用于制造部件的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。【专利说明】
本专利技术涉及一种部件，该部件包括从该部件的至少其中一个表面延伸到该部件中 的至少一个凹陷部。
技术介绍
从现有技术中已知的是，一些由单晶或多晶材料制成的微技术零件是通过蚀刻制 成的。此工艺包括：获取待蚀刻的基底，以及将一层光敏树脂沉积在顶部。在树脂上放置掩 膜，并且将整个组件暴露在光线下，以使暴露在光线下的光敏树脂结构改变/改性。通过化 学元素的作用除去改变的树脂，使得基底在除去树脂处裸露。 接下来，对基底的这些裸露的区域进行化学蚀刻，以便形成中空部。化学试剂选择 为仅蚀刻形成基底的材料，而不会蚀刻没有改变的光敏树脂。此化学蚀刻步骤的持续时间 决定了中空部的尺寸。 同样地，可以设想通过机加工和/或抛光来制造微技术零件，因此钻头或抛光机 可用于形成所述零件。 这种化学蚀刻工艺的第一个缺陷在于，它不能生成具有垂直壁或侧面的中空部。 事实上，所获得的中空部具有倾斜的或者倒圆的侧面。这意味着，中空部的表面随深度而变 化，即，表面随着中空部的深度而变得更大或更小。通常，表面随深度变得更小。这一观察 结果意味着必须修改理论计算以获得具有垂直侧面的中空部。此外，中空部的轮廓在理论 和实践之间的这种变化导致了特性的改变。 这些化学蚀刻或机加工工艺的第二个缺陷在于，它们不能形成具有复杂深度的结 构。事实上，化学蚀刻只能在表面形成中空部，因为侧面的倾斜意味着蚀刻不可能更深入。 对于机加工，使用抛光机和钻头也不能形成复杂的内部结构。例如，可以制造由单块红宝石 (即，由开有盲孔的单块宝石形成）制成的钟表轴承，但是该轴承不能被润滑，除非提供储 存润滑剂所必需的结构。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于，通过提出一种制造部件的制造方法来克服上述缺陷，其 中，所述部件包含具有直的侧面和内部结构并且不仅位于表面处的中空部。 因此，本专利技术涉及一种在基底中制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步 骤： a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性； b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造该部件。 本专利技术的一个优点在于，由于所使用的材料选择为可透过激光，因此可以形成位 于表面下方的凹陷部。这使得激光能够瞄准部件表面之上或下方的任一点。因此，使该材 料具有选择性，以便随后的化学蚀刻仅在通过激光产生改变的材料上进行。因此，获得了一 种允许形成复杂的内部凹陷部的方法。 本专利技术的方法的有利实施例形成了从属权利要求的主题。 在第一有利实施例中，该方法还包括下述步骤： c)从该基底释放部件。 在第二有利实施例中，基底由可透过激光波长的材料制成。 在第三有利实施例中,激光脉宽的范围是从飞秒到皮秒。 在第四有利实施例中，基底由单晶材料制成。 在第五有利实施例中，基底由多晶材料制成。 在另一有利实施例中，基底由聚合物制成。 在另一有利实施例中，基底由诸如陶瓷或玻璃的无定形材料制成。 在另一有利实施例中，所述部件为钟表部件。 在另一有利实施例中，所述部件为钟表轴承。 在另一有利实施例中，基底包括在改变结构的步骤之前形成的盲孔。 在另一有利实施例中，该轴承还包括至少一个凹陷部。 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部为盲孔。 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部用作储存润滑剂的储存器，所述至少 一个凹陷部至少从所述孔的表面延伸。 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部还包括连接所述至少一个储存器和所 述孔的至少一个通道202。 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部用于形成弹性结构206。 在另一有利实施例中，该弹性结构包括设置成使得心轴的枢轴柄能够插入其中的 中心部，以及至少一个从该中心部延伸的弹性臂。 在另一有利实施例中，所述部件为包括以变形方式使用的体部的谐振器。 在另一有利实施例中，谐振器包括基部，至少两个平行的臂从该基部延伸，其中每 个臂均具有上表面和下表面。 在另一有利实施例中，所述体部为在自身上卷绕以形成游丝的条状件（bar)。 在另一有利实施例中，谐振器还包括在该体部的其中一个表面上形成的至少一个 凹陷部。 在另一有利实施例中，所述部件为擒纵叉瓦。 本专利技术还涉及一种设置成与心轴配合的钟表部件，该部件包括其中插入该心轴的 枢轴柄的孔，其特征在于，所述部件包括从该孔的至少其中一个表面延伸到所述部件中的 至少一个凹陷部。 在第一有利实施例中，所述至少一个凹陷部包括用于容纳液体的至少一个储存 器。 在第二有利实施例中，所述至少一个凹陷部还包括连接所述至少一个储存器和所 述孔的至少一个通道。 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部延伸以形成弹性结构。 在另一有利实施例中，所述凹陷部设置成使得该部件包括具有环形边缘、中心部 和弹性臂的圆柱形部分，该弹性臂连接中心部和环形边缘，该中心部包括所述孔。 在另一有利实施例中，所述部件包括至少两个凹陷部，至少一个凹陷部包括用于 容纳液体的至少一个储存器，并且至少一个凹陷部延伸以形成弹性结构。 本专利技术还涉及一种用于与钟表机芯的擒纵轮的齿配合的擒纵叉瓦，该擒纵叉瓦包 括脱离平面、锁定平面和推动平面，以及连接该脱离平面和锁定平面的至少一个主通道，其 特征在于，该擒纵叉瓦还包括与主通道连通的储存器，以使得所有必需的润滑剂都能够储 存在该至少一个主通道和储存器中。 在一个有利的实施例中，该擒纵叉瓦还包括连接该至少一个主通道和推动平面的 至少一个辅助通道。 【专利附图】【附图说明】 在下文对仅以非限制性示例给出且在附图中示出的本专利技术的实施例的详细说明 中，根据本专利技术的部件的目的、优点和特征将变得更加清楚，其中： -图1和2示意性示出了现有技术中的枢轴系统。 -图3示出了根据本专利技术的枢轴系统的示意图。 -图4-5示出了根据本专利技术的枢轴系统的第一实施例的示意图。 -图6和7示出了根据本专利技术的枢轴系统的第二实施例的第一实施方式的示意图。 -图8示出了根据本专利技术的枢轴系统的第二实施例的第二实施方式的示意图。 -图9和10示出了根据本专利技术的枢轴系统的第一变型的示意图。 -图11A-11D为根据本专利技术的方法的步骤的示意图。 -图12示出了根据现有技术的谐振器的示意性正视图。 -图13示出了使用根据本专利技术的方法的谐振器的示意性正视图。 -图14示出了使用根据本专利技术的方法的谐振器的一个变型的示意性俯视图。 -图15示出了使用根据本专利技术的方法的谐振器的一个变型的示意性正视图。 -图16示出了使用根据本专利技术的方法的谐振器的另一变型的示意性俯视图。 -图17为已知的擒纵叉瓦的示意图。 -图18为根据本专利技术的擒纵叉瓦的示意图。 -图19为根据本专利技术的擒纵叉瓦的一个变型的示意图。 -图20为根据本专利技术的螺旋谐振器的示意图。 【具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在基底(101,300)中制造部件的制造方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·黑塞勒，N·雷伯德，JL·黑尔费尔，D·理查德，S·格拉夫，
申请(专利权)人：斯沃奇集团研究和开发有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH