光扫描仪的制造方法的特征在于，具有：将包括成为基部的基部区域、成为轴部的轴部区域、以及成为支承部的支承部区域的第1基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于上述凹部的内侧的第1部分、以及位于上述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合上述基部区域与上述第1部分、以及上述支承部区域与上述第2部分的接合工序；对上述第1基板进行图案化，形成上述基部、上述轴部以及上述支承部的图案化工序；以及从另一面侧切削上述第2基板，分离上述第1部分与上述第2部分的薄壁化工序。
【技术实现步骤摘要】
光扫描仪的制造方法、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
本专利技术涉及光扫描仪的制造方法、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。
技术介绍
例如，作为在屏幕显示图像的图像显示装置，已知具有光源、和使来自光源的光扫描的光扫描仪的构成(例如，参照专利文献I)。专利文献I所记载的图像显示装置具有三个激光光源、合成来自三个激光光源的激光的合成部、以及使通过合成部合成的激光扫描的光扫描仪。 另外，光扫描仪具有:基体，其具有呈框状的支承部、设置于支承部的内侧，且具有光反射部的可动板以及连接支承部和可动板的一对连接部；以及遮光部件，其以覆盖基板的方式设置。另外，在遮光部件设有用于向光反射部射入激光的射入用窗部、和用于射出在光反射部反射的激光的射出用窗部。在专利文献I中，通过设置这样的遮光部件，使光扫描仪的激光的扫描成为可能，并且减少杂散光的产生。 然而，在专利文献I所记载的光扫描仪中，以不同的部件构成基体(特别是可动板)和遮光部件，所以存在基体与遮光部件的对准偏移的问题。若对准偏移，则激光的一部分不能够通过射入用窗部或者射出用窗部、杂散光防止效果降低。 专利文献1:日本特开平2009 - 216938号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够以高精度形成能够减少杂散光的光扫描仪的光扫描仪的制造方法、通过该制造方法形成且能够减少杂散光的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。 这样的目的通过下述的应用例实现。 本专利技术的光扫描仪的制造方法的特征在于，具有:将包括成为基部的基部区域、成为以能够摆动的方式支承上述基部的轴部的轴部区域、以及成为经由上述轴部支承上述基部的支承部的支承部区域的第I基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于上述凹部的内侧的第I部分、以及位于上述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合上述基部区域与上述第I部分、以及上述支承部区域与上述第2部分的接合工序； 对上述第I基板进行图案化，形成上述基部、上述轴部以及上述支承部的图案化工序；以及 将上述第2基板从另一面侧切削，使上述凹部向上述另一面侧贯通，从而分离上述第I部分与上述第2部分的薄壁化工序。 由此，能够以良好精度形成能够减少杂散光的光扫描仪。 在本专利技术的光扫描仪的制造方法中，优选在上述薄壁化工序之后，还具有在上述第I部分的与上述第I基板相反的一侧的面形成具有反射性的光反射部的光反射部形成工序。 由此，通过光反射部，能够高效地反射接受的光。 在本专利技术的光扫描仪的制造方法中，优选在上述薄壁化工序之前，具有在上述第I基板与上述第2基板的间隙中填充密封材料的填充工序， 在上述薄壁化工序中，通过湿式蚀刻切削上述第2基板。 由此，能够保护第I基板免受蚀刻液的损伤。 在本专利技术的光扫描仪的制造方法中,优选在上述第2部分的表面设有降低光反射率的光反射降低部。 由此，能够简单地赋予第2部分光反射降低功能。 在本专利技术的光扫描仪的制造方法中，优选上述凹部的内面呈包括弯曲面的凹状。 由此，在分离的状态的第I部分以及第2部分不形成与主面正交的侧面，所以能够更有效地减少杂散光的产生。 在本专利技术的光扫描仪的制造方法中，优选上述接合工序通过阳极接合来接合上述第I基板与上述第2基板。 由此，能够比较简单并且高强度地接合第I基板与第2基板。 本专利技术的光扫描仪的特征在于，具有:基板，其具有基部、以能够摆动的方式支承上述基部的轴部、以及经由上述轴部支承上述基部的支承部； 隔离件，其支承于上述基部； 固定部，其固定于上述支承部，以包围上述隔离件的外周的至少一部分的方式设置，且由与上述隔离件相同的材料构成；以及 光反射降低部，其设置于上述固定部的上述基板侧的面，并降低光反射率。 由此，得到能够减少杂散光的光扫描仪。 在本专利技术的光扫描仪中，优选在上述隔离件的与上述基板相反的面侧设有具有光反射性的光反射部。 由此，通过光反射部，能够高效地反射接受的光。 在本专利技术的光扫描仪中，优选上述隔离件和上述固定部的与上述基板相反的一侧的面彼此位于同一面上。 由此，能够不阻碍光反射部的光的扫描，而更有效地减少杂散光的产生。 在本专利技术的光扫描仪中，优选在俯视上述基板时，上述固定部与上述轴部的至少一部分重叠， 在上述轴部的与上述固定部重叠的区域设有检测上述轴部的扭转的扭转检测元件。 由此，能够防止或者减少向检测元件的光的射入，并进一步以良好精度进行检测元件的扭转检测。 本专利技术的图像显示装置的特征在于，具有:基板，其具有基部、以能够摆动的方式支承上述基部的轴部、以及经由上述轴部支承上述基部的支承部； 隔离件，其支承于上述基部，且具有反射光的光反射部； 固定部，其固定于上述支承部，以包围上述隔离件的外周的至少一部分的方式设置，且由与上述隔离件相同的材料构成；以及 光反射降低部，其设置于上述固定部的上述基板侧的面，并降低光反射率。 由此，得到能够减少杂散光，并能够发挥优越的显示特性的图像显示装置。 本专利技术的头戴式显示器的特征在于，其为具备安装于观察者的头部的框架以及设置于上述框架的光扫描仪的头戴式显示器， 上述光扫描仪具有:基板，其具有基部、以能够摆动的方式支承上述基部的轴部、以及经由上述轴部支承上述基部的支承部； 隔离件，其支承于上述基部，且具有反射光的光反射部； 固定部，其固定于上述支承部，以包围上述隔离件的外周的至少一部分的方式设置，且由与上述隔离件相同的材料构成；以及 光反射降低部，其设置于上述固定部的上述基板侧的面，并降低光反射率。 由此，得到能够减少杂散光，并能够发挥优越的显示特性的头戴式显示器。 【附图说明】 图1是表示本专利技术的图像显示装置的第I实施方式的构成图。 图2是图1所示的图像显示装置具备的光扫描仪的俯视图。 图3是从图2所示的光扫描仪省略了固定部的图示的俯视图。 图4是从图3所示的光扫描仪省略了隔离件的图示的俯视图。 图5是图2中的A — A线剖视图。 图6是表示图4所示的光扫描仪具有的检测元件的俯视图。 图7是图5所示的光扫描仪具有的电压施加单元的框图。 图8是表示图7所示的第I电压产生部以及第2电压产生部中的产生电压的一个例子的图。 图9是本专利技术的第2实施方式所涉及的图像显示装置具备的光扫描仪的俯视图。 图10是图9中的B — B线剖视图。 图11是用于说明图2所示的光扫描仪的制造方法的图。 图12是用于说明图2所示的光扫描仪的制造方法的图。 图13是用于说明图2所示的光扫描仪的制造方法的图。 图14是用于说明图2所示的光扫描仪的制造方法的图。 图15是用于说明图2所示的光扫描仪的制造方法的图。 图16是表示应用了本专利技术的图像显示装置的平视显示器的立体图。 图17是表示本专利技术的头戴式显示器的立体图。 【具体实施方式】 以下，参照附图对光扫描仪的制造方法、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器的优选的实施方式进行说明。 1.图像显示装置 第I实施方式 首先，对本专利技术的图像显示装置的第I实施方式进行说明。 图1是表示本专利技术的图像显示装置的第I实施方式的构成图。图2是图1所示的图像显示本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光扫描仪的制造方法，其特征在于，具有：将包括成为基部的基部区域、成为以能够摆动的方式支承所述基部的轴部的轴部区域、以及成为经由所述轴部支承所述基部的支承部的支承部区域的第1基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于所述凹部的内侧的第1部分、以及位于所述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合所述基部区域与所述第1部分、以及所述支承部区域与所述第2部分的接合工序；对所述第1基板进行图案化，形成所述基部、所述轴部以及所述支承部的图案化工序；以及从另一面侧对所述第2基板进行切削，使所述凹部向所述另一面侧贯通，从而分离所述第1部分与所述第2部分的薄壁化工序。
【技术特征摘要】
2013.03.25 JP 2013-0623181.一种光扫描仪的制造方法，其特征在于，具有: 将包括成为基部的基部区域、成为以能够摆动的方式支承所述基部的轴部的轴部区域、以及成为经由所述轴部支承所述基部的支承部的支承部区域的第I基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于所述凹部的内侧的第I部分、以及位于所述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合所述基部区域与所述第I部分、以及所述支承部区域与所述第2部分的接合工序； 对所述第I基板进行图案化，形成所述基部、所述轴部以及所述支承部的图案化工序；以及 从另一面侧对所述第2基板进行切削，使所述凹部向所述另一面侧贯通，从而分离所述第I部分与所述第2部分的薄壁化工序。2.根据权利要求1所述的光扫描仪的制造方法，其特征在于， 在所述薄壁化工序之后，还具有在所述第I部分的与所述第I基板相反的一侧的面形成具有反射性的光反射部的光反射部形成工序。3.根据权利要求1或者2所述的光扫描仪的制造方法，其特征在于， 在所述薄壁化工序之前，具有在所述第I基板与所述第2基板的间隙中填充密封材料的填充工序， 在所述薄壁化工序中， 通过湿式蚀刻切削所述第2基板。4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的光扫描仪的制造方法,其特征在于， 在所述第2部分的表面设置有降低光反射率的光反射降低部。5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的光扫描仪的制造方法,其特征在于， 所述凹部的内面呈包含弯曲面的凹状。6.根据权利要求1~5中的任意一项所述的光扫描仪的制造方法,其特征在于， 所述接合工序通过阳极接合来接合所述第I基板与所述第2基板。7.一种光扫描仪，其特征在于，具有: 基板，其具有基部、以能够摆动的方式支承所...
【专利技术属性】
技术研发人员：沟口安志，儿嶋长子，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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