高精度浓度计及其测量方法技术

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种高精度浓度计，包括PLC控制器(1)、浓度计(2)、浓度计探棒(6)、进液管(7)、出液管(4)及液体减速罐(3)，所述液体减速罐(3)内部设有液体缓冲室(5)，所述液体缓冲室(5)的顶端部位通过出液口连接出液管(4)，所述液体缓冲室(5)的底端部位通过进液口连接进液管(7)，所述液体缓冲室(5)内设有浓度计探棒(6)，所述浓度计探棒(6)连接浓度计(2)，所述浓度计(2)连接PLC控制器(1)；本发明专利技术能够精确测量出目标浓度附近的浓度值，避免了小范围温度变化的影响，结果的传送不受外部信号干扰，实现了稳定的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
[
]本专利技术涉及半导体制造
，具体地说是一种应用于电子芯片清洗设备中的高精度浓度计及其测量方法。[
技术介绍
]半导体制造工艺中，经常要使用到同一种药品的不同浓度的药品，例如HF49％、HF5％、HF1％、HF0.5％等，很多厂商因此设计制造专门的稀释设备，将高浓度药品直接添加到纯水中，调配出目标浓度的药品。这些稀释设备的核心就是测量稀释结果的浓度计。浓度计通过测量药液的电导率,按照某种算法,转换成药液的浓度,能够及时在线检测到药液的浓度,便于及时调节,达到规定的浓度,在工业上的应用十分广泛。随着半导体工业的飞速发展,对浓度的要求越来越严格,例如TMAH2.38％，从最初的2.38％±0.03％提高到2.38％±0.003％，但市场上普遍存在的电导率式浓度计，浓度精度为±0.01％左右，不能满足需求，需要精度为±0.001％的浓度计。要满足上述控制要求,就要求有更高精度的浓度计。[
技术实现思路
]本专利技术的目的就是要解决上述的不足，而提供一种高精度浓度计及其测量方法，能够精确测量出目标浓度附近的浓度值，避免了小范围温度变化的影响，结果的传送不受外部信号干扰，实现了稳定的高精度测量。为实现上述目的设计一种高精度浓度计，包括PLC控制器1、浓度计2、浓度计探棒6、进液管7及出液管4，还包括液体减速罐3，所述液体减速罐3内部设有液体缓冲室5，所述液体缓冲室5的顶端部位通过出液口连接出液管4，所述液体缓冲室5的底端部位通过进液口连接进液管7，所述液体缓冲室5内设有浓度计探棒6，所述浓度计探棒6连接浓度计2，所述浓度计2连接PLC控制器1。所述浓度计2采用RS232C通信方式连接PLC控制器1。一种高精度浓度计的测量方法，其具体步骤包括：1)采用电导率测试仪,根据目标药品的特性，在实验室准确调配出目标浓度附近范围内不同浓度的样品，精确测量每个药品样品电导率，并生成相应的电导率特性曲线；2)对每个浓度的药品样品，改变样品的温度，精确测量每个温度下的电导率，生成相应的温度特性曲线；3)将生成的电导率特性曲线、温度特性曲线通过编程，安装到浓度计的处理器中；4)通过浓度计测量出不同时间段的浓度值，采用移动平均法处理数据,得到测量的高精度浓度值。所述浓度计测量出的浓度值采用RS232C通信方式传输给PLC控制器。本专利技术同现有技术相比，起优点：1、缩小电导率测量的范围，实验准确测定在目标浓度附近的电导率和浓度之间关系。2、缩小温度测量的范围，实验准确测定在目标温度附近的电导率、浓度和温度之间关系。3、使用移动平均法处理测量数据，缩小测量误差。4、使用RS232C方式输出测量结果，避免传送过程中产生误差。5、制作专用的容器罐，改善流体的流向，减小流体的流速影响，改善测量环境。[附图说明]图1是本专利技术的结构示意图；图中：1为PLC控制器，2为浓度计，3为液体减速罐，4为出液管，5为液体缓冲室，6为浓度计探棒，7为进液管。[具体实施方式]下面结合附图对本专利技术作以下进一步说明：如附图1所示，本专利技术浓度计包括PLC控制器1、浓度计2、浓度计探棒6、进液管7、出液管4及液体减速罐3，所述液体减速罐3内部设有液体缓冲室5，所述液体缓冲室5的顶端部位通过出液口连接出液管4，所述液体缓冲室5的底端部位通过进液口连接进液管7，所述液体缓冲室5内设有浓度计探棒6，所述浓度计探棒6连接浓度计2，所述浓度计2连接PLC控制器1。所述浓度计2采用RS232C通信方式连接PLC控制器1。本专利技术的测量方法，其具体步骤包括：1)采用电导率测试仪,根据目标药品的特性，在实验室准确调配出目标浓度附近范围内不同浓度的样品，精确测量每个药品样品电导率，并生成相应的电导率特性曲线；2)对每个浓度的药品样品，改变样品的温度，精确测量每个温度下的电导率，生成相应的温度特性曲线，利用温度特性曲线消除温度带来的误差。3)将生成的电导率特性曲线、温度特性曲线通过编程，安装到浓度计的处理器中；4)通过浓度计测量出不同时间段的浓度值，采用移动平均法处理数据,得到测量的高精度浓度值。5)将浓度计测量出的浓度值采用RS232C通信方式传输给PLC控制器。本专利技术并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本专利技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度浓度计，包括PLC控制器(1)、浓度计(2)、浓度计探棒(6)、进液管(7)及出液管(4)，其特征在于：还包括液体减速罐(3)，所述液体减速罐(3)内部设有液体缓冲室(5)，所述液体缓冲室(5)的顶端部位通过出液口连接出液管(4)，所述液体缓冲室(5)的底端部位通过进液口连接进液管(7)，所述液体缓冲室(5)内设有浓度计探棒(6)，所述浓度计探棒(6)连接浓度计(2)，所述浓度计(2)连接PLC控制器(1)。

【技术特征摘要】
1.一种高精度浓度计，包括PLC控制器(1)、浓度计(2)、浓度计探棒(6)、
进液管(7)及出液管(4)，其特征在于：还包括液体减速罐(3)，所述液体
减速罐(3)内部设有液体缓冲室(5)，所述液体缓冲室(5)的顶端部位通
过出液口连接出液管(4)，所述液体缓冲室(5)的底端部位通过进液口连接
进液管(7)，所述液体缓冲室(5)内设有浓度计探棒(6)，所述浓度计探棒
(6)连接浓度计(2)，所述浓度计(2)连接PLC控制器(1)。
2.如权利要求1所述的高精度浓度计，其特征在于：所述浓度计(2)采用RS232C
通信方式连接PLC控制器(1)。
3.一种如权利要求1所述的高精度浓...

【专利技术属性】
技术研发人员：张仕成，简建至，吴玉明，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31