用于检查算法和过滤器的视觉反馈制造技术

本发明专利技术针对给用于处理来自检查系统的测试和参考图像的检查算法和差分过滤器提供视觉反馈。用户接口可经配置以显示信息和接受用户命令。通信地耦合到所述用户接口的计算系统可经配置以接收由所述检查系统收集的至少一组测试和参考图像。所述计算系统可经进一步配置以经由所述用户接口而提供所述测试和参考图像的至少一个视觉表示以展示检查算法和/或差分过滤器的效应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】优先权本申请案主张李虎成(Hucheng Lee)等人在2012年5月8日申请的名称为“差分过滤器和通用多裸片适应性阈值化(MDAT)设置用户接口设计(DIFF FILTER AND GENERALIZED MDAT SETUP UI DESIGN)”的第61/644,026号美国临时申请案的优先权，所述申请案当前共同待决或为被授予申请日期的权利的当前共同待决申请案的申请案。
本专利技术大体上涉及检查系统的领域，且更特定来说，本专利技术涉及给用于处理由检查系统收集的测试和参考图像的检查算法和/或过滤器提供视觉反馈。
技术介绍
半导体制造正朝向更小尺度和更高复杂性生产发展。为实施更紧密规格，可在制造过程之前、制造过程期间和/或制造过程之后的各种阶段中使用检查系统。在前述阶段中的任何者中，可利用检查系统(例如，明场检查系统、暗场检查系统、电子束检查系统和类似物)来检测和特性化测试样品的一或多个缺陷。检查系统可经配置以收集样品的测试和参考图像，接着分析所述测试和参考图像以检测样品缺陷。可利用所选检查算法来过滤或处理所述测试和参考图像以改善缺陷检测和分离。然而，差分过滤器和检查算法可能难以设置和评估，这是因为无法直接观察所选过滤器或检查算法对经处理的测试和参考图像的效应。归因于确定适当设定时的前述困难，应用工程师和消费者趋向于避免利用差分过滤器或修改检查算法设定值。
技术实现思路
本专利技术针对提供关于所选差分过滤器和/或检查算法对由检查系统收集的至少一组测试和参考图像(下文中的“样品图像”)的效应的视觉反馈。所述视觉反馈能够选择差分过滤器和/或检查算法设定值以用于改善的缺陷检测和分离。在一个方面中，本专利技术针对一种用于处理至少一组样品图像的系统。所述系统可包含：用户接口，其经配置以显示信息和接受用户命令；和计算系统，其通信地耦合到所述用户接口。所述计算系统可经配置以接收至少一组样品图像。所述计算系统可经进一步配置以利用所选检查算法和/或所选差分过滤器来处理所述样品图像。所述计算系统可经进一步配置以经由用户接口而提供所述样品图像的至少一个视觉表示。所述视觉表示可包含以下至少一者：带正负号的差分图像，其在所述带正负号的差分图像的像素处具有用于识别所述样品的至少一个缺陷的极性的值；原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图；光标，其经配置以选择与所述样品的至少一个缺陷相关联的一或多个像素；和二进制散布图，其利用检查算法来产生。在另一方面中，本专利技术针对一种用于处理从检查系统接收的至少一组样品图像的系统。所述系统可包含检查系统、用户接口和计算系统。所述用户接口可经配置以显示信息和接受用户命令。所述检查系统可经配置以收集至少一组样品图像。所述计算系统可通信地耦合到所述用户接口和所述检查系统。所述计算系统可经配置以从所述检查系统接收所述样品图像。所述计算系统可经进一步配置以利用所选检查算法和/或所选差分过滤器来处理所述样品图像。所述计算系统可经进一步配置以经由所述用户接口而提供所述样品图像的至少一个视觉表示。所述视觉表示包含以下至少一者：带正负号的差分图像，其在所述带正负号的差分图像的像素处具有用于识别所述样品的至少一个缺陷的极性的值；原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图；光标，其经配置以选择与所述样品的至少一个缺陷相关联的一或多个像素；和二进制散布图，其利用检查算法来产生。在另一方面中，本专利技术针对一种处理至少一组样品图像的方法，其包含以下步骤：接收利用检查系统来收集的至少一组样品图像；利用所选检查算法和/或所选差分过滤器来处理所述样品图像；和经由用户接口而提供所述样品图像的至少一个视觉表示。