MEMS器件以及具有投影功能的电子设备制造技术

阅读:66 留言:0更新日期:2014-10-08 09:20
在MEMS器件(1)中,第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,来使光学部件(10)倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS器件以及具有投影功能的电子设备
本专利技术涉及MEMS器件以及具有投影功能的电子设备,特别是涉及具有用于使光学部件倾斜的驱动部的MEMS器件以及配置有包含该MEMS器件的激光扫描部的具有投影功能的电子设备。
技术介绍
以往,公知有具有用于使光学部件倾斜的驱动部的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems:微机电系统)器件。例如,公开在日本特开2010-148265号公报中。在日本特开2010-148265号公报中公开有光学反射元件(MEMS器件),该光学反射元件具有:反射镜部;弯曲(meander)形振子,以夹入反射镜部的方式设有一对且一端与反射镜部连接;框状的支承体,连接各个弯曲形振子的另一端。该弯曲形振子包含通过进行规定的驱动控制而各自变形为规定形状的多个驱动元件。此外,多个驱动元件被分为统一进行驱动控制的第一系统;以及统一进行与第一系统不同的驱动控制的第二系统。这里,在日本特开2010-148265号公报的弯曲形振子中,在第一系统和第二系统各自的驱动元件组,进行成为彼此相反的驱动状态的驱动控制。而且,通过由弯曲形振子蓄积各系统的驱动元件的变形,可使反射镜部围绕规定的旋转轴线共振摆动。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2010-148265号公报
技术实现思路
但是,在日本特开2010-148265号公报的光学反射元件中,由于在第一系统以及第二系统中分别进行统一的驱动控制,所以在第一系统内的驱动元件彼此之间不能进行相互不同的驱动控制,并且在第二系统内的驱动元件彼此之间不能进行相互不同的驱动控制。即,存在以下问题:由于仅能够使弯曲形振子蓄积沿所决定的一个方向的位移,所以仅能使反射镜部围绕基于振动板的一个方向的位移的一个轴的旋转轴线进行倾斜。本专利技术是为解决上述问题而提出的,本专利技术的目的之一在于提供一种能使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜的MEMS器件。本专利技术的第一局面的MEMS器件,具有:光学部件,驱动部,其包含驱动单元,用于使光学部件倾斜,驱动单元具有第一驱动部、第二驱动部和第一连接部,第一驱动部以及第二驱动部在第一方向上延伸并且沿与第一方向大致垂直的第二方向配置,第一连接部(60)连接第一驱动部和第二驱动部;第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方向的另一侧的第二驱动部分,第二驱动部被分割成第一方向的一侧的第四驱动部分和经由第一连接部与第二驱动部分连接的第一方向的另一侧的第三驱动部分(51),第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分相互独立地被驱动控制,通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,使光学部件倾斜。在本专利技术的第一局面的MEMS器件中,如上所述,第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方向的另一侧的第二驱动部分,第二驱动部被分割成第一方向的另一侧的第三驱动部分和第一方向的一侧的第四驱动部分,通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,来使光学部件倾斜,由此,由于能够对能进行不同的驱动控制的第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分的不同驱动状态进行组合,所以能使第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态不同。由此,与第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态相同的情况不同,不仅能够使光学部件围绕1个轴的旋转轴线倾斜,还能使光学部件围绕其以外的旋转轴线倾斜。其结果,能够使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜。在本专利技术的第一局面的MEMS器件中,优选通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜,第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在第一方向以及第二方向上延伸,第一方向以及第二方向在同一平面内大致相互垂直。如果这样构成,则能够使用于围绕第一旋转轴倾斜的驱动控制和用于围绕第二旋转轴倾斜的驱动控制相互独立,并且能够对围绕第一旋转轴的倾斜和围绕第二旋转轴线的倾斜进行组合,容易使光学部件在2个轴方向上倾斜。此时,优选通过对第一驱动部分和第二驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对第三驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,来使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。如果这样构成,与使第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比,能够将驱动控制的系统集约为两个,相应地能够在简单的驱动控制下使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。在使光学部件在2个轴方向上倾斜的结构中,优选通过对第一驱动部分和第三驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对第二驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜。如果这样构成,则与使第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比,能够将驱动控制的系统集约为两个,相应地,能够在简单的驱动控制下使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜。在使光学部件在上述2轴方向上倾斜的结构中,优选通过对第一驱动部分和第二驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对第三驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜,通过对第一驱动部分和第三驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对第二驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜,在第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分中,通过组合围绕第一旋转轴的驱动控制和围绕第二旋转轴的驱动控制,使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴以及第二旋转轴倾斜。如果是这样构成,则能使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜。在上述第一局面的MEMS器件中,优选第一驱动部的第一驱动部分和第二驱动部分在第一驱动部的第一方向的中央部附近被分割,第二驱动部的第三驱动部分和第四驱动部分在第二驱动部的第一方向的中央部附近被分割。如果这样构成,则能以第一驱动部以及第二驱动部的中央部附近为边界使驱动状态不同,所以与在离开中央部的位置上分割第一驱动部以及第二驱动部的情况相比,能更稳定地使第一驱动部以及第二驱动部进行驱动。由此,能可靠地控制光学部件的倾斜。此时,优选第一驱动部的第一驱动部分以及第二驱动部分以在第一方向上具有大致相同的长度的方式形成,第二驱动部的第三驱动部分以及第四驱动部分以在第一方向上具有大致相同的长度的方式形成。如果这样构成,则能将第一驱动部分的驱动特性和第二驱动部分的驱动特性设为大致相同,并且能够将第三驱动部分的驱动特性和第四驱动部分的驱动特性设为大致相同,所以能进一步稳定地使第一驱动部以及第二驱动部进行驱动。由此,能可靠地控制光学部件的倾斜。在上述第一局面的MEMS器件中,优选第一驱动部的第一驱动部分和第二驱动部分以在第一方向上隔开第一距离的状态形成,第二驱动部的第三驱动部分和第四驱动部分以在第一方向上隔开第二距离的状态形成,第一距离以及第二距离分别小于第一驱动部在第二方向上的宽度以及第二驱动部在第二方向上的宽度小。如果这样构成,则能在第一驱动部中充分确保第一驱动部分和第二驱本文档来自技高网...
MEMS器件以及具有投影功能的电子设备

