输送系统技术方案

本发明专利技术提供一种输送系统。该输送系统(100)具备：收纳架(20)，设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近，收纳架(20)收纳被输送物(10)；堆垛起重机(30)，在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出；运载装置(40)，输送被输送物(10)；ID标签阅读器(R)，设置于堆垛起重机(30)，ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T)；以及控制器(50)，在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下，以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30)，收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及输送系统。
技术介绍
作为以往的输送系统，例如已知有专利文献1所记载的输送系统。在专利文献1所记载的输送系统中，具备：输送车，输送安装有ID标签的盒，并且在输送车上搭载有识别ID标签的ID阅读器；以及载置盒的工位，通过安装于盒的ID标签来管理盒的输送。专利文献1:日本特开2002－179203号公报从输送的准确性以及效率的观点来看，如在上述专利文献1中记载的输送系统那样，通过ID标签来管理盒是有效的。这里，近年，在半导体器件的制造中处理的高速化被不断推进，要求半导体制造装置中的生产节拍时间的缩短，但与此同时也要求工序间的半导体晶片的输送时间的进一步的改善。并且，随着近年的半导体晶片的大型化，作为收纳晶片的容器的FOUP(Front Opening Unified Pod(前开式晶圆盒)，盒)也大型化。因此，在半导体制造工厂中，比以往更需要收纳FOUP的空间，但在有限的空间内确保收纳FOUP的空间并不容易。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物的输送系统。本专利技术的一个侧面所涉及的输送系统是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，收纳架收纳被输送物；堆垛起重机，向收纳架搬入被输送物，并且从收纳架搬出被输送物；顶棚输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持被输送物的夹具升降来输送被输送物；识别信息获取单元，设置于堆垛起重机，识别信息获取单元获取附于被输送物的识别信息；以及控制单元，在通过识别信息获取单元获取的识别信息和被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机，收纳架的至少一部分能够进行通过顶棚输送车的夹具进行的被输送物的取放。在该输送系统中，在半导体制造装置的附近设置有收纳被输送物的收纳架。由此，能够确保收纳被输送物的空间。并且，由于在输送系统中，将收纳架配置于半导体制造装置的附近，所以能够迅速地进行在收纳架和装载端口之间的被输送物的移载。另外，在输送系统中，收纳架的至少一部分能够进行通过顶棚输送车的夹具进行的被输送物的取放。像这样，在输送系统中，通过成为顶棚输送车能够向收纳架存取的结构，能够使收纳架作为用于在堆垛起重机和顶棚输送车之间交换被输送物的端口发挥作用。由此，在输送系统中，能够高效地实施被输送物的输送。并且，在输送系统中，在附于被输送物的识别信息和输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机。由此，在输送系统中，能够将被输送物准确地输送至特定的输送目的地。如上所述，在输送系统中，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。在一实施方式中，在半导体制造装置的装载端口中，也可以进行通过堆垛起重机以及顶棚输送车进行的被输送物的搬入以及搬出。由此，在输送系统中，能够通过顶棚输送车直接地向装载端口搬入以及搬出被输送物。因此，在输送系统中，实现了为了将被输送物交接给堆垛起重机而临时保管被输送物的时间的缩短，并且，也能够缩短通过堆垛起重机进行移载的时间，所以能够迅速地输送被输送物。另外，在输送系统中，也能够实现被输送物的移载的自由度的提高。因此，在输送系统中，能够实现被输送物的输送效率的进一步的提高。根据本专利技术，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。附图说明图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。图2是表示图1所示的输送系统的立体图。图3是表示输送系统的系统结构的框图。图4是表示输送系统的动作的流程图。具体实施方式以下，参照附图对优选的实施方式进行详细说明。应予说明，在附图的说明中，对相同或者相应部件标注相同符号，并省略重复的说明。图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。图2是表示图1所示的输送系统的立体图。图3是表示输送系统的系统结构的框图。图1～图3所示的输送系统100设置于用于制造半导体器件的无尘室。输送系统100具备收纳被输送物10的收纳架20、堆垛起重机30、运载装置(顶棚输送车)40以及控制器(控制单元)50。在无尘室配置有半导体制造装置60、62。在半导体制造装置60、62分别设置有用于向该半导体制造装置60、62搬入以及搬出被输送物10的装载端口64、66。另外，输送系统100具备MES(Manufacturing Execution System：制造执行系统)110和MCS(Material Control System：物料控制系统)120。MCS110是基于半导体制造时间表(Schedule)来制作被输送物10的输送时间表，并基于该输送时间表向连接了堆垛起重机30以及运载装置40的控制器50发出输送指令来进行指示的输送指示装置。如图3所示，MCS110设置于控制器50等工序间输送设备和MES120之间，MCS110是具有将来自MES120的各种指示适时地传递至控制器50，并汇总来自该控制器50的报告且传递至MES120的功能的系统。此外，MES120是总括工厂现场中的各种信息并进行管理的统一生产信息系统，MES120进行MCS110以及半导体制造装置60、62的信息管理。被输送物10是收容了多个半导体晶片的盒(所谓的FOUP(Front Opening Unified Pod))。在被输送物10的上表面10a设置有被下述的运载装置40的夹具44保持的凸缘部10b。另外，在被输送物10的侧面(后表面)10c安装有用于取放半导体晶片的可拆装的盖(未图示)。在被输送物10上附有能够唯一地识别的识别信息。在本实施方式中，在被输送物10上安装有附有识别信息的ID标签T。ID标签T配置于被输送物10的前表面10d(与安装有盖的侧面10c相反一侧的面)。应予说明，附在被输送物10上的识别信息不仅可以是ID标签T，例如也可以是条形码等。收纳架20是临时收纳被输送物10的架。收纳架20配置于半导体制造装置60、62的附近。在本实施方式中，将收纳架20以夹住半导体制造装置60、62的装载端口64、66的方式进行配置。在收纳架20的高度方向上设置有多列(这里为3列)载置被输送物10的载置部22。在载置部22设置有从载置部22的上表面向上方突出的销24。销24与设置于被本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送系统，其特征在于，是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，该收纳架收纳所述被输送物；堆垛起重机，向所述收纳架搬入所述被输送物，并且从所述收纳架搬出所述被输送物；顶棚输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持所述被输送物的夹具升降来输送所述被输送物；识别信息获取单元，设置于所述堆垛起重机，该识别信息获取单元获取附于所述被输送物的所述识别信息；以及控制单元，在通过所述识别信息获取单元获取的所述识别信息和所述被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，该控制单元以将所述被输送物输送至所述输送指令中的输送目的地的方式来控制所述堆垛起重机，所述收纳架的至少一部分能够进行通过所述顶棚输送车的所述夹具进行的所述被输送物的取放。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.04.05 JP 2012-0863921.一种输送系统，其特征在于，
是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具
备：
收纳架，设置于半导体制造装置的附近，该收纳架收纳所述被输送
物；
堆垛起重机，向所述收纳架搬入所述被输送物，并且从所述收纳架
搬出所述被输送物；
顶棚输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持所述被输送物
的夹具升降来输送所述被输送物；
识别信息获取单元，设置于所述堆垛起重机，该识别信息获取单元

【专利技术属性】
技术研发人员：山本真，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP