【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】钝化膜形成用组合物、带钝化膜的半导体基板及其制造方法、以及太阳能电池元件及其制造方法
本专利技术涉及钝化膜形成用组合物、带钝化膜的半导体基板及其制造方法、以及太阳能电池元件及其制造方法。
技术介绍
对以往的硅太阳能电池元件的制造工序进行说明。 首先,为了促进陷光效应而实现高效率化,准备在受光面侧形成有纹理结构的P型硅基板,接着,在氧氯化磷(P0C13)、氮气、氧气的混合气体气氛中在800°C~900°C下进行数十分钟的处理,均匀地形成η型扩散层。在该以往的方法中,由于使用混合气体进行磷的扩散,因此不仅在受光面的表面形成η型扩散层,而且在侧面、背面也形成η型扩散层。因此,为了除去侧面的η型扩散层而进行侧蚀刻。此外,背面的η型扩散层需要变换为P+型扩散层,并且在整个背面涂布铝糊剂并对其进行烧结而形成铝电极,由此使η型扩散层成为P+型扩散层,同时得到欧姆接触。 但是,由铝糊剂形成的铝电极的电导率低。因此,为了降低薄膜电阻,通常形成于整个背面的铝电极在烧结后必须具有10 μ m~20 μ m左右的厚度。进而,由于硅与铝的热膨胀率大不相同,因此,在烧结和冷却的过程中,使硅基板中产生较大的内部应力,从而造成晶界损伤(damage)、结晶缺陷增长及翅曲。 为了解决该问题,有减少铝糊剂的涂布量而使背面电极层变薄的方法。但是,如果减少铝糊剂的涂布量,则从P型硅半导体基板的表面扩散至内部的铝量变得不充分。结果:无法实现所需的BSF (Back Surface Field,背场)效应(因p+型扩散层的存在而使生成载流子的收集效率提高的效应),因此产 ...
【技术保护点】
一种钝化膜形成用组合物,其包含下述通式(I)所示的有机铝化合物和树脂,式中,R1分别独立地表示碳原子数1~8的烷基,n表示0~3的整数,X2及X3分别独立地表示氧原子或亚甲基,R2、R3及R4分别独立地表示氢原子或碳原子数1~8的烷基。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.01.06 JP 2012-0016411.一种钝化膜形成用组合物,其包含下述通式(I)所示的有机铝化合物和树脂,式中,R1分别独立地表示碳原子数I~8的烷基,η表示O~3的整数,X2及X3分别独立地表示氧原子或亚甲基,R2> R3及R4分别独立地表示氢原子或碳原子数I~8的烷基。2.根据权利要求1所述的钝化膜形成用组合物,其中,在所述通式(I)中,R1分别独立地为碳原子数I~4的烷基。3.根据权利要求1或2所述的钝化膜形成用组合物,其中,在所述通式(I)中,η为I~3的整数,R4分别独立地为氢原子或碳原子数I~4的烷基。4.根据权利要求1~3中任一项所述的钝化膜形成用组合物,其中,所述树脂的含有率为0.1质量%~30质量%。5.一种带钝化膜的半导体基板,其具有半导体基板和设置于所述半导体基板上的整面或一部分的钝化膜,所述钝化膜为权利要求1~4中任...
【专利技术属性】
技术研发人员:田中彻,织田明博,野尻刚,吉田诚人,
申请(专利权)人:日立化成株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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