二极管制造技术

在活性区域中，在n﹣型漂移层(1)上设置有p型正极层(2)。在活性区域的外周的终端区域中，在n﹣型漂移层(1)上设置有p型扩散层(3)。氧化膜(4)覆盖p型正极层(2)的外周部。在p型正极层(2)的未被氧化膜(4)覆盖的部分连接有正极电极(5)。在n﹣型漂移层(1)的下方设置有n﹢型负极层(7)。在n﹢型负极层(7)连接有负极电极(8)。p型正极层(2)的被氧化膜(4)覆盖的部分的面积是p型正极层(2)整体面积的5～30％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】二极管
本专利技术涉及作为构成大于或等于600V的高耐压功率模块的器件之一的二极管，特别是涉及能够提高破坏耐量的二极管。
技术介绍
二极管的恢复动作是指如下动作，即，对应于与该二极管成对的开关元件的通断动作，二极管从导通(通电)状态向截止(断开)状态变化的动作。此时，与正极﹣负极间的电位差的上升相伴，以PN结为中心的耗尽层在器件内部扩展。在导通状态下，大量的载流子(衬底的杂质浓度的100～10000倍左右)在器件内部流动。在恢复动作时，由于耗尽层内的电场，使得空穴被吸引至正极侧，电子被吸引至负极侧，最终分别不断从正极电极以及负极电极逃逸。由于在导通状态下不对二极管施加电压，因此，即使流过大电流，也几乎不发生能量损耗(实际上，所施加的与电流相对应的电压＝几V左右，成为二极管的导通损耗)。另一方面，由于在恢复动作时在施加有高电压的状态下流过电流，因此产生大的能量损耗及热量。因此，在导通状态下的电流越大，器件内部的载流子就越多，在恢复动作时流过大电流，由此所产生的热量有时引起热破坏。作为表示二极管的恢复特性的指标，有恢复动作的损耗、反向恢复电流等。在迄今为止的二极管开发中，以改善这些指标为目的。这些指标是以改善在正常通断时的二极管的损耗为目的而设定的，但通过改善这些指标，也能够改善针对热破坏的耐量。如果破坏耐量提高，则即使增大电流密度也不会发生破坏，因此能够减小芯片尺寸而降低成本。另外，耗尽层不仅在正极-负极间的器件纵向上扩展，也在平面方向上扩展。如果在平面方向上扩展后的耗尽层到达芯片端，则耐压会变得不稳定，或者会产生放电。因此，为了防止耗尽层到达芯片端，在形成有正极层、且进行器件动作的活性区域的基础上，还设置未形成正极层及正极电极、且不进行器件动作的终端区域(无效区域)(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开平10-335679号公报
技术实现思路
终端区域由于基本上不进行器件动作，因此对二极管的恢复特性没有直接影响。然而，在导通状态下，从负极侧也向终端区域注入载流子，并且载流子从活性区域扩散，因此，在终端区域中积蓄大量的载流子。在恢复动作时，终端区域的载流子特别是空穴，向接触端(正极电极和正极层的接合部的外周端)集中而引起局部的温度上升。另外，在正极电极的接触端，载流子容易集中、电场容易集中。并且，如果接触端正下方的正极层为较浅且较薄的扩散层，则耗尽层容易扩展，因此电场进一步集中，产生雪崩现象。由此，产生载流子，电流集中。另外，在宽度有限的器件中，正极层的端部具有曲率。在恢复动作时，当耗尽层从主结延伸时，电场向具有曲率的正极层端集中，因此在该位置处产生雪崩现象，电流集中。因此，活性区域和无效区域之间的边界部在恢复动作时容易被破坏，即使改善活性区域的特性，也无法提高破坏耐量。本专利技术就是为了解决如上所述的课题而提出的，其目的在于获得能够提高破坏耐量的二极管。本专利技术所涉及的二极管的特征在于，具备：n型漂移层；p型正极层，其在活性区域中设置于所述n型漂移层上；p型扩散层，其在所述活性区域的外侧的终端区域中设置于所述n型漂移层上；第1绝缘膜，其覆盖所述p型正极层的外周部；正极电极，其与所述p型正极层的未被所述第1绝缘膜覆盖的部分连接；n型负极层，其设置在所述n型漂移层的下方；以及负极电极，其与所述n型负极层连接，所述p型正极层的被所述第1绝缘膜覆盖的部分的面积是所述p型正极层整体面积的5～30％。专利技术的效果根据本专利技术，能够提高破坏耐量。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的剖面图。图2是针对实施方式1中镇流电阻区域的大小不同的2个构造，对镇流(ballast)电阻区域附近的电流密度分布和温度分布进行比较的图。图3是表示对实施方式1中恢复动作时的器件内的最大温度和γ之间的关系进行模拟后的结果的图。图4是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例1的剖面图。图5是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例2的剖面图。图6是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例3的剖面图。图7是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例4的剖面图。图8是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例5的剖面图。图9是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例6的剖面图。图10是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例7的剖面图。图11是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例8的剖面图。图12是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例9的剖面图。图13是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的变形例10的剖面图。图14是表示本专利技术的实施方式2所涉及的二极管的剖面图。图15是表示能够切断的最大电流密度和W2之间的关系的图。图16是表示本专利技术的实施方式2所涉及的二极管的变形例1的剖面图。图17是表示本专利技术的实施方式2所涉及的二极管的变形例2的剖面图。图18是表示本专利技术的实施方式3所涉及的二极管的剖面图。图19是表示对实施方式3中器件内的最大温度和γ之间的关系进行模拟后的结果的图。图20是表示对实施方式3中器件内的最大温度和W3之间的关系进行模拟后的结果的图。图21是表示对实施方式3中使W3变化后的情况下的器件内的最大温度和γ之间的关系进行模拟后的结果的图。图22是表示本专利技术的实施方式4所涉及的二极管的剖面图。图23是表示本专利技术的实施方式5所涉及的二极管的剖面图。图24是表示本专利技术的实施方式6所涉及的二极管的剖面图。具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式所涉及的二极管进行说明。有时对相同或相对应的结构要素标注相同的标号，并省略重复的说明。实施方式1.图1是表示本专利技术的实施方式1所涉及的二极管的剖面图。在芯片中央设置有活性区域，在活性区域的外侧设置有主要以耐压保持为目的的终端区域。在活性区域中，在n﹣型漂移层1上设置有p型正极层2。在终端区域中，在n﹣型漂移层1上设置有p型扩散层3。p型正极层2、p型扩散层3通过向具有所希望的厚度和电阻率的Si衬底的表面侧注入受主杂质而形成。氧化膜4覆盖P型正极层2的外周部、即p型正极层2的外周端和接触端之间的区域(镇流电阻区域)。在p型正极层2的未被氧化膜4覆盖的部分处连接有正极电极5。由于正极电极5与p型正极层2相比向外侧伸出，因此，由于场板效应，耗尽层在施加反向偏压时容易向终端区域侧延伸。在终端区域的p型扩散层3连接有终端电极6。该终端电极6促进耗尽层的展开。但是，正极电极5和终端电极6不是同电位，而是利用具有一定程度的电阻值的氮化膜18电气结合。在n﹣型漂移层1的下方设置有n﹢型负极层7，该n﹢型负极层7注入有施主杂质。在n﹢型负极层7连接有负极电极8。图2是针对实施方式1中镇流电阻区域的大小不同的2个构造，对镇流电阻区域附近的电流密度分布和温度分布进行比较的图。如果镇流电阻区域较小，则在狭窄的范围内电流集中而引起局部温度上升。另一方面，如果镇流电阻区域较大，则由于在该区域消耗电力，因此电流密度被分散化，最大温度下降。因此，针对热破坏模式的耐量提高。图3是表示对实施方式1中恢复动作时的器件内的最大温度和γ之间的关系进行模拟后的结果的图。γ是镇流电阻区域的面积除以p型正极层2整体的面积(有效面积)所得的值。对于γ，存在最佳的范围，如果超出该范围，则最大温度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二极管，其特征在于，具备：n型漂移层；p型正极层，其在活性区域中设置于所述n型漂移层上；p型扩散层，其在所述活性区域的外侧的终端区域中设置于所述n型漂移层上；第1绝缘膜，其覆盖所述p型正极层的外周部；正极电极，其与所述p型正极层的未被所述第1绝缘膜覆盖的部分连接；n型负极层，其设置在所述n型漂移层的下方；以及负极电极，其与所述n型负极层连接，所述p型正极层的被所述第1绝缘膜覆盖的部分的面积是所述p型正极层整体面积的5～30％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种二极管，其特征在于，具备：n型漂移层；p型正极层，其在活性区域中设置于所述n型漂移层上；p型扩散层，其在所述活性区域的外侧的终端区域中设置于所述n型漂移层上；第1绝缘膜，其覆盖所述p型正极层的外周部；正极电极，其与所述p型正极层的未被所述第1绝缘膜覆盖的部分连接；n型负极层，其设置在所述n型漂移层的下方；以及负极电极，其与所述n型负极层连接，所述p型正极层的被所述第1绝缘膜覆盖的部分的面积是所述p型正极层整体面积的5～30％，所述p型正极层具有：第1区域；以及第2区域，其设置在所述第1区域的外周，与所述第1区域相比深度深且杂质浓度高，所述第2区域的宽度大于所述p型正极层的被所述第1绝缘膜覆盖的部分的宽度，所述第2区域的杂质浓度随着朝向芯片外侧而变小。2.根据权利要求1所述的二极管，其特征在于，还具备p型负极层，该p型负极层在...

【专利技术属性】
技术研发人员：西井昭人，中村胜光，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP