功能元件、电子设备及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种功能元件、电子设备及移动体，所述功能元件能够抑制因干扰而产生的测量精度的差异。所述功能元件的特征在于，具备：固定电极部，其包括第一固定电极部(21)及第二固定电极部(22)；第一配线部(50)，其被连接于第一固定电极部(21)；第二配线部(60)，其被连接于第二固定电极部(22)，在第一配线部(50)和所述第二配线部(60)中的至少一方上设置有分叉部，从分叉部起延伸的一个配线被连接于固定电极部，从分叉部起延伸的另一个配线沿着第一配线部(50)或第二配线部(60)而设置。

【技术实现步骤摘要】
功能元件、电子设备及移动体
本专利技术涉及一种功能元件、电子设备及移动体。
技术介绍
一直以来，在作为功能元件而被使用的对加速度等物理量进行检测的物理量传感器的元件中，已知一种将使相同种类的电信号通过的多个配线分别设为相同的电特性的元件。并且公开了如下内容，即，在具备这种元件的物理量传感器中，通过使驱动配线彼此及检测配线彼此的长度以及宽度相等，并且分别呈现出对称性，从而将电特性设为相同(例如，参照专利文献I)。 然而，在上述的物理量传感器的元件中，通过使驱动配线彼此、及检测配线彼此的长度及宽度分别相等，并以对称的方式而配置，从而将电特性设为相同。由于所述物理量传感器的元件中的各个配线(驱动配线彼此及检测配线彼此)分别隔开间隔而配置，因此，例如，在干扰(静电噪声等)被输入至各个配线中的情况下，在各个配线上会产生噪声的差。在现有的物理量传感器的元件中，该噪声的差可能会成为检测灵敏度的误差的主要原因。 专利文献1:日本特开2001-330442号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的专利技术，其能够作为以下的方式或应用例来实现。 应用例I 本应用例所涉及的功能元件的特征在于，具备:固定电极部，其包括第一固定电极部及第二固定电极部；第一配线部，其被连接于所述第一固定电极部；第二配线部，其被连接于所述第二固定电极部，在所述第一配线部及所述第二配线部中的至少一方上设置有分叉部，从所述分叉部起延伸的一个配线被连接于所述固定电极部，从所述分叉部起延伸的另一个配线沿着所述第一配线部或所述第二配线部而设置。 根据本应用例的功能元件，通过被施加物理量，从而第一固定电极部及第二固定电极部与可动体之间的间隙将发生位移，从而产生与物理量相对应的静电电容。在可动体与第一固定电极部之间所产生的静电电容能够从第一配线部获取。同样地，在可动体与第二固定电极部之间所产生的静电电容能够从第二配线部获取。 在第一配线部及第二配线部中的至少一方上设置有分叉部，从分叉部起延伸的一个配线被连接于第一固定电极部或第二固定电极部。此外，由于从分叉部起延伸的另一个配线沿着第一配线部或第二配线部以并行的方式靠近配置，从而干扰(静电噪声等)以大致相同的相位及大致相同的大小而被输入。即使在噪声被输入至第一配线部及第二配线部中的情况下，也能够通过获取差动从而从静电电容中消除至少大部分的噪声的影响。由此，即使在静电电容中输入有噪声的情况下，也能够从静电电容中消除作为检测灵敏度的误差的主要原因的噪声。由此，即使在第一配线部及第二配线部的一部分中输入有噪声的情况下，通过获取差动，从而也能够提高功能元件的测量精度。 此外，通过将第一配线部与第二配线部配置为在俯视观察时非对称，从而能够以靠近且并行的方式来设置各个配线部的一部分，由此能够使噪声差被更少得输入。由此，通过获取第一配线部及第二配线部的差动，从而能够从静电电容中消除作为检测灵敏度的误差的主要原因的噪声。 由此，能够提供一种如下的功能元件，其能够提高检测灵敏度及物理量的测量精度。在本专利技术中，能够应用于具有平板状的可动体的跷板型传感器、具有包含梳齿状的可动电极部的可动体的梳齿型传感器或梳齿形MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微电子机械系统)谐振子等。 应用例2 在上述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，所述第一配线部与所述第二配线部具备在第一方向上并行延伸的部分，在所述第一方向上延伸的部分的长度在所述第一配线部和所述第二配线部中相同。 根据本应用例的功能元件，由于通过将第一配线部与第二配线部并行延伸出的部分的长度设为相同，从而即使施加有干扰，在第一配线部及第二配线部中也是大致均等地被施加有干扰，因此，通过获取第一配线部的输出与第二配线部的输出的差分等而在电路侧进行处理，从而能够消除干扰噪声成分。 应用例3 在上所述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，包括可动体，所述可动体包含可动电极部，所述固定电极部以与所述可动电极部对置的方式而配置。 根据本应用例所涉及的功能元件，能够构成具有平板状的可动体的跷板型传感器，从而能够实现降低了干扰噪声的影响的传感器元件。 应用例4 在上述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，所述可动体及与该可动体成对的所述固定电极部被设置有多个。 