所述视觉表示可包含以下至少一者：带正负号的差分图像，其在所述带正负号的差分图像的像素处具有用于识别所述样品的至少一个缺陷的极性的值；原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图；光标，其经配置以选择与所述样品的至少一个缺陷相关联的一或多个像素；和二进制散布图，其利用检查算法来产生。应了解，以上一般描述和以下详细描述两者仅为示范性和解释性，而未必限制本发明。并入于本说明书中且构成本说明书的一部分的附图说明本专利技术的标的物。描述和图式一起用来解释本专利技术的原理。附图说明所属领域的技术人员可通过参考附图而更好地理解本专利技术的许多优点，其中：图1为说明根据本专利技术的实施例的用于处理至少一组样品图像的系统的框图；图2A为根据本专利技术的实施例的图形用户接口的概念图解说明；图2B为根据本专利技术的实施例的图形用户接口的图解说明，其中显示多个差分过滤器模板；图3A为根据本专利技术的实施例的至少一组样品图像的视觉表示的图解说明，其中所述视觉表示包含带正负号的差分图像；图3B为根据本专利技术的实施例的至少一组样品图像的视觉表示的概念图解说明，其中所述视觉表示包含至少一个原始差分图像和至少一个经过滤差分图像；图3C为根据本专利技术的实施例的至少一组样品图像的视觉表示的概念图解说明，其中所述视觉表示包含利用所选检查算法来产生的至少一个二进制散布图；图3D为根据本专利技术的实施例的至少一组样品图像的视觉表示的概念图解说明，其中所述视觉表示包含响应于所选y轴参数而分段的至少一个二进制散布图；和图4为说明根据本专利技术的实施例的处理至少一组样品图像的方法的流程图。具体实施方式现将详细参考说明于附图中的所揭示标的物。图1到4大体上说明用于提供关于所选检查算法和/或差分过滤器对至少一个样品的至少一组测试和参考图像(下文中的“样品图像”)的效应的视觉反馈的系统和方法。所述样品图像可由检查系统(例如(但不限于)明场检查系统、暗场检查系统或电子束检查系统)收集。可观察所述样品图像的视觉表示且可经由用户接口而操纵各种过滤器、算法和/或视图选项以改善检查缺陷和/或使缺陷分离的能力。可基于所观察的视觉表示而选择检查算法设定值和/或差分过滤器模板。以下实施例更详细地说明前述原理。如贯穿本专利技术中所使用，术语“样品”一般是指图案化或未图案化晶片。然而，在一些实施例中，样品可包含存储媒体(例如(但不限于)硬盘驱动器(HDD))的至少一部分。在一些实施例中，样品可包含由半导体或非半导体材料(例如(但不限于)，单晶硅、砷化镓和磷化铟)形成的衬底。在一些实施例中，所述样品可进一步包含形成于所述衬底上的一或多个“层”，例如(但不限于)光致抗蚀剂、电介质材料、导电材料或半导性材料。此项技术中已知有许多不同类型的衬底、样品层和存储媒体。据此，术语“样品”的前述说明不应被解释为以任何方式限制本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理至少一组样品图像的系统，其包括：用户接口，其经配置以显示信息和接受用户命令；以及计算系统，其通信地耦合到所述用户接口，所述计算系统经配置以：接收至少一组样品图像；利用所选差分过滤器和所选检查算法中的至少一者来处理所述至少一组样品图像；以及经由所述用户接口而提供所述至少一组样品图像的至少一个视觉表示，所述至少一个视觉表示包含以下中的至少一者：带正负号的差分图像，其在所述差分图像的像素处具有用于识别所述至少一个样品的至少一个缺陷的极性的值，原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图，光标，其经配置以选择与所述至少一个样品的至少一个缺陷相关联的一或多个像素，以及二进制散布图，其是利用所选检查算法而产生的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.05.08 US 61/644,026;2012.11.27 US 13/685,8081.一种用于处理至少一组样品图像的系统，其包括：
用户接口，其经配置以显示信息和接受用户命令；以及
计算系统，其通信地耦合到所述用户接口，所述计算系统经配置以：
接收至少一组样品图像；
利用所选差分过滤器和所选检查算法中的至少一者来处理所述至少一组样品
图像；以及
经由所述用户接口而提供所述至少一组样品图像的至少一个视觉表示，所述至
少一个视觉表示包含以下中的至少一者：
带正负号的差分图像，其在所述差分图像的像素处具有用于识别所述至少一个
样品的至少一个缺陷的极性的值，
原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图，
光标，其经配置以选择与所述至少一个样品的至少一个缺陷相关联的一或多个
像素，以及
二进制散布图，其是利用所选检查算法而产生的。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算系统经进一步配置以：
经由所述用户接口而提供多个差分过滤器模板；以及
接收指明选自所述多个差分过滤器模板的所述所选差分过滤器的用户命令。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述多个过滤器模板包含以下至少一者：
高通过滤器、低通过滤器、窄频带过滤器、垂直方向过滤器、水平方向过滤器、
所选方向过滤器和可定制化过滤器。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算系统经进一步配置以：
通过排除具有与所述至少一个样品的至少一个缺陷相反的极性的噪声而确定所
述至少一个缺陷的信噪比。
5.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个视觉表示包含带正负号的差分图
像，所述差分图像在所述差分图像的像素处具有用于识别所述至少一个样品的至少

\t一个缺陷的极性的值，其中正值和负值区分明极性与暗极性。
6.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个视觉表示包含二进制散布图，所述
二进制散布图包含表示至少一个差分图像的多个像素的多个标记，其中每一像素由
一对应标记表示。
7.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个视觉表示包含响应于所选y轴参数
而分段的二进制散布图。
8.根据权利要求7所述的系统，其中所述计算系统经进一步配置以：
经由所述用户接口而提供多个任选的y轴参数；以及
接收指明选自所述多个可选的y轴参数的所述所选y轴参数的用户命令。
9.根据权利要求8所述的系统，其中所述多个可选的y轴参数包含以下中的至少一者：
中值、扩大中值和范围。
10.一种用于处理至少一组样品图像的系统，其包括：
检查系统，其经配置以收集至少一组样品图像；
用户接口，其经配置以显示信息和接受用户命令；以及
计算系统，其通信地耦合到所述用户接口和所述检查系统，所述计算系统经配置
以：
从所述检查系统接收所述至少一组样品图像；
利用所选差分过滤器和所选检查算法中的至少一者来处理所述至少一组样品
图像；以及
经由所述用户接口而提供所述至少一组样品图像的至少一个视觉表示，所述至
少一个视觉表示包含以下中的至少一者：
带正负号的差分图像，其在所述差分图像的像素处具有用于识别所述至少一个
样品的至少一个缺陷的极性的值，
原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图，
光标，其经配置以选择与所述至少一个样品的至少一个缺陷相关联的一或多个
像素，以及
二进制散布图，其是利用所选检查算法而产生的。
11.根据权利要求10所述的系统，其中所述计算系统经进一步配置以：
经由所述用户接口而提供多个差分过滤器模板；以及
接收指明选自所述多个差分过滤器模板的所述所选差分过滤器的用户命令。
12.根据权利要求11所述的系统，其中所述多个过滤器模板包含以下中的至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：李虎成，黄军秦，高理升，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US