固体摄像装置及其制造方法制造方法及图纸

一种固体摄像装置及其制造方法，该固体摄像装置包括：具有主面的摄像基板部，该主面包括具有多个像素的第1区域与具有多个像素的第2区域；透镜部，在与主面相垂直的第1方向，与主面分开，该透镜部包括第1透镜和第2透镜，该第1透镜在投影于主面上时，与第1区域的多个像素重合，该第2透镜在投影于主面上时，与第2区域的多个像素重合；以及滤色器部，设置于摄像基板部和透镜部之间，与摄像基板部分开，该滤色器部包括第1滤色器和第2滤色器，该第1滤色器设置于第1区域和第1透镜之间，具有第1色，该第2滤色器设置于第2区域和第2透镜之间，具有不同于第1色的第2色。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种，该固体摄像装置包括：具有主面的摄像基板部，该主面包括具有多个像素的第1区域与具有多个像素的第2区域；透镜部，在与主面相垂直的第1方向，与主面分开，该透镜部包括第1透镜和第2透镜，该第1透镜在投影于主面上时，与第1区域的多个像素重合，该第2透镜在投影于主面上时，与第2区域的多个像素重合；以及滤色器部，设置于摄像基板部和透镜部之间，与摄像基板部分开，该滤色器部包括第1滤色器和第2滤色器，该第1滤色器设置于第1区域和第1透镜之间，具有第1色，该第2滤色器设置于第2区域和第2透镜之间，具有不同于第1色的第2色。【专利说明】 关联申请本申请享受以日本专利申请2013-189393号(申请日:2013年9月12)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部的内容。
本专利技术的实施方式一般涉及。
技术介绍
例如，CMOS图像传感器、CCD图像传感器等的固体摄像装置中，要求高精细化处理。
技术实现思路
专利技术所要解决的问题 本专利技术要解决的课题在于提供谋求高精细化处理的固体摄像装置。 用于解决问题的手段 本专利技术的固体摄像装置包括:摄像基板部，包括主面，该主面包括具有多个像素的第I区域以及具有多个像素的第2区域；透镜部，在与上述主面相垂直的第I方向上与上述主面分开，该透镜部包括第I透镜和第2透镜，该第I透镜在投影于上述主面上时，与上述第I区域的上述多个像素重合，该第2透镜在投影于上述主面上时，与上述第2区域的上述多个像素重合；以及滤色器部，设置于上述摄像基板部和透镜部之间，与上述摄像基板部分开，该滤色器部包括第I滤色器和第2滤色器，该第I滤色器设置于上述第I区域和上述第I透镜之间，具有第I色，该第2滤色器设置于上述第2区域和上述第2透镜之间，具有不同于上述第I色的第2色。 通过上述方案，可提供谋求高精细化处理的固体摄像装置。 【专利附图】【附图说明】 图1为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意剖视图； 图2为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意俯视图； 图3为列举第I实施方式的固体摄像装置的动作的例子的流程图； 图4为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意剖视图； 图5为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意剖视图； 图6为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意剖视图； 图7为列举第2实施方式的固体摄像装置的制造方法的例子的流程图； 图8(a)?图8(c)为列举第2实施方式的固体摄像装置的制造方法的例子的步骤顺序示意剖视图； 图9为列举第2实施方式的固体摄像装置的制造方法的例子的流程图； 图10(a)?图10(c)为列举第2实施方式的固体摄像装置的制造方法的例子的步骤顺序示意剖视图。 【具体实施方式】 按照本专利技术的实施方式，提供一种固体摄像装置，该固体摄像装置具有摄像基板部、透镜部以及滤色器部。上述摄像基板部包括主面，该主面具有含多个像素的第I区域与含多个像素的第2区域。上述透镜部在将与上述主面相垂直的第I方向，与该主面分开。上述透镜部包括第I透镜和第2透镜，在投影于上述主面上时，该第I透镜与上述第I区域的上述多个像素重合，在投影于上述主面上时，第2透镜与上述第2区域的上述多个像素重合。上述滤色器部设置于上述摄像基板部和透镜部之间，与上述摄像基板部分开。上述滤色器部包括第I滤色器和第2滤色器，该第I滤色器设置于上述第I区域和上述第I透镜之间，具有第I色，第2滤色器设置于上述第2区域和上述第2透镜之间，具有不同于上述第I色的第2色。 下面参照附图，对本专利技术的各实施方式进行说明。 另外，附图是示意性或概念性的，各部分的厚度和宽度的关系，部分之间的尺寸的比例等不一定限于与现实的情况相同的情况下。另外，即使在表示相同的部分的情况下，还具有根据附图，按照相互的尺寸、比例不同的方式表示的情况。 此外，在本申请的说明书和附图中，关于附图，在与前述的部件相同的部件，采用同一符号，具体的说明适当省略。 (第I实施方式) 图1为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意剖视图。 图2为列举第I实施方式的固体摄像装置的例子的示意俯视图。 图1为沿图2中的A1-A2线剖视图。 如图1和图2所示的那样，本实施方式的固体摄像装置110包括摄像基板部10、透镜部20以及滤色器部30。 摄像基板部10具有多个像素12。摄像基板部10具有主面10a。在相对主面1a平行的平面内，设置多个像素12。 与主面1a相垂直的方向为Z轴方向(第I方向Dl)。与Z轴方向相垂直的I个方向为X轴方向。与Z轴方向和X轴方向相垂直的方向为Y轴方向。 主面1a具有比如，多个区域。主面1a具有比如，第I区域11a、第2区域Ilb与第3区域11c。 第I区域Ila具有多个像素12。第2区域Ilb具有多个像素12。第3区域Ilc具有多个像素12。 像素12采用比如，具有pn结的光电二极管。像素12的结构是任意的。像素12比如，将可见光、红外光的光信号转换为电信号。摄像基板部10采用比如硅基板。在摄像基板部10上，不但设置像素12，也可设置具有CMOS元件等的电路部等。电路部也可包括后述的信号处理部70。 透镜部20在第I方向Dl，与主面1a分开。第I方向Dl (Z轴方向)为与主面1a相垂直的方向。透镜部20包括多个透镜21ο (比如，第I透镜21a、第2透镜21b和第3透镜21c等)。 第I透镜21a在投影于主面1a上时，与第I区域Ila的多个像素12重合。第2透镜21b在投影于主面1a上时，与第2区域Ilb的多个像素12重合。第3透镜21c在投影于主面1a上时，与第3区域Ilc的多个像素12重合。 透镜21ο采用透光性的材料。透镜21ο采用比如，透光性的树脂。透镜21ο采用丙烯树脂或环氧树脂等。透镜21ο也可采用玻璃等。 滤色器部30设置于摄像基板部10和透镜部20之间。滤色器部30与摄像基板部10分开。滤色器部30包括多个滤色器31ο (比如，第I滤色器31a、第2滤色器31b和第3滤色器31c等)。 第I滤色器31a设置于第I区域Ila和第I透镜21a之间。第I滤色器31a具有第I色。 第2滤色器31b设置于第2区域Ilb和第2透镜21b之间。第2滤色器31b具有第2色。第2色不同于第I色。 第3滤色器31c设置于第3区域Ilc和第3透镜21c之间。第3滤色器31c具有第3色。第3色不同于第I色，不同于第2色。 比如，第I色、第2色和第3色的相应色分别与红、绿和蓝的色相对应。在实施方式中，第I色、第2色和第3色是任意的。比如，第2滤色器31b的吸收的峰值波长不同于第I滤色器31a的吸收的峰值波长。比如，第3滤色器31c的吸收的峰值波长不同于第I滤色器31a的吸收的峰值波长，不同于第2滤色器31b的吸收的峰值波长。比如，第2滤色器31b的透射的峰值波长不同于第I滤色器31a的透射的峰值波长。比如，第3滤色器31c的透射的峰值波长不同于第I滤色器31a的透射的峰值波长，不同于第2滤色器31b的透射的峰值波长。 滤色器31ο包括比如，树脂与分散于树脂中的着色材料。树脂采用比如，丙烯树月旨、环氧树脂或聚酰亚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像装置，包括：摄像基板部，包括主面，该主面包括具有多个像素的第1区域以及具有多个像素的第2区域；透镜部，在与上述主面相垂直的第1方向上与上述主面分开，该透镜部包括第1透镜和第2透镜，该第1透镜在投影于上述主面上时，与上述第1区域的上述多个像素重合，该第2透镜在投影于上述主面上时，与上述第2区域的上述多个像素重合；以及滤色器部，设置于上述摄像基板部和透镜部之间，与上述摄像基板部分开，该滤色器部包括第1滤色器和第2滤色器，该第1滤色器设置于上述第1区域和上述第1透镜之间，具有第1色，该第2滤色器设置于上述第2区域和上述第2透镜之间，具有不同于上述第1色的第2色。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：增田梨沙，冈田直忠，铃木和拓，上野梨纱子，小林光吉，舟木英之，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP