【技术实现步骤摘要】
漏晶检测装置
本技术属于半导体芯片封装设备领域,具体涉及一种自动粘片机的漏晶检测>J-U ρ?α装直。
技术介绍
在半导体封装工序中,首先要将半导体芯片粘结在一个框架上,这个过程一般通过自动粘片机来完成。当拾取芯片时,自动粘片机上的吸嘴接通真空,拾取芯片,然后运动到框架上方,将芯片粘贴到框架上,接着再进行下一次的拾取和粘贴动作,周而复始。在吸嘴拾取和粘贴芯片过程中,吸嘴是否确实拾取了芯片以及确实粘贴了芯片,是通过检测吸嘴的透光性来判别的。在吸嘴上方安装了一个光敏传感器,在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方安装了一个漏晶检测灯。当吸嘴拾取芯片,经过漏晶检测灯上方时,如果吸嘴确实拾 取了芯片,则芯片挡住了吸嘴口,漏晶检测灯的光线将不能穿过吸嘴,吸嘴上方的光敏传感器没有反应,则判断吸嘴确实拾取了芯片;当吸嘴粘贴完芯片后,返回经过漏晶检测灯上方时,如果吸嘴确实粘贴了芯片,则吸嘴口没有芯片,漏晶检测灯的光线将穿过吸嘴,吸嘴上方的光敏传感器于是产生反应,由此判断吸嘴完成了粘贴芯片。这种漏晶检测装置存在的缺点是检测的灵敏度不高,漏晶检测灯的安装和调整不够方便。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足,提出一种漏晶检测装置,解决了检测灵敏度不高,漏晶检测灯的安装和调整不够方便的问题,具有结构简单、检测灵敏度高、易于调整、工作可靠、成本低的优点。为了解决上述技术问题,本技术采用了下述技术方案:一种漏晶检测装置,包括光敏传感器、漏晶检测灯,光敏传感器固定安装在吸嘴的上方,还包括反光平面镜和光纤,反光平面镜设置在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方,漏晶检测灯的光束通过所述 ...
【技术保护点】
一种漏晶检测装置,包括光敏传感器、漏晶检测灯,光敏传感器固定安装在吸嘴的上方,其特征是,还包括反光平面镜和光纤,所述反光平面镜设置在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方,所述漏晶检测灯的光束通过所述光纤投射到反光平面镜上。
【技术特征摘要】
1.一种漏晶检测装置,包括光敏传感器、漏晶检测灯,光敏传感器固定安装在吸嘴的上方,其特征是,还包括反光平面镜和光纤,所述反光平面镜设置在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方,所述漏晶检测灯的光束通过所述光纤投射到反光平面镜上。2.根据权利要求1所述的漏晶检测装置,其特征是,所述光纤...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚剑锋,徐周,肖峰,周名旷,
申请(专利权)人:佛山市蓝箭电子股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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