【技术保护点】
一种MEMS器件(1),其特征在于,具有:光学部件(10),驱动部(21、22),其包含驱动单元(30),用于使所述光学部件倾斜,所述驱动单元(30)具有第一驱动部(40)、第二驱动部(50)和第一连接部(60),所述第一驱动部(40)以及第二驱动部(50)在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置,所述第一连接部(60)连接所述第一驱动部和所述第二驱动部;所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第一驱动部分(41)和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分(42),所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分(52)和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分(51),所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分相互独立地被驱动控制,通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,使所述光学部件倾斜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.02.03 JP 2012-0218611.一种MEMS器件,其特征在于,具有:光学部件,以及在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置的第一驱动部和第二驱动部,所述第一驱动部和所述第二驱动部在所述第一方向上分割为多个,通过对所述第一驱动部和所述第二驱动部的被分割的各自相互独立地进行驱动控制,使所述光学部件倾斜;还具有连接所述第一驱动部和所述第二驱动部的第一连接部,所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第一驱动部分和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分,所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分,通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制,使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜,所述第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在所述第一方向以及所述第二方向上延伸,所述第一方向以及所述第二方向在同一平面内相互大致垂直;通过对所述第一驱动部分和所述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对所述第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,来使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜,或者通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对所述第二驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜。2.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,通过对所述第一驱动部分和所述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对所述第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜,通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制,并对所述第二驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制,使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜,在所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分中,通过组合围绕所述第一旋转轴的驱动控制和围绕所述第二旋转轴的驱动控制,使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕所述第一旋转轴以及所述第二旋转轴倾斜。3.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,所述第一驱动部的所述第一驱动部分和所述第二驱动部分在所述第一驱动部的所述第一方向的中央部附近被分割,所述第二驱动部的所述第三驱动部分和所述第四驱动部分在所述第二驱动部的所述第一方向的中央部附近被分割。4.根据权利要求3所述的MEMS器件,其特征在于,所述第一驱动部的所述第一驱动部分以及所述第二驱动部分以在所述第一方向上具有大致相同长度的方式形成,所述第二驱动部的所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分以在所述第一方向上具有大致相同长度的方式形成。5.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,所述第一驱动部的所述第一驱动部分和所述第二驱动部分以在所述第一方向上隔开第一距离的状态形成,所述第二驱动部的所述第三驱动部分和所述第四驱动部分以在所述第一方向上隔开第二距离的状态形成,所述第一距离以及所述第二距离分别小于所述第一驱动部在所述第二方向上的宽度以及所述第二驱动部在所述第二方向上的宽度。6.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,所述第一驱动部和所述第二驱动部以夹入所述光学部件的方式设置有一对,一对所述第一驱动部和一对所述第二驱动部分别形成为,以所述光学部件的大致中央为对称中心大致点对称。7.根据权利要求6所述的MEMS器件,其特征在于,对处于大致点对称的关系的一对所述第一驱动部和一对所述第二驱动部进行相互不同的驱动控制。8.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,具有所述第一驱动部、所述第二驱动部及所述第一连接部的驱动单元沿所述第二方向配置有多个,由多个所述驱动单元...

【专利技术属性】
技术研发人员:村山学久后耕一井上尚树藤井仁
申请(专利权)人:船井电机株式会社
类型:发明
编号:201380007932
国别省市:日本;JP

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