一种石英晶体谐振器气密性检测装置制造方法及图纸

技术编号:11430942 阅读:86 留言:0更新日期:2015-05-07 17:42
本实用新型专利技术涉及一种石英晶体谐振器气密性检测装置,包括机架及测试单元,测试单元包括电阻测试仪、测试台、测试头和定位机构,测试头和定位机构均固定在机架上,测试头与电阻测试仪连接;测试台上设有用于加压的通气孔;定位机构将测试台移动至测试位形成密闭的加压腔体。上述石英晶体谐振器气密性检测装置,通过采用气体加压法进行检测,不需使用液体媒介物质,降低了成本,避免污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气密性检测装置,尤其涉及一种石英晶体谐振器气密性检测 装直。
技术介绍
石英晶体谐振器的粗漏检测,长期以来采用的是液体加压法,即先对产品进行频 率电性能测试,得到一个原始测试值,然后将产品放入加压罐,向加压罐内注入酒精或氟油 等类似功能的媒介物质,并向加压罐内加压,保持一段时间后将产品取出再进行频率电性 能测试。若前后测得的电性能值发生改变,则产品漏气。但是这种检测方法存在检出率低、 工序繁琐、受环境条件和时间限制等问题,且漏气产品由于媒介物质的污染而无法再次封 装修复,具有一定的破坏性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种石英晶体谐振器气密性检测装置, 不需使用液体媒介物质进行检测,降低了成本,避免污染。 本技术是这样实现的,一种石英晶体谐振器气密性检测装置,包括机架及测 试单元,所述测试单元包括电阻测试仪、测试台、测试头和定位机构,所述测试头和定位机 构均固定在所述机架上,所述测试头与所述电阻测试仪连接;所述测试台上设有用于加压 的通气孔;所述定位机构将所述测试台移动至测试位形成密闭的加压腔体。 进一步地,所述测试台位于所述测试头下方,其还包括支架、放置台和弹簧,所述 弹簧的两端分别与所述放置台的底部以及所述支架的底部连接,所述放置台可移动的安装 在所述支架上,所述通气孔设置在所述放置台上。 进一步地,所述定位机构包括顶升部件和驱动丝杆,所述支架套设在所述驱动丝 杆上并随所述驱动丝杆水平移动,所述顶升部件位于所述放置台下方并驱动所述放置台上 下移动。 进一步地,所述装置还包括送料单元,所述送料单元与所述控制器连接,其包括用 于上料的震动盘、固定在所述震动盘上的滑道、用于取料的第一取料机构以及中转台,所述 震动盘、第一取料机构和中转台均固定在所述机架上。 进一步地,所述第一取料机构包括凸轮、第一取料臂以及第一吸嘴,所述第一吸嘴 固定在所述第一取料臂上且位于所述滑道末端的正上方,所述凸轮带动所述第一取料臂上 下和水平移动;所述中转台包括可水平移动的滑动块。 进一步地,所述第一取料机构还包括第一滑块、水平导轨、驱动轴以及从动轴,所 述水平导轨固定在所述机架上,所述驱动轴固定在所述凸轮上,所述从动轴穿套在所述凸 轮中并与所述第一取料臂相固定;所述第一滑块的两表面分别设有水平导槽和坚直导槽, 所述第一取料臂和水平导轨分别安装在所述坚直导槽和水平导槽中。 进一步地,所述装置还包括传送单元,所述传送单元包括用于将待测产品从所述 中转台取送至所述测试台的第二取料机构,所述第二取料机构固定在所述机架上。 进一步地,所述第二取料机构包括第二滑块、第二取料臂、固定在所述第二取料臂 上的多个第二吸嘴和第一滑台气缸,所述第二取料臂可滑动的安装在所述第一滑台气缸 上,所述第一滑台气缸固定在所述第二滑块上,所述第二滑块可滑动的安装在所述机架上。 进一步地,所述装置还包括出料单元,所述出料单元包括至少两个出料盒和用于 将待测产品从所述测试台取送至相应的出料盒的第三取料机构,所述第三取料机构固定在 所述机架上,所述出料盒包括合格品出料盒和非合格品出料盒。 进一步地,所述第三取料机构包括第三滑块、第三取料臂、固定在所述第三取料臂 上的多个第三吸嘴和第二滑台气缸,所述第三取料臂可滑动的安装在所述第二滑台气缸 上,所述第二滑台气缸固定在所述第三滑块上,所述第三滑块可滑动的安装在所述机架上。 本技术与现有技术相比,有益效果在于:本技术所述的石英晶体谐振器 气密性检测装置,通过采用气体加压法进行检测,不需使用液体媒介物质,降低了成本,避 免污染。【附图说明】 图1是本技术实施例提供的石英晶体谐振器气密性检测装置的整体结构示 意图。 图2是图1中的测试单元和出料单元的结构示意图。 图3是图1中的送料单元的结构示意图。 图4是图3中的第一取料机构的部分结构示意图。 图5是图1中的传送单元的结构示意图。【具体实施方式】 为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施 例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释 本技术,并不用于限定本技术。 本技术利用石英晶体谐振器的谐振电阻(R),在一定振动强度下(Uq)与谐振 器有效振动面积(A)的表面气体密度(P)的阻尼(η)的关系,通过谐振电阻的精密测量, 分析电阻的变化,从而判定漏率检测的结果。 当石英晶体谐振器在真空环境氛围下振动时,主要表现为质量负载。 当石英晶体谐振器在空气环境氛围下振动时,除质量负载外,还有部分空气阻尼 负载。 当石英晶体谐振器在液体环境氛围下振动时,主要表现为阻尼负载。 对于AT切(单转角切)的晶体谐振器,通过波动方程,可以获得谐振电阻和空气 阻尼的关系为 : R = Uq* 〇 * p * η )1/2/ ,其中, R :表示晶体谐振器电阻; uq:表示晶体振动的位移; P :表示晶体谐振器内部空气的密度; η :表示晶体谐振器内部空气的阻尼系数; A :表不晶体振动的有效面积; e26:表示晶体材料的压电常数; 心表示晶体谐振器谐振频率; Pq:表示晶体材料的密度。 由以上公式可知,对于一个特定的谐振器而言,不同的阻尼条件有其对应的电阻, 即: R = K*(p * n)1/2(k 为一定值) 向某一特定的谐振器周围施加不同的气压,若该谐振器为漏气产品,则会引起不 同的阻尼状态,谐振器电阻也会相应地发生变化。若该谐振器为不漏气产品,则阻尼状态不 会发生改变,相应地谐振器电阻也不变。 本技术中石英晶体谐振器气密性检测方法主要是将待测产品分别置于常压 和加压状态下,并分别检测其电阻Rl和R2 ;判断RU R2是否相同,若Rl = R2,则判定产品 不漏气,当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶体谐振器气密性检测装置,其特征在于,包括机架及测试单元,所述测试单元包括电阻测试仪、测试台、测试头和定位机构,所述测试头和定位机构均固定在所述机架上,所述测试头与所述电阻测试仪连接;所述测试台上设有用于加压的通气孔;所述定位机构将所述测试台移动至测试位形成密闭的加压腔体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨伟华刘立聪覃觉平孙晓明
申请(专利权)人:应达利电子深圳有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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