分离、至少部分干燥以及检验电子元件的设备和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于分离、至少部分干燥和检验电子元件的方法，包括：分离装置、承载电子元件的载体、用于产生辐射热的加热源、用于将承载电子元件的载体相对于加热源移位的移位装置，以及目检装置。加热源配置用于产生辐射热，以便选择性地加热和蒸发分离后电子元件上的水分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种分离、至少部分干燥以及检验电子元件的设备和方法。
技术介绍
在电子元件例如更特别地是半导体产品的制造过程期间，这些电子元件通过以更大的整块电子元件的方式进行制造，该整块电子元件随后被分割(这个过程也称为分离、单独分开或个体分开)成一个或多个单独的电子元件的小单元。例子就是放置在载体的带有多个可选整体地封装的电子元件的包装，以及被分割成较小单元的由放置有电子元件的硅载体构成的晶片。该分割操作可以通过不同形式的机械工序实现，例如锯割的同时利用液体冲洗和/或冷却分割期间的电子元件。采用切割液体进行分离也是有可能的。分割后残留的液体通常仍旧存在于分离后的电子元件上和/或残留材料(碎片)通常必须从分割后的电子元件上除去。一般采用液体(例如水)进行清洗，然后将液体除去。为了控制产品质量并且不妨碍随后在分离后电子元件上的工序，需要将残留液体从分离后的电子元件上除去。根据现有技术，出于干燥的目的，使用鼓风装置能够将粘附的液体从电子元件上吹走。另一种干燥方法是利用加热板对分离后的电子元件加热(例如温度是70～80℃)，以便使液体(水)蒸发。而另一种干燥方法是利用棉条吸水器材，通过吸附作用将粘附的水分从电子元件上除去。这里，我们知道使用一种设备，在该设备中，分离后的电子元件被放置在载体上，然后与鼓风装置、棉条吸水设备或其组合接触。这种干燥设备一般设有用于使承载电子元件的载体相对于鼓风装置、棉条吸水设备或其组合移位的输送装置。连续地分离、干燥和检验电子元件的现有技术具有的缺点是：在使用鼓风装置的情形下，残留的液体以不确定的方式发生移位。除去液体不确定的液体移位意味着液体并未以受控制的方式被除去，并且也意味着液体被移位至不期望的位置上。使用加热板加热电子元件的一个缺点是：这是一个缓慢的工序，需要很长的周转时间。应用加热板的进一步的缺点是电子元件与加热板之间需要物理接触。同样，棉条吸水的一个缺点也是与通常极易受损的分离后电子元件之间的物理接触。使用棉条吸水器材的其他缺点是吸水材料的作用被削弱(或者甚至丧失)，因为吸水材料饱和且可能滋生细菌。因此，干燥操作将随时间而改变。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种分离、至少部分干燥和检验电子元件的改进设备和方法，通过该设备方法，同时保留现有技术的诸多优点。使用液体的同时仍有可能进行分离，剩余的液体可以高效且可控地被除去，并且可以紧接着对分离后电子元件进行有效的检验。针对该目的，本专利技术提供一种分离、至少部分干燥和检验电子元件的设备，包括用于将较大的整个电子元件分割成分离的电子元件的分离设备；承载分离后的电子元件的载体；产生辐射热的热源；将承载分离后的电子元件的载体相对于加热源移位的移位装置；以及检测分离后的电子元件的目检装置；其中所述加热源配置成产生波长范围在1～5μm内的辐热射。这种辐射热具有近红外区内的波长。术语“近红外”理解为大约位于780nm～大约10μm范围内的波长，优选地在大约900nm～大约5μm范围内，更优选地在大约1μm～约4μm的范围内，特别地在约1.5μm～约3.5μm的范围内。此处选择的辐射热的发射光谱优选地选择与液体(水)的吸收光谱相一致。此外，实践中，加热源的效率当然也决定其选择。这种设备能够有选择性加热和通过蒸发除去因分离而存在于电子元件上的残留液体，然后对分离后的电子元件进行有效地目检。因此，根据本专利技术的处理电子元件的方式的有益效果是分离工序期间和/或分离工序之后仍可以使用液体，应用可选的加热方式，然后可以进行有效的目检。特别地，干燥可以有效地进行。例如，水对红外光(波长1～5μm)具有强吸收。正是这种结果，才使液体特别吸收来自辐射热的能量。这就意味着，待除去液体将比分离后的电子元件和/或干燥设备的元件受到强度较大的加热。分离后的电子元件基本上不被加热。热量因此被有效地利用，分离后的电子元件和/或干燥设备的元件并不被加热，或者较低程度地受到热源的加热。结果，分离后的电子元件的干燥有效地进行，而相对于待除去液体来源，电子元件仅轻度受热。由于液体的选择性加热，仅需要很短的辐照时间。这里可以预想，辐照时间在2～6秒的数量级上，更特别地在3～5秒的数量级上。该设备也设有用于检验分离后的电子元件的检验装置，所述检验装置可以体现为检测干燥的分离后电子元件的传感器或照相机。该传感器或照相机通常与控制其他工序的智能控制系统连接。因此，加热源可以例如被启动(例如当检测到所有液体未被全部除去时)，同时随后的生产工序也可以被启动，以便对检测到的确定的分离后的电子元件外观上的瑕疵进行响应。智能控制系统可以例如由一台计算机组成。存在检测(presence detection)结合控制系统的优点是，例如，在即将发生分离后的电子元件过度加热的情况下，可以关闭加热源或者可以降低加热源的加热强度。此外，传感器能检测到待干燥的分离后电子元件的存在，在没有待干燥的分离后电子元件时，通过智能控制系统关闭加热源或者降低加热源的加热强度。将目检与这种控制联系起来的优点是防止电子元件(局部)过热，节能以及增加热源寿命。另一种选择是除去和/或置换不符合外部特征的分离后电子元件，该外部特征由已核准认可的分离后电子元件来确定。随后针对干燥并分离后电子元件的处理站可以例如通过智能控制系统而为此目的来启动。在本专利技术的一个有利实施例中，加热源包括一个有螺旋灯丝的加热部件。该螺旋灯丝可以由例如钨、康铜(铜镍合金)或其组合制造。螺旋灯丝更优选地由钨制造。加热源也可以包括一个陶瓷加热部件。这些加热部件由于是标准的可购买部件而容易获得，这些部件价格低廉、小巧、易于更换，辐射热可以正确地定向。加热源优选包括一个具有石英灯的加热元件，其构造用于产生波长在1μm～5μm所需辐射范围内的辐射热。这种石英灯的一个例子是卤素石英灯，特别是卤化钨石英灯。这些灯在期望的范围内是高效的。开关时间也是选择具体热源的一个重要的因素。对于在根据本发明的设备中的加热源，加热时间最好是短的(例如1～5秒)，并且由加热源发射的辐射热最好在关闭后快速消散(优选基本上是零秒至几秒钟)。因此，该过程可以比较快速地激活和停止，这就提高了控制的灵活性，但从安全的角度以及在防止电子元件过热上(例如当过程停止)，这也是特别理想的。采用其他加热源诸如陶瓷或石英加热元件无法实现这么短的开关时间。加热元件优选地每个元件具有数量级为1000W的加热能力。这里，可以由多个加热元件组装加热源。当选择既定的电源时，每单位面积发射的功率(该术语也称为光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分离、至少部分干燥和检验电子元件的设备，包括：－用于将较大的整块电子元件分割成分离的电子元件的分离设备；－承载分离后电子元件的载体；－用于产生辐射热的加热源；－将承载分离后电子元件的载体相对于所述加热源进行移位的移位装置；以及－用于检验分离后电子元件的目检装置；其中，所述加热源配置成产生波长在1μm～5μm范围内的辐射热。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.07.06 NL 20091471.一种分离、至少部分干燥和检验电子元件的设备，包括：
－用于将较大的整块电子元件分割成分离的电子元件的分离设备；
－承载分离后电子元件的载体；
－用于产生辐射热的加热源；
－将承载分离后电子元件的载体相对于所述加热源进行移位的移位装置；以及
－用于检验分离后电子元件的目检装置；
其中，所述加热源配置成产生波长在1μm～5μm范围内的辐射热。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述加热源包括具有螺旋灯丝的加热元件。
3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于：所述加热源包括陶瓷加热元件。
4.根据前述任一项权利要求所述的设备，其特征在于：所述加热源包括具有石英灯的加热
元件。
5.根据前述任一项权利要求所述的设备，其特征在于：所述加热源设有与待干燥的分离后
电子元件相对的反射镜。
6.根据前述任一项要求所述的设备，其特征在于：所述设备设有隔热材料。
7.根据前述任一项权利要求所述的设备，其特征在于：所述设备设有用于排走待干燥的电
子元件周围的气体的抽取器。
8.一种用于分离、至少部分干燥和检验电子元件的方法，包括处理步骤：
a)将较大的整块电子元件分割成分离的电子元件；
b)将位于一个平面内且由载体把持的具有附着液体的分离后电子元件移位；
c)使用加热源向具有附着液体的分离后的电子元件集合供热...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·H·G·赫斯特德，
申请(专利权)人：贝斯荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL