【技术实现步骤摘要】
吸附式硅片涂布旋转台
本专利技术涉及硅片涂布设备,具体地说是一种吸附式硅片涂布旋转台。
技术介绍
目前,硅片加工涂布工艺中涂布旋转设备主要有两种,一种是夹持式,它设置有夹持装置,可以将硅片夹持在台面上;另一种是吸附式,它包括台面、转轴、马达、真空泵和开关,台面设置在转轴的顶端,在转轴的中心轴向设置一通孔,真空泵的吸气端连接到转轴的中心通孔上,马达用于驱动转轴旋转,台面为圆形平面,台面中心设置有与转轴上的通孔相同的通孔。吸附式设备在使用时,将硅片放在台面上,按下开关,马达和真空泵同时工作,硅片被吸附在台面上,开始转动,操作人员用手拿着沾有涂液的毛刷对硅片进行涂层。但是,由于吸附式设备的台面上没有卡位装置,而且台面的直径小于硅片直径,因此,操作人员很难将硅片放在与台面同心的位置,如果硅片与台面圆心偏离较大,不仅不方便涂布,而且会造成涂布不均。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点,本专利技术的目的在于提供一种放置硅片方便,保证硅片与台面同心的吸附式硅片涂布旋转台。为了解决上述问题,本专利技术采用以下技术方案:一种吸附式硅片涂布旋转台,包括台面,其特征在于,在所述台面上设置有与其同心的,且呈阶梯状径向排列的圆环台,在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口。进一步的,在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板,所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接,在所述挡板上设置有缺口。优选的,所述开口包括上下左右对称设置的四个。本专利技术的有益效果是:它通过在台面上设置圆环台,解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题,在台面边缘设置开口方便硅片放取;本专利技术 ...
【技术保护点】
一种吸附式硅片涂布旋转台,包括台面,其特征在于,在所述台面上设置有与其同心的,且呈阶梯状径向排列的圆环台,在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口。
【技术特征摘要】
1.一种吸附式硅片涂布旋转台,包括台面,其特征在于,在所述台面上设置有与其同心的,且呈阶梯状径向排列的圆环台,在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口;在所述开口的末端设置有与最内侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:许玉雷,
申请(专利权)人:济南晶博电子有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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