本发明专利技术提供一种物理传感器、振动装置、电子设备以及移动体。所述物理量传感器具备：基板；固定部以及布线，其被设置在基板上；接触部，其对固定部和布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为将被与所述可动电极和所述固定部连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。
【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、振动装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种物理量传感器、振动装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
—般，已知一种作为具备了机械地可动的结构体的电气机械系统结构体的物理量传感器和振动装置。作为物理量传感器，例如，已知一种如下的电容型传感器，所述电容型传感器具备固定电极和可动电极，并且根据固定电极与可动电极之间的静电电容而对物理量进行检测，其中，所述固定电极被固定配置在基板上，所述可动电极相对于固定电极以相隔间隔的方式对置并且以能够根据物理量(加速度、角速度等)的作用而进行位移的方式被设置。 这样的电容型传感器，例如，被构成为，通过将可动电极以及固定电极形成为梳齿状，并且在可动电极的一侧或两侧以各自的梳齿对置啮合的方式配置固定电极并进行布线，从而形成比较大的静电电容。 在专利文献I中提出了如下的技术方案，即，在这种结构的物理量传感器中，通过在可动电极的固定部(锚固部)与可动电极之间设置应力切断用的狭缝，从而防止因外部应力而引起的可动电极的形变。由于外部应力在狭缝处被缓冲，从而能够防止可动电极的形变，因此能够防止作为传感器的检测精度的下降。 但是，在专利文件I的技术中存在如下的课题，即，不能完全吸收在固定部上产生的外部应力等问题。具体而言，即使如专利文献I所示那样具备了狭缝的情况下，也存在如下课题，即，未形成狭缝的区域(对置的狭缝的间隙的区域)将作为能够从固定部向可动电极直接传递应力的区域而残留，此外，由于该区域存在于可动电极的基部(被固定部所支承，集中有梳齿状的电极部分的部分)的位移方向(可动方向)的延长线上的附近，因此由于在固定部上所产生的应力而可动电极将会发生形变、或者对可动电极的位移造成影响等课题。特别是，存在以下的课题，即，在将与固定部相连接的电气布线设置在固定部的下层并使从固定部的下层进行接触的结构的情况下，在接触部上所产生的从下层向上突出的应力通过应力切断用狭缝而不能被完全吸收等课题。 专利文件1:日本特开2013-19906号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，能够作为以下的应用例或方式来实现。 应用例I 本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具备:基板；固定部以及布线，其被设置在所述基板上；接触部，其对所述固定部和所述布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 根据本应用例，接触部被设置在第一区域外的第二区域的固定部上，所述第一区域为，将被可动电极与固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 一般情况下，使由不同的材料所形成的部件、或即使材料相同但是形成为不同的独立的形状的部件相抵接的接触部，因材料的热膨胀系数的差或部件的形状、使相抵接的结构等，而相对于被抵接部(固定部)而产生应力(机械应力以及热应力)。根据本应用例，接触部被设置在第一区域外的第二区域的固定部上。即，在接触部上所产生的应力不会直接传递至固定支点区域(即包含与可动电极和固定电极连接的部分的区域)，而是从第二区域经由第一区域的固定部而被传递至固定支点区域。因此，例如，即使将与固定部连接的电气布线设置在固定部的下层，并使从固定部的下层进行接触的结构的情况下，也能够降低该应力(从固定部的下层向接触部的应力)传递至可动电极的程度。其结果为，能够抑制因可动电极所受到的应力而可动电极发生形变、或对可动电极的位移造成影响，从而能够防止作为传感器的检测精度的下降。 应用例2 本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具备:基板；固定部以及布线，其被设置在所述基板上；接触部，其对所述固定部以及所述布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的经由所述固定部而被连接设置的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 根据本应用例，接触部被设置在第一区域外的第二区域的经由固定部而被连接设置的固定部上，所述第一区域为，将被可动电极与固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 根据本使用例，接触部被设置在第一区域外的第二区域的经由固定部而被连接设置的固定部上。即，在接触部上所产生的应力不会直接传递至固定支点区域(即包含与可动电极和固定电极连接的部分的区域)，而是从第二区域经由第一区域外的第二区域的固定部以及第一区域的固定部而被传递至固定支点区域。因此，例如，即使将与固定部连接的电气布线设置在固定部的下层，并使从固定部的下层进行接触的结构的情况下，也能够降低该应力(从固定部的下层向接触部的应力)传递至可动电极的程度。其结果为，能够抑制因可动电极所受到的应力而可动电极发生形变、或对可动电极的位移造成影响，从而能够防止作为传感器的检测精度的下降。 应用例3 上述应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，所述固定部与所述布线以在俯视观察时所述固定部覆盖所述布线的一部分的方式通过所述接触部而电连接。 如本应用例所示，由于即使在将与固定部连接的电气布线设置在固定部的下层，并使从固定部的下层进行接触的结构的情况下，也能够降低在接触部上所产生的应力传递至可动电极的程度，因此能够抑制可动电极发生形变、或对可动电极的位移造成影响，从而能够防止作为传感器的检测精度的下降。 应用例4 上述应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，所述可动电极包括连结部，所述固定支点区域为被所述连结部与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的区域。 根据本应用例，固定支点区域为被与连结部和固定部连接的区域所夹持的区域。例如连结部作为能够使可动电极更容易位移的屈曲部而构成。在这样的结构中，能够降低应力从接触部被传递至固定支点区域、即包含与连结部和固定部连接的部分的区域，因此，同样地，抑制了因可动电极所受到的应力而可动电极发生形变、或对可动电极的位移造成影响，从而能够防止作为传感器的检测精度的下降。 应用例5 上述应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，所述基板为玻璃基板，所述固定部以及所述可动电极由被层叠在所述玻璃基板上的硅基板构成。 根据本应用例，固定部以及可动电极，能够通过对被层积在玻璃基板上的硅基板进行利用光刻蚀剂的图案形成以及光刻蚀，从而能够更加简单地被形成。另外，由于即使在因玻璃基板与硅基板之间的热膨胀系数的不同从而在接触部上发生热应力的情况下，从接触部被传递至固定支点区域的应力被降低的结构，因此能够抑制因可动电极所受到的应力而导致可动电极发生形变、或对可动电极的位移造成影响，能够防止作为传感器的检测精度的降低。 应用例6 本应用例所涉及的振动装置的特征在于，具备:基板；固定部以及布线，其被设置在所述基板上；接触部，其对所述固定部以及所述布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；固定部以及布线，其被设置在所述基板上；接触部，其对所述固定部和所述布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。
【技术特征摘要】
2013.09.10 JP 2013-1871481.一种物理量传感器，其特征在于，具备: 基板； 固定部以及布线，其被设置在所述基板上； 接触部，其对所述固定部和所述布线进行电连接； 可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接， 在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。2.—种物理量传感器，其特征在于，具备: 基板； 固定部以及布线，其被设置在所述基板上； 接触部，其对所述固定部以及所述布线进行电连接； 可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接， 在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的经由所述固定部而被连接设置的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述固定部与所述布线以在俯视观察时所述固定部覆盖所述布线的一部分的方式通过所述接触部而电连接。4.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于， 所述固定部与所述布线以在俯视观察时所述固定部覆盖所述布线的一部分的方式通过所述接触部而电连接。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述可动电极包括连结部， 所述固定支点区域为，被所述连结部与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的区域。6.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于， 所述可动电极包括连结部， 所述固定支点区域为，被所述连结部与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的区域。7.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述基板为玻璃基板，所述固定部以及所述可动电极由被层叠在所述玻璃基板上的硅基板构成。8.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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