【技术实现步骤摘要】
磁预紧系统中低发热的永磁部件
本专利技术属于半导体光学光刻制造
，主要涉及工件台的磁预紧系统，具体涉及低发热的永磁部件。
技术介绍
现有光刻机设备中，工件台的气浮预紧多采用磁预紧的方式，即由固定在工件台上的电磁部件与固定在承台面上相对位置的永磁部件构成磁极对，通过在电磁部件上施加可控大小的电流，与永磁部件之间产生可控大小的磁力，从而为工件台气浮施加预紧力。目前光刻设备中多采用导磁硅钢板作为永磁部件，但在工件台运动过程中，硅钢板内部形成的一圈圈闭合的电流线，即涡流，这些涡流使硅钢板发热，因此需要在硅钢板的下表面切割出凹槽，布置冷却管路，同时需要配置相应的冷却水循环系统。同时考虑工件台整个运动过程中始终需要预紧，一般采用在工件台行程范围内永磁部件覆盖整个承台面，因此作为永磁部件的硅钢板还需要具备如下性能:首先，作为工 件台气浮运动面，硅钢板的上表面也就是气浮面需要具有较高的局部或全局面型要求,增加了加工难度；其次，硅钢板作为磁预紧系统中的永磁部件，需要具有优良的导磁性能。这种结构的缺点一方面是硅钢的加工工序复杂，制造成本较高；另一方面需要配套冷却水循环系统，增加设备体积和安装维护的工作。因此，考虑上述等方面，需要开发一种发热小，成本低，安装维护方便的永磁部件。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是导磁硅钢板作为永磁部件在磁场中易形成涡流，发热量大，为了克服以上不足，提供了一种磁预紧系统中低发热的永磁部件。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是:所述磁预紧系统中低发热的永磁部件包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基...
【技术保护点】
一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基座和涂覆在硅钢片组上表面的涂层。
【技术特征摘要】
1.一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基座和涂覆在硅钢片组上表面的涂层。2.根据权利要求1所述一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，所述安装基座包括至少一个U型安装梁，安装梁包括两端立板和中间承载段，所述硅钢片组设置在中间承载段上。3.根据权利要求2所述一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，所述安装梁的底面设置有安装接口，用于将硅钢板组安装在光刻机框架上。4.根据权利要求1所述一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，所述永磁部件还包括硅钢片组的紧固机构，所述紧固机构使若干硅钢片紧密叠加。5.根据权利要求4所述一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，所述紧固机构包括至少一个芯轴和设置在芯轴两端的压紧螺母，所述硅钢片组中的每个硅钢片上设有芯轴相应数量的轴孔，芯轴穿过每...
【专利技术属性】
技术研发人员：时燕，王天明，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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