功能元件、电子设备以及移动体制造技术

技术编号:11171887 阅读:27 留言:0更新日期:2015-03-19 13:19
本发明专利技术涉及一种功能元件、电子设备以及移动体。功能元件的特征在于,具有:可动体,其能够沿第一轴位移;可动电极部,其从可动体延伸设置;固定电极部,其被设置为与可动电极部对置;以及止动部,其限制可动体的位移,在可动体上设置有沿第一轴突出的突出部,突出部的端部与止动部之间的距离短于可动电极部与固定电极部之间的距离。

【技术实现步骤摘要】
功能元件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及功能元件、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来,作为被用作功能元件的对加速度等物理量进行检测的功能元件,已知一种下述构造的功能元件,其具有:固定电极、能够在固定方向上位移的可动体、以相对于固定电极具有间隙的方式并排设置并且设置于可动体上的可动电极。 这样的功能元件中,伴随着可动体的位移,固定电极与设置于可动体上的可动电极之间的间隙将发生变化,通过利用该间隙的变化来检测在固定电极与可动电极之间产生的静电电容的变化,从而测量出加速度等物理量的变化。 例如,在专利文献I中公开有如下构造的功能元件,其以线对称的方式设置有可动体、从可动体延伸设置的梁部、梁部所连接的固定部,并且限制可动体的位移的止动部在以构成多边形的方式而弯折的梁部的内侧被设置于与可动体对置的面上。 然而,上述的功能元件不容易限制在俯视观察可动体的情况下,可动体产生的旋转方向上的位移。因此,存在如下的问题,即,在因被加载过度的加速度等而使可动体产生了旋转方向上的位移的情况下,固定电极与设置于可动体上的可动电极将接触,从而致使在两电极间产生的静电电容丧失,由此作为功能元件的测量停止的问题。另外,还存在固定电极与可动电极接触而致使两电极产生破损的可能。该问题并不局限于功能元件,在具有相同结构的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微电子机械系统)振子中也会产生。 专利文献1:美国专利第6065341号说明书
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的,能够以下述的方式或应用例来实现。 应用例I 本应用例所涉及的功能元件的特征在于,具有:可动体,其能够沿第一轴位移;可动电极部,其从可动体延伸设置;固定电极部,其被设置为与可动电极部对置;以及止动部,其限制可动体的位移,在可动体上设置有沿第一轴突出的突出部,突出部的端部与止动部之间的距离短于可动电极部与固定电极部之间的距离。 根据这样的功能元件,当可动体沿第一轴位移的情况下,在可动电极部与固定电极部接触之前,从可动体突出的突出部与止动部接触,从而能够抑制可动电极部与固定电极部的接触。 因此,能够抑制在功能元件被加载加速度等的力从而可动体过度地位移时,由于固定电极部与可动电极部的接触等而导致的这些电极部间的粘贴与电极部的破损。另外,能够得到可抑制在可动电极部与固定电极部之间产生的静电电容的丧失,从而持续地测量加速度等物理量的功能元件。 应用例2 在上述应用例所涉及的功能元件中,优选为,具有连接于可动体的固定部,固定部与止动部被设置为一体。 根据这样的功能元件,当可动体沿第一轴位移的情况下,在可动电极部与固定电极部接触之前,从可动体突出的突出部与和固定部设为一体的止动部接触,从而能够抑制固定电极部与可动电极部的接触。 因此,能够抑制在功能元件被加载加速度等的力从而可动体过度地位移时,由于固定电极部与可动电极部的接触等而导致的这些电极部间的粘贴与电极部的破损。另外,能够得到可抑制在固定电极部与可动电极部之间产生的静电电容的丧失,从而持续地测量加速度等物理量的功能元件。 应用例3 在上述应用例所涉及的功能元件中,优选为,具有连接于可动体的第一固定部与第二固定部,第一固定部以及第二固定部被配置在止动部的两侧,第一固定部与可动体通过第一梁部而被连接,第二固定部与可动体通过第二梁部而被连接。 根据这样的功能元件,利用连接于第一固定部的第一梁部与连接于第二固定部的第二梁部来固定可动体,由此能够抑制与第一轴并行的可动体的面内旋转方向上的位移。 应用例4 在上述应用例所涉及的功能元件中,优选为,突出部的至少一部分被设置于第一梁部与第二梁部之间。 根据这样的功能元件,当产生了与第一轴并行的可动体的面内旋转方向上的位移时,从可动体突出的突出部与第一梁部和第二梁部接触,由此能够抑制该面内旋转方向上的位移。 应用例5 在上述应用例所涉及的功能元件中,优选为,可动体与止动部为相同电位。 根据这样的功能元件,通过将止动部与可动体形成为相同电位,从而能够抑制在可动体与止动部接触时,固定电极部与设置于可动体上的可动电极部之间的静电电容的变动。因此,抑制了在可动体与止动部接触时,可动体与固定电极部之间的静电电容的变动。因此,能够得到即便可动体与止动部接触也会抑制对加速度等的物理量的测量造成的影响的功能元件。 应用例6 在上述应用例所涉及的功能元件中,优选为,在止动部以及突出部的至少一方上,于止动部与所述突出部对置的面上设置有突起。 根据这样的功能元件,与止动部和可动体接触时的接触面积相比,能够使在可动体上设置了突起的情况下的止动部与可动体接触时的接触面积较小。由此,能够减少止动部与可动体接触时的冲击。另外,能够抑制止动部与可动体的粘贴。因此,能够抑制止动部与可动体接触时的粘贴以及功能元件的破损。 应用例7 本应用例所涉及的功能元件的特征在于,具有:可动体,其能够沿第一轴位移;可动电极部,其从可动体延伸设置;固定电极部,其被设置为与可动电极部对置;止动部,其限制可动体的位移;第一固定部以及第二固定部,其被配置于止动部的两侧;第一梁部,其连接第一固定部与可动体;以及第二梁部,其连接第二固定部与可动体,止动部朝向可动体突出设置,止动部与可动体之间的距离短于可动电极部与固定电极部之间的距离。 根据这样的功能元件,当可动体沿第一轴位移的情况下,在可动电极部与固定电极部接触之前,可动体与朝可动体突出的止动部接触,由此能够抑制固定电极部与可动电极部的接触。 因此,能够抑制在功能元件被加载加速度等的力从而可动体过度地位移时,由于固定电极部与可动电极部的接触等而导致的这些电极部间的粘贴与电极部的破损。另外,能够得到可抑制在固定电极部与可动电极部之间产生的静电电容的丧失,从而持续地测量加速度等物理量的功能元件。 应用例8 本应用例所涉及的电子设备的特征在于,搭载有上述的任意功能元件。 根据这样的电子设备,通过搭载上述的任意功能元件,从而即使在电子设备受到冲击的情况下,也能够抑制功能元件的破损并持续地检测物理量,因此能够得到可靠度较闻的电子设备。 应用例9 本应用例所涉及的移动体的特征在于,搭载有上述的任意功能元件。 根据这样的移动体,通过搭载上述的任意功能元件,能够抑制来自移动体的冲击所造成的功能元件的破损,并持续地检测物理量,因此能够得到可靠度较高的移动体。 【附图说明】 图1为示意性表示第一实施方式所涉及的功能元件的俯视图。 图2为放大表示第一实施方式所涉及的功能元件的一部分的放大图。 图3为示意性表示第二实施方式所涉及的功能元件的俯视图。 图4为放大表示第二实施方式所涉及的功能元件的一部分的放大图。 图5为示意性表示第三实施方式所涉及的功能元件的俯视图。 图6为放大表示第四实施方式所涉及的功能元件的一部分的放大图。 图7为放大表示第五实施方式所涉及的功能元件的一部分的放大图。 图8为示意性表示作为实施例所涉及的电子设备的个人计算机的图。 图9为示意性表示作为实施例所涉及的电子设备的移动电话机的图。 图10为示意性表示作为实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能元件,其特征在于,具有:可动体,其能够沿第一轴位移;可动电极部,其从所述可动体延伸设置;固定电极部,其被设置为与所述可动电极部对置;以及止动部,其限制所述可动体的位移,在所述可动体上设置有沿所述第一轴突出的突出部,所述突出部的端部与所述止动部之间的距离短于所述可动电极部与所述固定电极部之间的距离。

