互连结构尾端安全间距的测试结构制造技术

本实用新型专利技术提出了一种互连结构尾端安全间距的测试结构，包括：设有多个竖条部的第一连线、与竖条部保持预定间距的第二连线、与第二连线相互平行且与第一连线保持的尾端间距均不同的第三连线、多个二极管以及晶体管，第三连线之间通过二极管相连并引出，第三连线连接晶体管的栅极，晶体管的漏极之间相连并引出。对第一连线和第二连线同时施加测试电压使第三连线与第一连线之间发生击穿短路现象，小于第三连线和第一连线之间间距的尾端间距处也会发生击穿短路现象，对第一连线施加导通电压测量晶体管漏电流即可获得第三连线与第一连线尾端处发生击穿短路现象的个数，从而获取尾端安全间距。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提出了一种互连结构尾端安全间距的测试结构，包括：设有多个竖条部的第一连线、与竖条部保持预定间距的第二连线、与第二连线相互平行且与第一连线保持的尾端间距均不同的第三连线、多个二极管以及晶体管，第三连线之间通过二极管相连并引出，第三连线连接晶体管的栅极，晶体管的漏极之间相连并引出。对第一连线和第二连线同时施加测试电压使第三连线与第一连线之间发生击穿短路现象，小于第三连线和第一连线之间间距的尾端间距处也会发生击穿短路现象，对第一连线施加导通电压测量晶体管漏电流即可获得第三连线与第一连线尾端处发生击穿短路现象的个数，从而获取尾端安全间距。【专利说明】互连结构尾端安全间距的测试结构
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种互连结构尾端安全间距的测试结构。
技术介绍
随着半导体技术的不断发展，半导体器件的特征尺寸变得越来越小，用于连接各个半导体器件的互连结构的尺寸和间距也变得越来越小。间距不断的缩小导致形成在间距内的层间介质层的厚度也不断缩小，极易造成互连结构内部发生击穿短路现象，对半导体器件的性能造成极大的伤害。 因此，为了保证互连结构内部不会出现击穿短路现象，通常情况下在半导体器件设计初期即根据设计规则(Design rule)会限定互连结构内金属连线之间的最小间距，也称安全间距。为了能够监测制成的互连结构内的金属连线是否会出现短路现象，通常会形成测试结构，用于对短路现象进行监测。 图1是现有技术中的测试结构示意图，请参考图1，该测试结构用于对互连结构内的金属连线是否会出现短路现象进行监测，具体的，测试结构包括第一连线10和第二连线20，第一连线10和第二连线20均为竖条部状，两者交错排列，具体地说，第一连线10和第二连线20均包括横条部以及与横条部相连的多个均匀排列的竖条部，第一连线10的竖条部与第二连线20的竖条部的间距(也称为间隙间距)为LI，第一连线10的竖条部的尾端与第二连线20的横条部的距离(也称为尾端间距)为L2。专利技术人发现，由于第一连线10的尾端(即第一连线10的竖条部的尾端)被第二连线20围绕，导致此处的电场强度较高，若尾端间距L2与间隙间距LI相同，在间隙间距LI可以确保第一连线10与第二连线20之间不发生击穿短路现象时，尾端间距L2却无法保证第一连线10的尾端与第二连线20之间不发生击穿短路现象，即间隙的安全间距并不能作为尾端的安全间距。 因此，现有技术中为了能够监测出尾端的安全间距，通常会制作多个测试结构，每个测试结构中的尾端间距L2均不同，依次来找出尾端的安全间距大致范围。然而采用这种方式虽然能够获得尾端的安全间距大致范围，却十分浪费资源，需要占用较大的芯片面积，并且增加了量测的负荷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种互连结构尾端安全间距的测试结构，能够使用一个测试结构即可准确、快捷的获得尾端安全间距。 为了实现上述目的，本技术提出了一种互连结构尾端安全间距的测试结构，包括:第一连线、多个第二连线、与所述多个第二连线相互平行且间隔排列的多个第三连线、多个二极管以及多个晶体管，其中，所述第一连线包括一横条部及与横条部相连的多个均匀排列的竖条部，每个第二连线对应一个竖条部并与所述竖条部保持预定间距，多个第二连线相连并引出，多个所述第三连线的一端与所述横条部的尾端间距各不相同，所述第三连线之间通过所述二极管相连并引出，每个第三连线的另一端分别连接一个晶体管的栅极，多个晶体管的漏极相连并引出。 