固定治具的制造方法以及固定治具技术

本发明专利技术涉及固定治具的制造方法以及固定治具。本发明专利技术的目的在于提供一种能够容易地并且以低廉的制造成本制造用于对板状被切断物进行吸附保持的固定治具的固定治具的制造方法，以及用该方法所制造的固定治具。本发明专利技术是一种固定治具的制造方法，包括具有吸附槽和吸附孔的板，以及具有分别与所述吸附孔相对应的贯通路的基底，该固定治具的制造方法具有：a)成型工序(S1)，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，所述模具具有对应于所述板的模腔，以及与设于所述模腔底面的所述吸附孔相对应的凸部；b)抵接工序(S3)，将基底定位并抵接于所述模具的模具表面；c)固化工序(S4)，使所述树脂固化；d)脱模工序(S6)，利用脱模在所述基底上形成板；e)吸附孔制作工序(S7)，通过经由贯通路对板穿孔而在板上制作吸附孔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及固定治具的制造方法以及固定治具。本专利技术的目的在于提供一种能够容易地并且以低廉的制造成本制造用于对板状被切断物进行吸附保持的固定治具的固定治具的制造方法，以及用该方法所制造的固定治具。本专利技术是一种固定治具的制造方法，包括具有吸附槽和吸附孔的板，以及具有分别与所述吸附孔相对应的贯通路的基底，该固定治具的制造方法具有：a)成型工序(S1)，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，所述模具具有对应于所述板的模腔，以及与设于所述模腔底面的所述吸附孔相对应的凸部；b)抵接工序(S3)，将基底定位并抵接于所述模具的模具表面；c)固化工序(S4)，使所述树脂固化；d)脱模工序(S6)，利用脱模在所述基底上形成板；e)吸附孔制作工序(S7)，通过经由贯通路对板穿孔而在板上制作吸附孔。【专利说明】
本专利技术涉及一种用于吸附固定板状的被切断物或者将该被切断物单片化而成的 单片化物的固定治具的制造方法，以及用该制造方法所制造的固定治具。 固定治具的制造方法以及固定治具
技术介绍
将基板划分为格子状的多个区域，在各个区域上安装芯片状的电子元件之后，将 该基板整体进行树脂密封而得到的物体被称为树脂封装体。用旋转刀等将该树脂封装体切 断，以各个区域为单位进行单片化而成的物体成为电子零件。 在用于切断树脂封装体的切断装置上，设有用于吸附固定树脂封装体的固定治 具。固定治具是由可自由移动并可自由转动的基底、及固定于该基底的板而构成。板上设 有：吸附槽，其是设于分别与树脂封装体上的所述多个区域的每一个区域相对应的位置的 凹状空间；吸附孔，设于该吸附槽的底部；以及切断槽，在切断树脂封装体时供旋转刀等通 过。各个吸附孔经由设于基底的贯通路与排气泵相连接，树脂封装体上的各个区域在切断 时也利用各个吸附槽和吸附孔而被吸附保持（专利文献1)。 如专利文献1所示的现有的固定治具通常利用以下方法制造。 首先，制作以点阵状设有多个贯通路的金属制的基底。 然后，将氟橡胶制或者氟树脂制的板对应于作为目标的树脂封装体划分为多个区 域，并且在其单面上沿着划分所述多个区域的线通过机械加工制作切断槽。而且，同样通过 机械加工，在分别与所述多个贯通路的每一个贯通路相对应的位置上制作吸附槽，进而在 各吸附槽的底部制作吸附孔。 最后，以吸附孔的位置与贯通路的位置一致的方式，在基底上对板进行定位，并将 板粘接固定于基底。 现有抟术f献 专利f献 专利文献1 :日本特开2009-202311号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问是页 近年来，由于电子零件的小型化越发进步，另一方面为了提高电子零件的制造效 率，因此对将基板大型化，且要增加一块基板上的电子零件的数量的需求也越发强烈。在这 种情况下，固定治具大型化，并且板的划分和各个吸附槽以及吸附孔逐渐变得更小。 然而，由于上述以往的固定治具的制造方法中存在以下的问题，因此难以充分满 足这种要求。 (1)需要吸附保持树脂封装体。因此，板需要具有适当的柔软性，但对于具有柔软 性的板难以进行精细的机械加工，尤其是难以制作吸附槽。 (2)将机械加工后的板粘接固定在基底上时，由于板伸缩所以难以定位。 (3)机械加工越精细则制造成本越增加。而且，如上所述，板需要具有适当的柔软 性，但为了对板进行机械加工，板也需要适当的硬度。可以使用上述氟橡胶制或者氟树脂制 的板作为这样的板，但是这样的材料价格较高。 本专利技术是为解决上述问题而做出的，其目的在于提供一种能够容易地制作吸附 槽、能够容易对板进行定位并且制造成本低廉的固定治具的制造方法，以及利用该制造方 法所制造的固定治具。 用于解决问题的方案 为解决上述问题而提出的本专利技术，是一种固定治具的制造方法，该固定治具包括： 板，具有用于对板状的被切断物以及切断所述板状的被切断物而成的单片化物进行吸附保 持的吸附槽和设于该吸附槽底部的吸附孔；以及基底，用于固定所述板，具有分别对应于所 述吸附孔的贯通路；其特征在于，该固定治具的制造方法具有： a)成型工序，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，该模具具有：所述模腔，对 应于所述板；以及凸部，对应于设置在所述模腔的底面的所述吸附槽； b)抵接工序，将所述基底定位并抵接于向所述模腔供给了所述常温固化性液状树 脂的所述模具的模具表面； c)固化工序，使所述常温固化性液状树脂固化； d)脱模工序，通过脱模在所述基底上形成板；以及 e)吸附孔制作工序，通过经由所述贯通路对所述板进行穿孔，在所述板上制作吸 附孔。 作为所述常温固化性液状树脂，具体地说能够使用有机硅系树脂或者氟系树脂 等。 本专利技术中的固定治具的制造方法为将常温固化性液状树脂供给至模具的模腔，将 基底相对于该模具的模具表面进行定位后在常温下使该树脂固化，使该树脂粘接于基底而 在基底上形成板。 另外，对往基底上的粘接可以是利用树脂的固化而产生的自然粘接，但是为了进 一步提高粘接强度，优选是预先在基底的对应表面涂布有底漆。 本制造方法中，通过使用在模腔底面具有对应于吸附槽的凸部的模具，从而排除 利用机械加工在板上制作吸附槽的工序。 而且，通过将基底相对于模具表面进行定位，与现有方法相比较，板相对于基底的 定位较为容易。 在本专利技术的方法中，如上所述，通过排除吸附槽的机械加工工序，制造成本降低。 若使用廉价的有机硅系树脂作为常温固化性液状树脂，则能够进一步抑制制造成本。 而且，在本专利技术的方法中，通过采用常温固化性液状树脂，无需在使该树脂固化时 进行加热。假设使用热固化性液状树脂，则在基底为金属制的情况下，是在因加热而膨胀了 的基底上使该树脂固化，在冷却至常温，基底收缩时，板产生翘曲或者褶皱。本专利技术中能够 避免这种问题，并能够制造尺寸精度较高的治具。 本专利技术的方法中，优选为，在基底设有具有与所述模腔的开口大致相同的平面形 状的突出面，在所述抵接工序中将所述突出面插入于所述模腔的开口。通过这么做，板与基 底的定位变得更加可靠。 在这种情况下，在所述成型工序中，优选为，将所述常温固化性液状树脂略多地供 给于所述模腔内。通过这么做，在所述抵接工序中使所述基底抵接于所述模具的模具表面 时，所述常温固化性液状树脂进入所述基底的所述贯通路，提高该树脂固化之后的板对基 底的附着性，并且两者的定位变得可靠。 进一步增加常温固化性液状树脂供给到模腔的量，在所述抵接工序中使所述基底 抵接于所述模具的模具表面时，也能够使该常温固化性液状树脂从所述基底的贯通路溢出 到该基底的背侧。通过这么做，树脂固化后的板对基底的附着性以及两者的定位变得更加 可靠。 在任意一种情况下，在所述吸附孔制作工序中，由于经由基底的贯通路进行穿孔 并除去固化了的树脂，因此树脂进入贯通路不存在任何问题。 专利技术的效果 本专利技术中的固定治具的制造方法中，由于使用在模腔内具有对应于吸附槽的凸部 的模具来成形板，因此能够容易地制作所希望的形状的吸附槽。 而且，与现有方法相比较，也能够容易地对板相对于基底进行定位。 再者，如上所述通过排除吸附槽的机械加工工序，实现了制造成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固定治具的制造方法，该固定治具包括：板，具有用于对板状的被切断物以及切断所述板状的被切断物而成的单片化物进行吸附保持的吸附槽及设在该吸附槽的底部的吸附孔；以及基底，用于固定所述板且具有分别对应于所述吸附孔的贯通路；其特征在于，该固定治具的制造方法具有：a)成型工序，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，该模具具有：对应于所述板的所述模腔，以及对应于设在所述模腔的底面上的所述吸附槽的凸部；b)抵接工序，使所述基底定位并抵接于向所述模腔内供给了所述常温固化性液状树脂的所述模具的模具表面；c)固化工序，使所述常温固化性液状树脂固化；d)脱模工序，利用脱模在所述基底上形成板；以及e)吸附孔制作工序，通过经由所述贯通路对所述板穿孔，在所述板上制作吸附孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：天川刚，渡边创，东秀和，石桥干司，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP