【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是：在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入，结构简单，安全可靠。【专利说明】蚀刻机辅助安全设备
本技术涉及一种蚀刻机辅助安全设备。
技术介绍
目前，蚀刻机广泛应用于半导体和LED制造领域。由于蚀刻机内部的反映气体有剧毒，目前广泛应用各种监控报警设备进行不间断的检测，必要时即时切断气体输入与关闭机器。人工值守与机械电控的配合通常较为复杂，并且经济效益较低。如何让设备在异常情况下，例如纯水压力异常的情况下，自动切断气体输入成为一个亟待解决的问题。
技术实现思路
为了克服现有的蚀刻机监控设备需要人工值守，机械电控设备复杂不可靠的问题，本技术提供一种蚀刻机辅助安全设备，该蚀刻机辅助安全设备结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种蚀刻机辅助安全设备，在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。 本技术的有益效果是，结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 图1是本技术的结构示意图。 图中1.腔体，2.弹簧，3.进气口，4.出气...
【技术保护点】
一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是：在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙冒田，
申请(专利权)人：徐州天太机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。