩的情况。如果光路长度伸缩，则不会正确地得到相对于通过太赫兹检测器检测出的信号的时间原点的偏差、即相位信息。进而，在上述那样的现有技术中，考虑到太赫兹光A、从激光脉冲(光B)以及主激光脉冲的光轴由于周围的温度变化而偏离的情况。由于这样的光轴的偏离，太赫兹光A的产生效率和检测灵敏度会发生变动。另外，主激光器和从激光器的输出功率也有波动。由此，有时会无法正确地测定通过太赫兹检测器检测出的信号的振幅。因此，本专利技术的课题在于：正确地得到通过太赫兹光等的光进行的被测定物的测定结果(例如相位信息或振幅)。本专利技术的光测定装置构成为，具备：主激光器，其输出主激光脉冲；从激光器，其输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲；照射光脉冲输出器，其接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲；被测定信号输出器，其接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号，其中，修正上述被测定信号的测定误差。根据上述那样而构成的光测定装置，主激光器输出主激光脉冲。从激光器输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲。照射光脉冲输出器接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲。被测定信号输出器接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号。进而，修正上述被测定信号的测定误差。此外，本专利技术的光测定装置也可以修正上述被测定信号的输出时刻的测定误差。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：信号测定部，其测定上述被测定信号的输出时刻；监视信号输出器，其接受上述照射光脉冲和上述从激光脉冲，输出监视信号；时间测定部，其测定上述监视信号的输出时刻；时间差导出部，其导出上述时间测定部的测定结果和得到该测定结果的时刻之前的上述时间测定部的测定结果之间的偏差；误差修正部，其根据上述时间差导出部的导出结果，修正上述被测定信号的输出时刻，其中，上述被测定信号和上述监视信号之间的时间差是固定的。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：触发信号输出器，其在同时接受了上述主激光脉冲和上述从激光脉冲的时刻，输出触发信号，其中，上述信号测定部以上述触发信号为基准，测定上述被测定信号的输出时刻，上述误差修正部修正上述触发信号输出器对上述触发信号的输出时刻。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述误差修正部修正上述信号测定部的测定结果。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述时间测定部多次测定上述监视信号，上述时间差导出部导出上述时间测定部的测定结果和上次的上述时间测定部的测定结果之间的偏差。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述时间差导出部导出上述时间测定部的测定结果和上次的上述时间测定部的测定结果即上述误差修正部的修正后的测定结果之间的偏差。此外，本专利技术的光测定装置也可以将上述被测定信号输出器兼作上述监视信号输出器，使得上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲在时间区域中不重叠地到达上述被测定信号输出器。此外，本专利技术的光测定装置也可以使得从上述照射光脉冲输出器向上述被测定信号输出器的、存在上述被测定物的光路和不存在上述被测定物的光路之间的光路差大到对于上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲在时间区域中不重叠地到达上述被测定信号输出器来说充分的程度。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：光学系统，其选择上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲的任意一方而赋予上述被测定信号输出器。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：信号测定部，其测定上述被测定信号的输出时刻；时间/温度特性记录部，其记录上述被测定信号输出器的输出的输出时刻与环境温度之间的对应关系；时间差导出部，其根据上述时间/温度特性记录部的记录内容，导出基准温度和测定上述被测定信号的时刻的环境温度下的上述被测定信号的输出时刻的偏差；误差修正部，其根据上述时间差导出部的导出结果，修正上述被测定信号的输出时刻。