【技术实现步骤摘要】
高聚能介电弹性体微力传感器
本技术涉及一种微力传感器，具体涉及一种高聚能介电弹性体微力传感器。
技术介绍
力的传感器广泛应用于科学研究、生活和工业自动化检测及控制领域。一般传统 的力传感器有电阻应变式、压磁式和压电式。电阻应变式力的传感器其制作工艺要求较高。 压磁式力的传感器测量精度不高，反应速度低。压电式力的传感器不适于静态输出。 相对于传统的传感材料，高聚能介电弹性体是一种新型超弹性传感材料，例如硅 橡胶，将其上下表面涂有柔顺电极，即为电容器，当涂有电极的高聚能介电弹性体薄膜受到 机械力的作用产生应变时，电容值发生改变，通过测量电容值可得到相应的应变值。这种涂 有电极的高聚能介电弹性体材料相当于电容传感器，其优点在于价格低廉、制作工艺简单、 静动态均可测量、受温度影响较小。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种高聚能介电 弹性体微力传感器，该传感器的弹性元件为等强度悬臂梁，通过测量高聚能介电弹性体电 容值的变化，可知作用于悬臂梁自由端的未知力大小；其优点为制作工艺简单、价格低廉、 精度高、受温度影响小、可测毫牛级别的力。 为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是： -种高聚能介电弹性体微力传感器，包括立方体外壳1，置于立方体外壳1内且一 端固定在立方体外壳1内壁上的等强度悬臂梁2,所述等强度悬臂梁2作为传感器的弹性原 件，在等强度悬臂梁2的表面通过丙烯酸盐弹性体3粘贴有电容传感片4,在等强度悬臂梁 2的自由端垂直连接有传递力的刚性杆件8,所述刚性杆件8的施加力的一端穿...
【技术保护点】
一种高聚能介电弹性体微力传感器，其特征在于：包括立方体外壳(1)，置于立方体外壳(1)内且一端固定在立方体外壳(1)内壁上的等强度悬臂梁(2)，所述等强度悬臂梁(2)作为传感器的弹性原件，在等强度悬臂梁(2)的表面通过丙烯酸盐弹性体(3)粘贴有电容传感片(4)，在等强度悬臂梁(2)的自由端垂直连接有传递力的刚性杆件(8)，所述刚性杆件(8)的施加力的一端穿出立方体外壳(1)；所述电容传感片(4)为三明治结构，包括高聚能介电弹性体(5)以及分别涂敷于高聚能介电弹性体(5)上表面和下表面的上层柔顺电极(6)和下层柔顺电极(7)。
【技术特征摘要】
1. 一种高聚能介电弹性体微力传感器，其特征在于：包括立方体外壳（1)，置于立方体 外壳（1)内且一端固定在立方体外壳（1)内壁上的等强度悬臂梁（2)，所述等强度悬臂梁 (2)作为传感器的弹性原件，在等强度悬臂梁（2)的表面通过丙烯酸盐弹性体（3)粘贴有电 容传感片（4)，在等强度悬臂梁（2)的自由端垂直连接有传递力的刚性杆件（8)，所述刚性 杆件（8)的施加力的一端穿出立方体外壳（1);所述电容传感片（4)为三明治结构，包括高 聚能介电弹性体（5)以及分别涂敷于高聚...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪娜，张陵，王垠，刘凡，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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