直线电机制造技术

本发明专利技术提供一种即使动子的移动范围长磁铁的使用量也不会增大的直线电机。直线电机包括动子(1)和作为磁体的定子(2)，所述动子(1)，在线圈内部配置有沿移动方向交替连结的多个磁铁和电枢铁心，隔着电枢铁心相邻的磁铁在彼此相反的方向被磁化，所述定子(2)具有在所述动子(1)的移动方向上长并磁耦合的对置的两个板状部，并且，在该两个板状部的对置的面上，分别隔着规定间隔排列有呈棒状并且大致长方体状的作为磁体的齿部，所述动子(1)在所述对置的两个板状部之间沿所述齿部的排列方向移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种即使动子的移动范围长磁铁的使用量也不会增大的直线电机。直线电机包括动子(1)和作为磁体的定子(2)，所述动子(1)，在线圈内部配置有沿移动方向交替连结的多个磁铁和电枢铁心，隔着电枢铁心相邻的磁铁在彼此相反的方向被磁化，所述定子(2)具有在所述动子(1)的移动方向上长并磁耦合的对置的两个板状部，并且，在该两个板状部的对置的面上，分别隔着规定间隔排列有呈棒状并且大致长方体状的作为磁体的齿部，所述动子(1)在所述对置的两个板状部之间沿所述齿部的排列方向移动。【专利说明】直线电机
本专利技术涉及由定子和具有励磁线圈的动子组合而成的直线电机。
技术介绍
例如，在半导体制造装置、液晶显示装置的制造领域，需要能够使大面积的基板等 处理对象快速直线移动并在适当的移动位置高精度定位的传送装置。一般来说，这种传送 装置将作为驱动源的电机的旋转运动通过滚珠螺杆机构等运动变换机构变换为直线运动 而实现。但是，由于中间存在运动变换机构，在提高移动速度方面存在界限。而且，由于运 动变换机构存在机械误差，故存在定位精度不够这样的问题。 为了应对这样的问题，近年来，使用了将能够直接实现直线运动输出的直线电机 作为驱动源的传送装置。直线电机包括直线状的定子和沿着该定子移动的动子。在上述传 送装置中，使用了动圈式直线电机，该动圈式直线电机中，将板状的永久磁铁隔着一定间隔 并排设置多个而构成定子，将包括磁极齿和通电线圈的电枢作为动子（例如，参照专利文 献1)。 现有技术文献 专利文献 【专利文献1】日本特开平3-139160号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题 动圈式直线电机，由于对定子配置磁铁，直线电机的全长越长（动子的移动距离 越长），使用的磁铁量就越大。近年来，随着稀土类产品价格的上涨，使用的磁铁量增加导致 成本增加。 而且，由于在用磁体制造的定子磁轭上配置磁铁，定子的厚度等于定子磁轭和磁 铁的厚度之和，故难以实现直线电机的小型化。 另外，在定子磁轭配置磁铁的作业繁琐复杂，导致成本增加。 本专利技术鉴于上述情况而做出，目的在于提供即使直线电机的全长长也不增加磁铁 的使用量的直线电机。另外，目的还在于提供能够减小定子的厚度且定子容易制造的直线 电机。 为解决问题的方法 本专利技术的直线电机，其包括动子和作为磁体的定子，所述直线电机特征在于：所述 动子，在线圈内部配置有沿着移动方向交替连结的多个磁铁和电枢铁心，隔着电枢铁心相 邻的磁铁在彼此相反的方向被磁化，所述定子具有在所述动子的移动方向上长的两个板状 部，该两个板状部磁耦合并对置，并且，在该两个板状部的对置的面上，分别隔着规定间隔 排列有棒状并且大致长方体状的作为磁体的齿部，所述动子在所述对置的两个板状部之间 沿着所述齿部的排列方向移动。 在本专利技术中，动子，在线圈内部配置有沿着所述动子的移动方向交替连结的多个 磁铁和电枢铁心。磁铁仅用于动子，因此，即使当直线电机全长长时，使用的磁铁量也是固 定的，不会增加，能够降低成本。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述两个板状部的一者的面上排列的齿部和另一 者的面上排列的齿部沿着所述动子的移动方向交错配置。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述齿部的长度方向与所述动子的移动方向大致 成直角。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述磁铁和所述电枢铁心呈棒状并且大致长方体 状，以各自沿着长度方向的面彼此在大致整个面贴紧的方式连结。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述各磁铁和所述各电枢铁心的长度方向两端部 相对于所述动子的移动方向的位置不同。 在本专利技术中，磁铁和电枢铁心倾斜，因此，磁阻力减小，能够减少由于定子和动子 的相对位置不同造成的推力不均。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述各磁铁和所述各电枢铁心的一个截面为平行 四边形。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述齿部的长度方向相对于所述动子的移动方向 的垂直方向倾斜。 在本专利技术中，设置于定子的齿部向动子的移动方向倾斜，因此，磁阻力减小，能够 减少由于定子和动子的相对位置不同造成的推力不均。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述两个板状部的一者的面上排列的齿部和另一 者的面上排列的齿部向不同的方向倾斜。 在本专利技术中，两个板状部的一者的面上排列的齿部和另一者的面上排列的齿部向 不同的方向倾斜，因此，能够抑制由于动子相对于移动方向左右倾斜造成的翘起。 本专利技术的直线电机的特征在于：具有电枢铁心，其在所述动子的移动方向上的长 度不同。 在本专利技术中，具有所述动子的移动方向上的长度不同的电枢铁心，由此，能够减小 磁阻力。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述齿部与所述定子接合。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述齿部通过在所述定子利用抠制加工形成凹凸 部而形成。 在本专利技术中，通过抠制加工形成齿部，因此，与将齿部接合的情况相比，能够降低 成本。 本专利技术的直线电机，其包括定子和动子，所述直线电机的特征在于：所述动子，在 线圈内部配置有沿着移动方向交替连结的多个磁铁（以下也称为永久磁铁）和电枢铁心， 隔着该电枢铁心相邻的磁铁在彼此相反的方向被磁化，所述定子具有在所述动子的移动方 向上长的两个板状部，该两个板状部磁耦合并对置，在该两个板状部之间配置有所述动子， 在所述板状部，分别沿着所述移动方向并排设置有不从所述板状部突出的多个磁体部。 在本专利技术中，动子，在线圈内部配置有沿着移动方向交替连结的多个磁铁和电枢 铁心。磁铁仅用于动子，因此，即使当直线电机全长长时，使用的磁铁量也是固定的，不会增 力口，能够降低成本。在构成定子的板状部，并排设置有不从所述板状部突出的多个磁体部， 由此，能够使定子的厚度薄。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述多个磁体部隔着空隙以等间隔并排设置。 在本专利技术中，多个磁体部隔着空隙以等间隔并排设置，不必像现有技术那样形成 使定子的板状部的厚度变化的齿部，因此，能够将定子形成得薄。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述空隙是贯通所述板状部且呈长方体状的贯通 孔。 在本专利技术中，从板状部除去成为空隙的部分使之贯穿地进行加工，因此能够将定 子形成得薄。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述磁体部形成为梳齿状。 在本专利技术中，磁体部形成为梳齿状，因此，能够将定子形成得薄且轻。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述两个板状部的一者的磁体部与另一者的磁体 部的至少一部分沿着所述动子的移动方向交错。 在本专利技术中，两个板状部的一者的磁体部与另一者的磁体部交错，因此，能够增大 直线电机产生的推力。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述磁体部和所述空隙的分界面为平面，该平面 的面法线向量与表示所述移动方向的向量平行。 在本专利技术中，该平面的面法线向量与表示所述移动方向的向量平行，因此，能够增 大直线电机产生的推力。 本专利技术的直线电机的特征在于：所述磁体部和所述空隙的分界面为平面，包含该 平面的面法线向量和表示所述移动方向的向量的平面与所述板状部平行，所述面法线向量 不与表示所述移动方向的向量平行。 在本专利技术中，包含磁体部和空隙的分界面的面法线向量和表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直线电机，其包括动子和作为磁体的定子，所述直线电机的特征在于：所述动子，在线圈内部配置有沿着移动方向交替连结的多个磁铁和电枢铁心，隔着电枢铁心相邻的磁铁在彼此相反的方向被磁化，所述定子具有在所述动子的移动方向上长的两个板状部，该两个板状部磁耦合并对置，并且，在该两个板状部的对置的面上，分别隔着规定间隔排列有棒状并且大致长方体状的作为磁体的齿部，所述动子在所述对置的两个板状部之间沿着所述齿部的排列方向移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三田正裕，增泽正宏，川上诚，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP