物品保管设备制造技术

本发明专利技术提供一种物品保管设备，其结构简单，并且容易进行区域单位中设置的机器的维护作业。在多个区域用供给部分的每一个中设有第一切换阀，在多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀，将多个泄放路径连接到惰性气体供给路径中的第一切换阀（69）设置位置的气体供给方向的下游且第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧，在多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀。

【技术实现步骤摘要】
物品保管设备
本专利技术涉及一种物品保管设备，设有收纳容器的多个收纳部、向所述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径、将由所述惰性气体供给路径供给到所述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的所述容器的内部排放的排放部，所述多个收纳部划分为多个区域。
技术介绍
日本特开平11-168135号公报(专利文献I)中公开了上述物品保管设备的一个例子。专利文献I的物品保管设备构造成具备收纳容器的多个收纳部、将氮气或氩气等惰性气体供给至多个收纳部的每一个的惰性气体供给路径，由惰性气体供给路径向排放部供给惰性气体，从该排放部排放惰性气体，向收纳于收纳部的容器内供给惰性气体。 在上述专利文献I的物品保管设备中，在容器已收纳于收纳部时向容器内供给惰性气体。由此，将对半导体基板的品质管理不利的氧气和水蒸气等从容器内排出，抑制收容在容器中的半导体基板的氧化等不利情况的发生。 已知这样的将惰性气体供给至收纳在收容部的容器内，防止容器内的物品的品质劣化的物品保管设备。
技术实现思路
解决问题的手段在上述专利文献I的物品保管设备中，设有6个收纳部，该6个收纳部划分为两个区域。并且，两个区域的每一个分别设有惰性气体供给路径。因此，两路惰性气体供给路径的每一个中设有惰性气体供给源，从这两个供给源向两路惰性气体供给路径分别供给惰性气体。 在这样的物品保管设备中，可以考虑共同的基干供给部分连接到两路惰性气体供给路径，由单一的气体供给源向属于两区域的收纳部供给惰性气体，由此减少供给源的数量，能够谋求物品保管设备的结构的简化。 在构成上述那样的物品保管设备的情况下，例如，在区域单位中设置的主阀21发生故障而更换该主阀21时，需要对于设有主阀21的惰性气体供给路径停止惰性气体的供给，并且将以压缩的状态残留在该惰性气体供给路径中的惰性气体的一部分排出至外部，使惰性气体供给路径内的压力与外部压力相符合(排压)。但是，两路惰性气体供给路径连接到共同的基干供给部分，为了停止惰性气体的供给而停止基干供给部分的惰性气体的供给，则两路惰性气体的供给都停止。结果是，对于物品保管设备全部收纳部的惰性气体的供给停止。因此，即使在更换区域单位中所设的机器的情况下，也需要对于物品保管设备的全部收纳部停止惰性气体的供给。 另外，由于在更换上述机器时，惰性气体供给路径中可能混入不纯物，再次运转前需要进行使惰性气体在惰性气体供给路径中流通，将惰性气体和不纯物排出至外部的预备运转。此时，如果将在惰性气体供给路径中流通的惰性气体从排放部排放，如果容器正收纳于收纳部，则不纯物可能随着从排放部排放的惰性气体一起混入容器中。因此，在进行预备运转时，需要预先从收纳部取出容器，存在为预备运转而进行的事前准备作业繁琐的问题。 这样，在构成上述物品保管设备时，能够简单地构成物品保管设备，但在更换区域单位所设机器的情况下对设置该机器的区域之外的区域也产生影响，因此难以进行机器的维护作业。 鉴于上述背景，期望实现一种物品保管设备，其结构简单并且容易进行区域单位中所设机器的维护作业。 本专利技术的物品保管设备具备:收纳容器的多个收纳部；向所述多个收纳部中的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径；排放部，所述排放部将由所述惰性气体供给路径供给至所述收纳部的惰性气体排放至收纳于该收纳部的所述容器的内部；其中，所述多个收纳部被划分为多个区域，所述惰性气体供给路径具备:基干供给部分；多个区域用供给部分，所述多个区域用供给部分从所述基干供给部分向着所述多个区域的每一个分支，将在所述基干供给部分中流通的惰性气体供给至所述多个区域中的每一个；多个收纳部用供给部分，所述多个收纳部用供给部分将在所述区域用供给部分中流通的惰性气体分别供给至与该区域用供给部分对应的所述区域所属的所述多个收纳部，使惰性气体从所述排放部排放，所述物品保管设备还具备:第一切换阀，设在所述多个区域用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态；第二切换阀，所述第二切换阀设置在所述多个区域用供给部分的每一个中的所述第一切换阀设置位置的气体供给方向下游侧，或者设置在所述多个收纳部用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态；多个泄放路径，所述多个泄放路径与所述多个区域用供给部分的每一个连接，用于将惰性气体从所述区域用供给部分排出，所述多个泄放路径连接在所述惰性气体供给路径中的所述第一切换阀设置位置的所述气体供给方向的下游侧、所述第二切换阀设置位置的所述气体供给方向的上游侧，所述多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀，所述区域用泄放切换阀自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。 根据上述结构，惰性气体供给路径将来自基干供给部分的惰性气体通过多个区域用供给部分而分别供给至多个区域，关于区域用供给部分的每一个，将在区域用供给部分中流通的惰性气体通过多个收纳部用供给部分分别供给至多个收纳部。因此，能够利用一个惰性气体供给路径向多个区域所属的多个收纳部的每一个供给惰性气体，因此与多个区域中的每一个分别设置惰性气体供给路径的情况相比，能够谋求物品保管设备的结构的简化。 并且，区域用供给部分中设有第一切换阀，另外，区域用供给部分或多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀。 因此，通过将第一切换阀和设在区域用供给部分中的第二切换阀或设在多个收纳部用供给部分的每一个中的第二切换阀切换为关闭状态和打开状态，能够在区域单位中切换向收纳部供给惰性气体的状态和不供给状态。 泄放路径连接在第一切换阀设置位置的气体供给方向的下游侧且在第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧部分(以下，称为区域的对象部分)。因此，通过将第一切换阀和第二切换阀切换为关闭状态，能够在区域单位中停止对收纳部的惰性气体供给，通过将区域用泄放切换阀切换为打开状态，能够将区域的对象部分中残留的惰性气体从泄放路径排出，仅对于区域的对象部分排压。 这样，在更换区域的对象部分中设置的机器的情况下，能够对该区域停止惰性气体的供给而排压，并且对其它区域继续惰性气体的供给。 另外，通过将第一切换阀和区域用泄放切换阀切换为打开状态，将第二切换阀切换为关闭状态，能够将从基干供给部分供给至区域的对象部分的惰性气体从泄放路径排出。因此，例如，在更换区域单位中设置的机器的情况下，为了除去该交换时混入的不纯物，在再次运转前使惰性气体在惰性气体供给路径的区域对象部分中流通、将惰性气体和不纯物排出至外部的预备运转情况下，惰性气体不从排放部排放，能够抑制不纯物随着从排放部排放的惰性气体混入容器中。结果是，在预备运转时，不需要取出收纳在收纳部中的容器，能够降低事前准备作业的繁杂程度。 这样，能够简单地构成物品保管设备，并且在更换区域单位中设置的机器的情况下，降低了对于设置该机器的区域之外的区域的影响，因此容易进行机器的更换等维护作业。 以下说明本专利技术的优选实施方式的例子。 本专利技术的物品保管设备的实施方式中，优选的是，设有壁体，该壁体覆盖设置了所述多个收纳部的设置空间，所述区域用泄放切换阀由人为操作而切换至所述打开状态和所述关闭状态的人为操作式切换阀构成，并且设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品保管设备，具备：收纳容器的多个收纳部；向所述多个收纳部中的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径；排放部，所述排放部将由所述惰性气体供给路径供给至所述收纳部的惰性气体排放至收纳于该收纳部的所述容器的内部；其中，所述多个收纳部被划分为多个区域，其特征在于，所述惰性气体供给路径具备：基干供给部分；多个区域用供给部分，所述多个区域用供给部分从所述基干供给部分向着所述多个区域的每一个分支，将在所述基干供给部分中流通的惰性气体供给至所述多个区域中的每一个；多个收纳部用供给部分，所述多个收纳部用供给部分将在所述区域用供给部分中流通的惰性气体分别供给至与该区域用供给部分对应的所述区域所属的所述多个收纳部，使惰性气体从所述排放部排放，所述物品保管设备还具备：第一切换阀，设在所述多个区域用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，第二切换阀，所述第二切换阀设置在所述多个区域用供给部分的每一个中的所述第一切换阀设置位置的气体供给方向下游侧，或者设置在所述多个收纳部用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，多个泄放路径，所述多个泄放路径与所述多个区域用供给部分的每一个连接，用于将惰性气体从所述区域用供给部分排出，所述多个泄放路径连接在所述惰性气体供给路径中的所述第一切换阀设置位置的所述气体供给方向的下游侧、所述第二切换阀设置位置的所述气体供给方向的上游侧，所述多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀，所述区域用泄放切换阀自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。...

【技术特征摘要】
2013.06.26 JP 2013-1342671.一种物品保管设备，具备: 收纳容器的多个收纳部； 向所述多个收纳部中的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径； 排放部，所述排放部将由所述惰性气体供给路径供给至所述收纳部的惰性气体排放至收纳于该收纳部的所述容器的内部； 其中，所述多个收纳部被划分为多个区域， 其特征在于， 所述惰性气体供给路径具备:基干供给部分；多个区域用供给部分，所述多个区域用供给部分从所述基干供给部分向着所述多个区域的每一个分支，将在所述基干供给部分中流通的惰性气体供给至所述多个区域中的每一个；多个收纳部用供给部分，所述多个收纳部用供给部分将在所述区域用供给部分中流通的惰性气体分别供给至与该区域用供给部分对应的所述区域所属的所述多个收纳部，使惰性气体从所述排放部排放， 所述物品保管设备还具备: 第一切换阀，设在所述多个区域用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态， 第二切换阀，所述第二切换阀设置在所述多个区域用供给部分的每一个中的所述第一切换阀设置位置的气体供给方向下游侧，或者设置在所述多个收纳部用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态， 多个泄放路径，所述多个泄放路径...

【专利技术属性】
技术研发人员：大塚洋，河村真辅，吉本忠浩，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP