【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种提高封装成膜均匀性的装置,应用于一衬底的封装工艺中,其特征在于,所述装置包括:磁性夹持框、掩膜版和蒸发源;所述磁性夹持框固定设置于所述蒸发源的上方,且该磁性夹持框吸附所述掩膜版,以固定位于所述掩膜版与所述磁性夹持框之间的所述衬底;其中,所述磁性夹持框上设置有电磁铁。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李嘉宸,黄添旺,
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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