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消杂光双光路光学定中仪制造技术

技术编号:11360435 阅读:41 留言:0更新日期:2015-04-29 11:15
本发明专利技术属于光学装配技术领域,具体涉及一种消杂光双光路光学定中仪。本发明专利技术由光电探测器、自准直仪、起偏器、偏振分束器、检偏器、变焦望远镜和计算机平台等组成;偏振分束器将自准直仪提供的平行光分为反射S光和透射P光;S光经过检偏器并由变焦望远镜聚焦在待测光学部件所测镜片上表面的曲率中心;P光由平面反射镜反射经过检偏器并由变焦望远镜聚焦在所测镜片下表面曲率中心;光电探测器摄取两光路中反射光的十字像,计算机平台计算所测镜片的中心偏差,根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中。本发明专利技术成本低廉,测量精度高,能对光学部件两测量面中心偏差同时测量,高效快速实现中心偏差的校正。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种消杂光双光路光学定中仪,其特征在于由光电探测器(1)、自准直仪(2)、起偏器(3)、偏振分束器(4)、三个平面反射镜(5、13、14)、三个检偏器(6、7、8)、两个近距离变焦望远镜(9、10)、空气轴承转台(12)、圆度仪(15)、计算机平台(16)组成;所述自准直仪用于提供携带十字像信号的平行光,至起偏器(3)产生线偏振光,并由偏振分束器(4)产生偏振方向相互垂直的S光和P光;S光经过第一检偏器(6)、第二检偏器(7)并由第二近距离变焦望远镜(10)聚焦在固定在空气轴承转台(12)上的待测光学部件(11)所测镜片上表面的曲率中心;P光由第一平面反射镜(5)反射经过第三检偏器(8)并由第一近距离变焦望远镜(9)聚焦在所测镜片下表面曲率中心;S光和P光由所测镜片上下表面反射,并由光电探测器(1)摄取反射光的十字像信号,计算机平台(16)计算分析所测镜片的中心偏差,根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中;圆度仪(15)用于检测待测光学部件(11)的镜筒与空气轴承转台(12)的同轴性。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘为森徐敏王军华
申请(专利权)人:复旦大学
类型:发明
国别省市:上海;31

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