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：触发信号输出器，其在同时接受了上述主激光脉冲和上述从激光脉冲的时刻，输出触发信号，其中，上述信号测定部以上述触发信号为基准，测定上述被测定信号的输出时刻，上述误差修正部修正上述触发信号输出器对上述触发信号的输出时刻。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述误差修正部修正上述信号测定部的测定结果。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述信号测定部多次测定上述被测定信号，上述基准温度是上次测定上述被测定信号的时刻的环境温度。此外，本专利技术的光测定装置也可以修正上述被测定信号的振幅的测定误差。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：信号测定部，其测定上述被测定信号的振幅；监视信号输出器，其接受上述照射光脉冲和上述从激光脉冲，输出监视信号；振幅测定部，其测定上述监视信号的振幅；监视/偏压振幅特性记录部，其记录上述监视信号的振幅与施加到上述照射光脉冲输出器的偏压电压之间的对应关系；修正量导出部，其根据上述监视/偏压振幅特性记录部的记录内容，导出用于使上述振幅测定部的测定结果与得到该测定结果的时刻之前的上述振幅测定部的测定结果一致的上述偏压电压的修正量；振幅误差修正部，其根据上述修正量导出部的导出结果，修正上述被测定信号的振幅。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述振幅误差修正部使上述偏压电压变化上述偏压电压的修正量。此外，本专利技术的光测定装置也可以具备：设备/偏压振幅特性记录部，其记录上述被测定信号输出器的输出的振幅与上述偏压电压之间的对应关系，其中，上述振幅误差修正部根据上述设备/偏压振幅特性记录部的记录内容，将上述信号测定部的测定结果修正与上述偏压电压的修正量对应的上述被测定信号的振幅的变动量。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述振幅测定部多次测定上述监视信号，上述修正量导出部根据上述振幅测定部的测定结果和上次的上述振幅测定部的测定结果，导出上述偏压电压的修正量。此外，本专利技术的光测定装置也可以由上述修正量导出部根据上述振幅测定部的测定结果和上次的上述振幅测定部的测定结果即上述振幅误差修正部的修正后的测定结果，导出上述偏压电压的修正量。此外，本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光测定装置，其特征在于，具备：主激光器，其输出主激光脉冲；从激光器，其输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲；照射光脉冲输出器，其接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲；被测定信号输出器，其接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号，其中修正上述被测定信号的测定误差。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.24 JP 2012-2100731.一种光测定装置，其特征在于，具备：主激光器，其输出主激光脉冲；从激光器，其输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲；照射光脉冲输出器，其接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲；被测定信号输出器，其接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号；信号测定部，其测定上述被测定信号的输出时刻；监视信号输出器，其接受上述照射光脉冲和上述从激光脉冲，输出监视信号；时间测定部，其测定上述监视信号的输出时刻；时间差导出部，其导出上述时间测定部的测定结果和得到该测定结果的时刻之前的上述时间测定部的测定结果之间的偏差；以及误差修正部，其根据上述时间差导出部的导出结果，修正上述被测定信号的输出时刻，其中修正上述被测定信号的输出时刻的测定误差，上述被测定信号和上述监视信号之间的时间差是固定的。2.根据权利要求1所述的光测定装置，其特征在于，具备：触发信号输出器，其在同时接受了上述主激光脉冲和上述从激光脉冲的时刻，输出触发信号，其中上述信号测定部以上述触发信号为基准，测定上述被测定信号的输出时刻，上述误差修正部修正上述触发信号输出器对上述触发信号的输出时刻。3.根据权利要求1所述的光测定装置，其特征在于，上述误差修正部修正上述信号测定部的测定结果。4.根据权利要求1～3的任意一项所述的光测定装置，其特征在于，上述时间测定部多次测定上述监视信号，上述时间差导出部导出上述时间测定部的测定结果和上次的上述时间测定部的测定结果之间的偏差。5.根据权利要求4所述的光测定装置，其特征在于，上述时间差导出部导出上述时间测定部的测定结果和上次的上述时间测定部的测定结果即上述误差修正部进行修正后的测定结果之间的偏差。