【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统，其特征在于，该系统包括视场复眼、光阑复眼及二次曲面反射镜；其中，视场复眼由若干个抛物面反射镜构成，入射光束在每一抛物面反射镜上发生掠入射，并以平行光束出射至光阑复眼上；光阑复眼由若干个自由曲面反射镜构成，每一自由曲面反射镜用以对入射其上的光束整形，使得光阑复眼出射光束在指定平面处为一个均匀的弧形光斑，所述指定平面与掩模面关于二次曲面反射镜成物像共轭关系；二次曲面反射镜，用于将所述弧形光斑成像于掩模面上，将光阑复眼成像于投影物镜的入瞳面上。
【技术特征摘要】
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