石英管扩散炉制造技术

技术编号:10665610 阅读:153 留言:0更新日期:2014-11-20 11:31
本实用新型专利技术涉及一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用率的优点。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用率的优点。【专利说明】石英管扩散炉
本技术涉及一种石英管扩散炉。
技术介绍
目前太阳能扩散炉扩散工艺时广泛采用由加热炉体内嵌一个石英管作为扩散工 艺反应的容器,由于在扩散反应过程中会产生偏磷酸,连接堵头处的石英管管壁做的比较 薄,导致腐蚀断裂,大大增加设备维护时间,减少设备利用率。 因此寻求一种能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用率的石英管扩散炉尤 为重要。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种能够防止腐蚀,减少维护时间,提 高设备利用率的石英管扩散炉。 本技术的目的是这样实现的: -种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体,所述扩散炉炉体的尾部中 间连接有进气管,进气管的外端设置有进气管球头,所述扩散炉炉体的尾部下部设置有排 废管以及测温管,排废管与测温管的中心线分别偏离扩散炉炉体坚向中心线22mm以及 25mm,排废管的外端设置有排废管球头,测温管的外端设置有测温管球头。 所述扩散炉炉体的顶部内部设置有沿径向间隔布置的两个吊环,吊环的壁厚为 2mm,吊环的外径为22mm,吊环的长度为25mm。 扩散炉炉体的壁厚为5mm,扩散炉炉体的内径为300mm ;进气管的壁厚为3mm,进气 管长度为167mm,进气管的外径为30mm ;排废管长度为167mm,排废管的外径为20mm,排废管 球头的外径不得超出扩散炉炉体外径;测温管的壁厚为3mm,测温管长度为167mm,测温管 的外径为30mm,测温管球头的外径不得超出扩散炉炉体外径。 与现有技术相比,本技术的有益效果是: 本技术石英管扩散炉由于进气管设置于炉尾中间,使得在扩散反应过程中的 偏磷酸不会腐蚀进气管,该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用 率的优点。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术石英管扩散炉的尾部结构示意图。 图2为图1的A-A剖视图。 图3为图1的B-B剖视图。 其中: 扩散炉炉体1 进气管2、进气管球头2· 1 排废管3、排废管球头3. 1 测温管4、测温管球头4. 1 吊环 5。 【具体实施方式】 参见图广图3,本技术涉及的一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散 炉炉体1,所述扩散炉炉体1的尾部中间连接有进气管2,进气管2的外端设置有进气管球 头2. 1,所述扩散炉炉体1的尾部下部设置有排废管3以及测温管4,排废管3与测温管4 的中心线分别偏离扩散炉炉体1坚向中心线22mm以及25mm,排废管3的外端设置有排废管 球头3. 1,测温管4的外端设置有测温管球头4. 1。 扩散炉炉体1的壁厚为5mm,扩散炉炉体1的内径为300mm ;进气管2的壁厚为 3mm,进气管2长度为167mm,进气管2的外径为30mm ;排废管3长度为167mm,排废管3的 外径为20mm,排废管球头3. 1的外径不得超出扩散炉炉体1外径;测温管4的壁厚为3mm, 测温管4长度为167mm,测温管4的外径为30mm,测温管球头4. 1的外径不得超出扩散炉炉 体1外径。 所述扩散炉炉体1的顶部内部设置有沿径向间隔布置的两个吊环5,吊环5的壁厚 为2mm,吊环5的外径为22mm,吊环5的长度为25mm。 石英管扩散炉的技术要求 1、耐温 1200° C; 2、热处理:去应力退火; 3、扩散炉炉体1的端面经过磨砂处理有磨砂层,磨砂层的平面度不得大于0. 05。【权利要求】1. 一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉 炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2. 1),所述扩 散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中 心线分别偏离扩散炉炉体(1)坚向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管 球头(3. 1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4. 1)。2. 根据权利要求1所述的一种石英管扩散炉,其特征在于所述扩散炉炉体(1)的顶 部内部设置有沿径向间隔布置的两个吊环(5),吊环(5)的壁厚为2mm,吊环(5)的外径为 22_,吊环(5)的长度为25_。3. 根据权利要求1或2所述的一种石英管扩散炉,其特征在于扩散炉炉体(1)的壁厚 为5mm,扩散炉炉体(1)的内径为300mm ;进气管(2)的壁厚为3mm,进气管(2)长度为167mm, 进气管(2)的外径为30mm ;排废管(3)长度为167mm,排废管(3)的外径为20mm,排废管球 头(3. 1)的外径不得超出扩散炉炉体(1)外径;测温管(4)的壁厚为3mm,测温管(4)长度 为167mm,测温管(4)的外径为30mm,测温管球头(4. 1)的外径不得超出扩散炉炉体(1)外 径。【文档编号】C30B31/06GK203947184SQ201420279431【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年5月29日 优先权日:2014年5月29日 【专利技术者】严义博, 张晶, 张兴德, 周平, 曹允波 申请人:江阴鑫辉太阳能有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:严义博张晶张兴德周平曹允波
申请(专利权)人:江阴鑫辉太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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