【技术特征摘要】
2013.08.29 JP 2013-1776551.一种功能元件,其特征在于,具有: 可动体,其能够沿第一轴位移; 可动电极部,其从所述可动体延伸设置; 固定电极部,其被设置为与所述可动电极部对置;以及 止动部,其限制所述可动体的位移, 在所述可动体上设置有沿所述第一轴突出的突出部, 所述突出部的端部与所述止动部之间的距离短于所述可动电极部与所述固定电极部之间的距离。2.根据权利要求1所述的功能元件,其特征在于, 具有连接于所述可动体的固定部, 所述固定部与所述止动部被设置为一体。3.根据权利要求1所述的功能元件,其特征在于, 具有连接于所述可动体的第一固定部与第二固定部, 所述第一固定部以及所述第二固定部被配置在所述止动部的两侧, 所述第一固定部与所述可动体通过第一梁部而被连接,所述第二固定部与所述可动体通过第二梁部而被连接。4.根据权利要求3所述的功能元件,其特征在于, 所述突出部的至少一部分被设置于所述第一梁部与所述第二梁部之间。5.根据权利要求1所述的功能元件,其特征在于, 所述可动体与所述止动部为相同电位。6.根据权利要求1所述的功能元件,其特征在于, 在所述止动部以及所述突...

【专利技术属性】
技术研发人员:田中悟
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1