进一步的,所述尾端间距由0.01 μ m变化至0.1 μ m。 进一步的，所述尾端间距变化的步长范围是0.002 μ m?0.05 μ m。 进一步的，所述第三连线和第二连线之间的间距大于等于设计规则的最小间距。 进一步的，所述第二连线与所述竖条部的预定间距大于等于设计规则的最小间距的1.5倍。 进一步的，所述第二连线的个数比所述第三连线的个数多一个。 7、如权利要求1所述的互连结构尾端安全间距的测试结构，其特征在于，所述二极管位于所述第三连线之间，所述第三连线的个数比所述二极管的个数多一个。 进一步的，所述晶体管的个数与所述第三连线的个数相同。 进一步的，所述晶体管为CMOS晶体管。 与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在:在同一测试结构内，第三连线与第一连线保持的尾端间距均不同，第二连线与第一连线保持预定间距，对第一连线和第二连线同时施加测试电压使第三连线与第一连线之间发生击穿短路现象，小于第三连线和第一连线之间间距的尾端间距处也会发生击穿短路现象，对第一连线施加导通电压测量晶体管漏电流即可获得第三连线与第一连线尾端处发生击穿短路现象的个数，从而获取尾端安全间距，实现仅使用一个测试结构通过少数量测即可获得尾端安全间距的目的。 【专利附图】【附图说明】 图1是现有技术中的测试结构示意图； 图2是本技术一实施例中互连结构尾端安全间距的测试结构的结构示意图； 图3是本技术一实施例中测试第二连线和第三连线之间发生击穿短路的示意图； 图4是本技术一实施例中测试第三连线尾端与第一连线之间发生击穿短路的示意图。 【具体实施方式】 下面将结合示意图对本技术的互连结构尾端安全间距的测试结构进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。 在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。 请参考图2，在本实施例中，提出了一种互连结构尾端安全间距的测试结构，包括:第一连线100、多个第二连线200、与所述第二连线200间隔设置且相互平行的多个第三连线300、多个二极管400以及多个晶体管500，其中，第一连线100包括一横条部120及与横条部120相连的多个均匀排列的竖条部110，所述第二连线200与所述竖条部110 —一对应，即，第二连线200的尾端对应第一连线100的竖条部110的尾端，并且所述多个第二连线200与所述竖条部110的间距(也称为预定间距)L3均相同，所述多个第二连线200之间通过引线相连并引出作为第二施加端(Force B)，多个第三连线300的一端与所述第一连线100的横条部120的间距(也称为尾端间距(Line End Space))L2均不相同，所述第三连线300之间通过所述二极管400相连并引出，每个第三连线300的另一端分别连接一个晶体管50本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种互连结构尾端安全间距的测试结构，其特征在于，包括：第一连线、多个第二连线、与所述多个第二连线相互平行且间隔排列的多个第三连线、多个二极管以及多个晶体管，其中，所述第一连线包括一横条部及与横条部相连的多个均匀排列的竖条部，每个第二连线对应一个竖条部并与所述竖条部保持预定间距，多个第二连线相连并引出，多个所述第三连线的一端与所述横条部的尾端间距各不相同，所述第三连线之间通过所述二极管相连并引出，每个第三连线的另一端分别连接一个晶体管的栅极，多个晶体管的漏极相连并引出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯军宏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11