夹持装置制造方法及图纸

一种夹持装置，用于夹持碳化硅舟，碳化硅舟的舟耳上开设有通孔，夹持装置包括基座和插销，基座包括两个夹板，两个夹板的一端固定连接，另一端共同形成一夹口；插销可拆卸地穿设于两个夹板，插销可穿设于通孔，以使舟耳位于两个夹板之间，且插销和两个夹板共同配合以夹持住舟耳。上述夹持装置操作较为简单。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种夹持装置，用于夹持碳化硅舟，碳化硅舟的舟耳上开设有通孔，夹持装置包括基座和插销，基座包括两个夹板，两个夹板的一端固定连接，另一端共同形成一夹口；插销可拆卸地穿设于两个夹板，插销可穿设于通孔，以使舟耳位于两个夹板之间，且插销和两个夹板共同配合以夹持住舟耳。上述夹持装置操作较为简单。【专利说明】夹持装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种夹持装置。
技术介绍
在制备芯片的过程中，需要将芯片置于扩散炉中进行扩散处理，且在扩散处理过程中是将芯片装载在碳化硅舟中。为了避免直接用手拿碳化硅舟对芯片造成污染，通常需要使用夹具将碳化硅舟放入扩散炉和从扩散炉中取出，然而现有的夹具通常是采用主柄和副柄的方式，通过设置滑轨使副柄在主柄上滑动，而将碳化硅舟的舟耳夹持在主柄和副柄之间，但是这种夹具操作繁琐。
技术实现思路
鉴于此，有必要提供一种操作较为简单的夹持装置。 一种夹持装置，用于夹持碳化硅舟，所述碳化硅舟的舟耳上开设有通孔，所述夹持装置包括: 基座，包括两个夹板，所述两个夹板的一端固定连接，另一端共同形成一夹口 ；及 插销，可拆卸地穿设于所述两个夹板，所述插销可穿设于所述通孔，以使所述舟耳位于所述两个夹板之间，且所述插销和所述两个夹板共同配合以夹持住所述舟耳。 在其中一个实施例中，所述插销包括条形本体及一端与所述条形本体固定连接的杆部，所述杆部与所述条形本体的延伸方向相交，所述杆部可拆卸地穿设于所述两个夹板，且所述杆部可穿设于所述通孔，其中，所述两个夹板中的一个远离另一个的一侧与所述条形本体相抵接。 在其中一个实施例中，所述杆部至少为两个，且间隔固定于所述条形本体的同一侦牝每个所述杆部均穿设所述两个夹板，且每个所述杆部对应一个所述通孔。 在其中一个实施例中，所述基座还包括连接板，所述连接板的两端分别与所述两个夹板的一端固定连接，以形成U型结构，所述杆部与所述条形本体垂直，且所述杆部与每个所述夹板垂直。 在其中一个实施例中，每个所述夹板上开设有供插销穿过的定位孔，所述插销穿设于所述两个夹板的定位孔。 在其中一个实施例中，所述基座还包括延伸柄，所述延伸柄的一端与所述两个夹板的连接处固定连接，另一端朝远离所述夹口的方向延伸。 在其中一个实施例中，所述延伸柄上设有防滑纹。 在其中一个实施例中，所述延伸柄上还设有定位块。 在其中一个实施例中，所述定位块远离所述延伸柄的一侧为弧形。 上述夹持装置在使用时，只需移动基座，使碳化硅舟的舟耳位于夹口内，并位于基座的两个夹板之间，然后用插销穿过两个夹板和舟耳上的通孔，在插销和两个夹板共同配合下就能够夹持住碳化硅舟的舟耳，操作十分简单。因此，上述夹持装置操作较为简单。 【专利附图】【附图说明】 图1为一实施方式的夹持装置的结构示意图； 图2为图1所示的夹持装置的基座省略了防滑纹的另一角度的结构示意图； 图3为图1所示的夹持装置的插销的另一角度的结构示意图。 【具体实施方式】 为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳的实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。 需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。 如图1所示，一实施方式的夹持装置100，用于夹持碳化硅舟，碳化硅舟的舟耳上开设有通孔。其中，夹持装置100包括基座110和插销120。 基座110包括两个夹板112，两个夹板112的一端固定连接，另一端共同形成一夹□。 夹板112大致为板状。 具体的，基座110还包括延伸柄114，延伸柄114的一端与两个夹板112的连接处固定连接，另一端朝远离夹口的方向延伸。 进一步的，延伸柄114上设有防滑纹115，从而防止操作者打滑。 为了便于操作者手持延伸柄114,延伸柄114上还设有定位块116。通过设置定位块116，当操作者手持延伸柄114时，可以用手握延伸柄114，用手指按住定位块116，从而能够起到更加稳固地拿起基座110的作用。 本实施例中，定位块116远离延伸柄114的一侧为弧形，从而防止手指按住定位块116的棱边而弄疼操作者。 请一并参阅图2和图3，插销120可拆卸地穿设于两个夹板112，插销120可穿设于舟耳上的通孔，以使舟耳位于两个夹板112之间，且插销120和两个夹板112共同配合以夹持住舟耳。具体的，每个夹板112上开设有供插销120穿过的定位孔112a，插销120穿设于两个夹板112的定位孔112a。 在本实施例中，插销120包括条形本体122及一端与条形本体122固定连接的杆部124，杆部124与条形本体122的延伸方向相交，杆部124可拆卸地穿设于两个夹板112，且杆部124可穿设通孔，两个夹板112中的一个远离另一个的一侧与条形本体122相抵接。具体的，杆部124穿设于两个夹板112的定位孔112a。 具体在图示的实施例中，基座110还包括连接板118，连接板118的两端分别与两个夹板112的一端固定连接，以形成U型结构，杆部124与条形本体122垂直，且杆部124与每个夹板112垂直。在本实施例中，基座110为一体成型结构。 可以理解，基座110不限于为U型结构，在其它实施例中，两个夹板110还可以形成V型结构，此时，连接板118可以省略；杆部124与每个夹板112也可以不垂直。 为了更加稳固地夹持碳化硅舟，杆部124至少为两个，且间隔固定于条形本体122的同一侧，每个杆部124均穿设两个夹板112，且每个杆部124对应一个通孔。 在本实施例中，杆部124为两个。可以理解，杆部124也可以为一个、三个或者是更多。 在本实施例中，插销120为一体成型结构。 上述夹持装置100在使用时，只需移动基座110，使碳化硅舟的舟耳位于夹口内，并位于基座110的两个夹板112之间，然后用插销120穿过两个夹板112和舟耳上的通孔，在插销120和两个夹板112共同配合下就能够夹持住碳化硅舟的舟耳，操作十分简单。因此，上述夹持装置100操作较为简单。 以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。【权利要求】1.一种夹持装置，用于夹持碳化硅舟，所述碳化硅舟的舟耳上开设有通孔，其特征在于，所述夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹持装置，用于夹持碳化硅舟，所述碳化硅舟的舟耳上开设有通孔，其特征在于，所述夹持装置包括：基座，包括两个夹板，所述两个夹板的一端固定连接，另一端共同形成一夹口；及插销，可拆卸地穿设于所述两个夹板，所述插销可穿设于所述通孔，以使所述舟耳位于所述两个夹板之间，且所述插销和所述两个夹板共同配合以夹持住所述舟耳。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭充，赵彦云，徐国耀，高志伟，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44