探针及电学特性测试系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种探针，包括主体和探针前端，主体与探针前端相连，探针前端设置至少两个探针爪，探针爪的直径范围为5μm～30μm，探针爪之间的最大间距小于300μm。上述探针的探针前端设置至少两个探针爪，探针扎到测试电极上时，多根探针爪增加了探针一次扎针成功率，从而有利于节省测试工时，提高测试设备效率。

【技术实现步骤摘要】
探针及电学特性测试系统
本技术涉及信号检测领域，特别是涉及探针及使用上述探针的电学特性测试系统。
技术介绍
TEG(Test Electric Group，电学特性测量设备)测试中需要使用探针，传统的探针结构如图1所示，探针100包括主体110，主体110 一端只设置一个探针爪120，探针爪120的直径较小，约ΙΟμπι左右。将探针扎到测试电极上时，由于扎针的精度有限，时常会出现一次不能准确扎针到所需要的测试电极上的情况，因而需要重复扎针，导致扎针成功率低，影响测试工时，降低测试设备的效率。 目前业界已有的解决方法主要有以下两种: 第一种:在探针上方加装摄像装置，扎针后拍照，手动左右上下校准，保证扎针的准确性。 第二种:同样在探针上方加装摄像装置，然后进行预扎针，此时探针和测试电极距离较近，但不接触，拍照后进行分析，对探针位置进行自动补偿，保证扎针成功。 以上两种方法不仅增加了设备成本，而且增加了测试工时，降低测试设备的效率。
技术实现思路
基于此，有必要针对扎针工时长、测试设备效率低的问题，提供一种探针及使用上述探针的电学特性测试系统。 —种探针,包括主体和探针前端,所述主体与所述探针前端相连,所述探针前端设置至少两个探针爪，所述探针爪的直径范围为5 μ m~30 μ m，所述探针爪之间的最大间距小于300 μ m。 在其中一个实施例中，所述至少两个探针爪呈伞状分布。 在其中一个实施例中，所述探针爪的直径为10 μ m，所述探针爪之间的最大间隔为80 μ m0 一种电学特性测试系统，包括测试模块和上述的探针，所述测试模块包括至少两个测试电极，所述至少两个探针爪之间的最大间距小于相邻两个所述测试电极的最小间距。 在其中一个实施例中，相邻两个所述测试电极的间距为100 μ π!~300 μ m。 在其中一个实施例中，所述测试电极的形状为矩形，所述测试电极的长边长为300 μ m，所述测试电极的宽边长为100μπι。 上述探针的探针前端设置至少两个探针爪，探针扎到测试电极上时，多根探针爪增加了探针一次扎针成功率，从而有利于节省测试工时，提高测试设备效率。 【附图说明】 图1为传统的探针结构图； 图2为本技术实施例的探针结构图； 图3为测试模块的分布示意图。 图中:探针100，主体110，探针爪120，探针200，主体210，探针前端220，第一探针爪222，第二探针爪224，第三探针爪226，测试模块300，测试电极310。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术的【具体实施方式】作进一步详细的说明。 TEG测试系统中，探针爪的直径范围设置一般为5 μ m?30 μ m,测试对象的测试电极一般呈矩形(如正方形)，其边长范围在100 μ m?300 μ m。相邻测试电极之间的间隔范围的大小与测试电极大小一样，即相邻测试电极之间的间隔范围为100 μ m?300 μ m。 传统的探针，只设有一个探针爪，由于探针爪的直径均比较小，通常由于扎针的精度有限，时常会出现一次不能准确扎针到所需要的测试电极上的情况。 为此，如图2所示，本技术提出一种探针200，其包括主体210和探针前端220，主体210与探针前端220相连，探针前端220设置第一探针爪222、第二探针爪224和第三探针爪226，探针前端220设置有三个探针爪，在扎针时，测试电极有可能同三个探针爪中的任一个接触，这样就提高了扎针的成功率，需指出，此处是以三个探针爪为例进行说明，但探针爪的数量不限于三个，其数量大于一个即可，即至少有两个。 TEG测试中测试电极的边长范围在100 μ m?300 μ m，相邻测试电极之间的间隔范围为100 μ m?300 μ m。为了避免探针200的多个探针爪分别扎到两个测试电极上造成相邻测试电极短路，本技术中，多个探针爪之间的最大间隔设置为小于相邻测试电极之间的最小间隔。这样扎针时，不会出现同一个探针的两个探针爪分别与不同的测试电极接触的情况。多个探针爪呈伞状分布，当然不限于此分布方式，只要保证不会出现同一个探针的两个探针爪分别与不同的测试电极接触的情况即可。 请参考图2，本技术中，第一探针爪222、第二探针爪224和第三探针爪226的直径均为10 μ m。第一探针爪222与第二探针爪224的间距D为80 μ m，大于第一探针爪222与第三探针爪226的间距和第二探针爪224与第三探针爪226的间距。即探针200中，多个探针爪之间的最大间距为80 μ m。 如图3所示，测试模块300包括六个测试电极310，测试电极310为矩形，长边长为300 μ m，宽边长为100 μ m，均匀排列。相邻两个测试电极310的宽边间距dl为300 μ m，长边间距d2为100 μ m。 进行TEG测试时，需要保证每个测试电极310上均有探针爪扎到，将探针200扎到测试模块300上，探针200包括三个探针爪，扎探针200的过程中增大了扎中的几率，即提高了扎针的成功率。同时由于第一探针爪222与第二探针爪224的间距D为80 μ m，小于相邻两个测试电极310的宽边间距dl (300 μ m)和长边间距d2 (100 μ m)，避免了单根探针200扎到相邻两个测试电极310上造成短路的问题，扎探针200时测试电极310之间不会相互干扰，从而有利于节省测试工时，提高测试设备效率。 以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针，包括主体和探针前端，其特征在于，所述主体与所述探针前端相连，所述探针前端设置至少两个探针爪，所述探针爪的直径范围为5μm～30μm，所述探针爪之间的最大间距小于300μm。

【技术特征摘要】
1.一种探针，包括主体和探针前端，其特征在于，所述主体与所述探针前端相连，所述探针前端设置至少两个探针爪，所述探针爪的直径范围为5 μ m~30 μ m，所述探针爪之间的最大间距小于300 μ m。2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，所述至少两个探针爪呈伞状分布。3.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，所述探针爪的直径为10μ m，所述探针爪之间的最大间隔为80 μ m。4.一种电学特性测试系统,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：向长江，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32