【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种鳍式场效晶体管的工艺整合方法，用于其鳍层制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：S01：提供一半导体基底，在所述基底上依次形成鳍层目标层、核心层及核心层的刻蚀阻挡层；S02：刻蚀核心层的阻挡层及核心层，形成核心层图形；S03：在核心层图形的表面形成侧墙硬掩模层，刻蚀侧墙硬掩模层并去除核心层，保留侧墙硬掩模图形；S04：采用阻挡光刻版进行光刻工艺，在部分硬掩模图形上方形成光刻胶图形；S05：分别以光刻胶图形和非光刻胶图形区域的侧墙硬掩模图形为阻挡层，对鳍层目标层进行刻蚀，以在光刻胶图形和非光刻胶图形区域分别形成第一、第二鳍层图形；S06：去除光刻胶及侧墙硬掩模，进行后续线端切除的光刻和刻蚀工艺，形成最终的第一、第二鳍层图形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁伟，李铭，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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