夹持式硅片涂布旋转机制造技术
【技术实现步骤摘要】
夹持式硅片涂布旋转机
本专利技术涉及一种硅片涂布设备，具体的说是一种夹持式硅片涂布旋转机。
技术介绍
硅片加工工艺中，在硅片放入高温扩散炉中扩散时需要在硅片表面涂金水，现在的涂布设备都是采用真空泵将硅片吸附在转盘上，然后用毛刷在硅片上涂布，由于转盘上没有卡位装置，硅片放在转盘上旋转时会偏心，不仅不方便涂布，而且会造成涂布不均。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本专利技术的目的在于提供一种操作方便，硅片不会偏心的夹持式硅片涂布旋转机。为了解决上述问题，本专利技术采用以下技术方案：一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。进一步的，所述踏板包括末端铰接在一起的上板和下板，在所述上板和下板之间设置一扭簧；所述拉绳分别固定在上板的前端两侧。进一步的，在所述夹板的上端设置有阶梯状凸台。本专利技术的有益效果是：它通过夹板与推板的配合将硅片夹住，使硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明：图1为本专利技术的整体结构示意图；图2为本专利技...
【技术保护点】
一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。
【技术特征摘要】
1.一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与...
【专利技术属性】
技术研发人员：马汝朝，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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