根据本应用例的功能元件，由于可动体及与该可动体成对的固定电极部被设置有多个，从而能够实现对与在垂直于可动体的方向上所施加的物理量相对应的静电电容，和与在同垂直于可动体的方向交叉的方向上所施加的物理量相对应的静电电容的检测。 由此，功能元件能够排除在与垂直于可动体的方向交叉的方向上所施加的物理量，从而提高对在垂直方向上所施加的物理量的测量精度。 应用例5 在上述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，所述第一配线部及所述第二配线部具备相互交叉的部分。 应用例6 在上述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，在所述交叉的部分处，在所述第一配线部与所述第二配线部之间设置有绝缘部件。 应用例7 在上述应用例所涉及的功能元件中，其特征在于，在所述交叉的部分处，所述第一配线被设置在设置于基板上的槽的内部，所述第二配线部以在所述槽上交叉的方式而设置。 根据上述应用例的功能元件，为了使第一配线部与第二配线部的一部分并行并以大致相同的长度而被设置，在从垂直于固定电极部的方向进行俯视观察时，产生交叉的位置。通过在第一配线部与第二配线部的交叉的位置处设置绝缘部件，而将第一配线部和第二配线部电分离，从而能够使第一配线部与第二配线部交叉。 由此，使第一配线部与第二配线部的一部分并行并且以大致相同的长度而被设置，从而干扰(静电噪声等)以大致相同的相位及大致相同的大小而均等地被输入至具有大致相同的电特性的第一配线部和第二配线部中，通过获取第一配线部与第二配线部之间的差动而从静电电容中消除作为检测灵敏度的误差的主要原因的噪声的影响，从而能够提高功能元件的测量精度。 应用例8 本应用例所涉及的电子设备的特征在于，搭载有上述应用例的功能元件。 根据本应用例的电子设备，由于搭载有上述功能元件，从而在将功能元件用作为物理量传感器的情况下，能够通过获取差动而消除作为检测误差的主要原因的干扰(静电噪声)的影响，从而获得物理量的测量精度较高的电子设备。在本专利技术中，除物理量传感器之外还能够应用于梳齿型MEMS谐振子等的谐振子中，并能够提供搭载有这些功能元件的电子设备。 应用例9 本应用例所涉及的移动体的特征在于，搭载有上述应用例的功能元件。 根据本应用例的移动体，由于搭载有上述功能元件，从而在将功能元件用作为物理量传感器的情况下，能够通过获取差动而消除作为检测误差的主要原因的干扰(静电噪声)的影响，从而获得物理量的测量精度较高的移动体。在本专利技术中，除了物理量传感器之外还能够应用于梳齿型MEMS谐振子等谐振子中，并能够提供搭载有这些功能元件的移动体。 【附图说明】 图1为表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的结构的俯视图。 图2为图1的线段A-A处的剖视图。 图3为图1的线段B-B处的局部剖视图。 图4(A)、(B)、(C)为表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能元件，其特征在于，具备：固定电极部，其包括第一固定电极部及第二固定电极部；第一配线部，其被连接于所述第一固定电极部；第二配线部，其被连接于所述第二固定电极部，在所述第一配线部及所述第二配线部中的至少一方上设置有分叉部，从所述分叉部起延伸的一个配线被连接于所述固定电极部，从所述分叉部起延伸的另一个配线沿着所述第一配线部或所述第二配线部而设置。

【技术特征摘要】
2013.07.24 JP 2013-1533231.一种功能元件，其特征在于，具备: 固定电极部，其包括第一固定电极部及第二固定电极部； 第一配线部，其被连接于所述第一固定电极部； 第二配线部，其被连接于所述第二固定电极部， 在所述第一配线部及所述第二配线部中的至少一方上设置有分叉部，从所述分叉部起延伸的一个配线被连接于所述固定电极部，从所述分叉部起延伸的另一个配线沿着所述第一配线部或所述第二配线部而设置。2.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述第一配线部与所述第二配线部具备在第一方向上并行延伸的部分， 在所述第一方向上延伸的部分的长度在所述第一配线部和所述第二配线部中相同。3.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 包括可动体，所述可动体包含可动电极部， 所述固定电极部以与所述可动电极部对置的方式而配置。4.如权利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述可动体及与该可动体成对的所述固定电极部被设置有多个。5.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述第一配线部及所述第二配线部具备相互交叉的部分。6.如权利要求5所述的功能元件，其特征在于， 在所述交叉的部分处，在所述第一配线部与所述第二配线部之间设置有绝缘部件。7.如权利要求5所述的功能元件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP