【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于紫外探测的薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括连续堆叠在同一个衬底上成为一体的压电振荡堆和声波反射层；其中，压电振荡堆包括自下而上依次沉积的底电极、压电层和上电极；所述上电极的材质为具有紫外透射性且能够与压电层形成肖特基结的金属薄膜，便于紫外光线透过上电极照射在压电层上；所述声波反射层包括基片、基片上沉积的支撑层、压电振荡堆沉积在支撑层上；所述声波反射层为空气隙结构、或布拉格反射层结构、或背腔刻蚀结构；当声波反射层为背腔刻蚀结构，所述基片上设置有刻蚀形成的空气腔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡娜娜，董树荣，骆季奎，郭维，卞晓磊，
申请(专利权)人：江苏艾伦摩尔微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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