6.根据权利要求1～3的任意一项所述的光测定装置，其特征在于，上述被测定信号输出器兼作上述监视信号输出器，使得上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲在时间区域中不重叠地到达上述被测定信号输出器。7.根据权利要求6所述的光测定装置，其特征在于，使得从上述照射光脉冲输出器向上述被测定信号输出器的、存在上述被测定物的光路和不存在上述被测定物的光路之间的光路差大到对于上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲在时间区域中不重叠地到达上述被测定信号输出器来说充分的程度。8.根据权利要求6所述的光测定装置，其特征在于，具备：光学系统，其选择上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲的任意一方并赋予上述被测定信号输出器。9.一种光测定装置，其特征在于，具备：主激光器，其输出主激光脉冲；从激光器，其输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲；照射光脉冲输出器，其接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲；被测定信号输出器，其接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号；信号测定部，其测定上述被测定信号的输出时刻；时间/温度特性记录部，其记录上述被测定信号输出器的输出的输出时刻与环境温度之间的对应关系；时间差导出部，其根据上述时间/温度特性记录部的记录内容，导出基准温度和测定上述被测定信号的时刻的环境温度下的上述被测定信号的输出时刻的偏差；以及误差修正部，其根据上述时间差导出部的导出结果，修正上述被测定信号的输出时刻，其中修正上述被测定信号的输出时刻的测定误差。10.根据权利要求9所述的光测定装置，其特征在于，具备：触发信号输出器，其在同时接受了上述主激光脉冲和上述从激光脉冲的时刻，输出触发信号，其中上述信号测定部以上述触发信号为基准，测定上述被测定信号的输出时刻，上述误差修正部修正上述触发信号输出器对上述触发信号的输出时刻。11.根据权利要求9所述的光测定装置，其特征在于，上述误差修正部修正上述信号测定部的测定结果。12.根据权利要求9～11的任意一项所述的光测定装置，其特征在于，上述信号测定部多次测定上述被测定信号，上述基准温度是上次测定上述被测定信号的时刻的环境温度。13.一种光测定装置，其特征在于，具备：主激光器，其输出主激光脉冲；从激光器，其输出重复频率或相位与上述主激光脉冲不同的从激光脉冲；照射光脉冲输出器，其接受上述主激光脉冲，输出照射光脉冲；被测定信号输出器，其接受向被测定物照射上述照射光脉冲而得到的被测定光脉冲，进而在接受了上述从激光脉冲的时刻，输出与上述被测定光脉冲的功率对应的被测定信号；信号测定部，其测定上述被测定信号的振幅；监视信号输出器，其接受上述照射光脉冲和上述从激光脉冲，输出监视信号；振幅测定部，其测定上述监视信号的振幅；监视/偏压振幅特性记录部，其记录上述监视信号的振幅与施加到上述照射光脉冲输出器的偏压电压之间的对应关系；修正量导出部，其根据上述监视/偏压振幅特性记录部的记录内容，导出用于使上述振幅测定部的测定结果与得到该测定结果的时刻之前的上述振幅测定部的测定结果一致的上述偏压电压的修正量；以及振幅误差修正部，其根据上述修正量导出部的导出结果，修正上述被测定信号的振幅，其中修正上述被测定信号的振幅的测定误差。14.根据权利要求13所述的光测定装置，其特征在于，上述振幅误差修正部使上述偏压电压变化上述偏压电压的修正量。15.根据权利要求13所述的光测定装置，其特征在于，具备：设备/偏压振幅特性记录部，其记录上述被测定信号输出器的输出的振幅与上述偏压电压之间的对应关系，其中上述振幅误差修正部根据上述设备/偏压振幅特性记录部的记录内容，将上述信号测定部的测定结果修正与上述偏压电压的修正量对应的上述被测定信号的振幅的变动量。16.根据权利要求13～15的任意一项所述的光测定装置，其特征在于，上述振幅测定部多次测定上述监视信号，上述修正量导出部根据上述振幅测定部的测定结果和上次的上述振幅测定部的测定结果，导出上述偏压电压的修正量。17.根据权利要求16所述的光测定装置，其特征在于，上述修正量导出部根据上述振幅测定部的测定结果和上次的上述振幅测定部的测定结果即上述振幅误差修正部进行修正后的测定结果，导出上述偏压电压的修正量。18.根据权利要求13～15的任意一项所述的光测定装置，其特征在于，上述被测定信号输出器兼作上述监视信号输出器，使得上述被测定光脉冲和上述照射光脉冲在时间区域中不重叠地到达上述被测定信号输出器。19.根据权利要求18所述的光测定装置，其特征在于，使得从上述照...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本昌一，入泽昭好，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：日本;JP