喷墨打印头和制造该喷墨打印头的方法技术

本发明专利技术提供了一种喷墨打印头和一种制造所述喷墨打印头的方法。所述喷墨打印头包括：基体，在其上形成有多个用于加热墨水以便产生墨水气泡的加热器；形成在所述基体上的包括多个墨水腔室的腔室层；以及形成在所述腔室层上的包括多个喷嘴的喷嘴层。另外，所述腔室层和所述喷嘴层中的至少一个由酰亚胺硅树脂形成。

【技术实现步骤摘要】

此总体专利技术构思涉及一种喷墨打印头，更具体的说，涉及一种具有用改 进的材料制成的腔室层和喷嘴层的热喷墨打印头和制造该喷墨打印头的方 法。
技术介绍
喷墨打印头是用于通过喷射精细的墨水滴在打印介质所希望的位置形 成图像的装置。 一般的，有两种喷墨打印头，这两种喷墨打印头具有不同的 喷射墨水滴的机构。 一种是热喷墨打印头，其利用热源在墨水中产生气泡后 利用气泡膨胀力喷射墨水滴，而另一种是压电喷墨打印头，其利用施加到墨 水的压力喷射墨水滴，该压力是由压电材料的变形引起的。所述热喷墨打印头的喷墨机构将在下面更详细的描述。当脉冲电流在由 热阻元件形成的加热器上流动时，所述加热器产生热量，而因此邻近所述加热器的墨水被立刻加热到大约30(TC的温度。因此，所述墨水沸腾并产生气 泡，而所产生的气泡膨胀并且压迫填充到墨水腔室中的墨水。因此，所述喷 嘴附近的墨水被以液滴的形式通过喷嘴喷射出墨水腔室。所述热喷墨打印头包括在基体上连续堆叠腔室和喷嘴层的结构,加热器 形成在该基体上。所述腔室层包括多个墨水腔室，该墨水腔室填充有将被喷 射的墨水，而所述喷嘴层包括多个喷射墨水的喷嘴。根据传统工艺，所述腔 室层通过将干膜抗蚀剂堆叠在所述基体上并构图该堆叠的干膜抗蚀剂来形 成。此外，所述喷嘴层通过在所述腔室层上热压片状镍或聚酰酰亚胺而形成。 同时，最近也开发了通过利用感光环氧树脂经过单个过程制造所述腔室层和 喷嘴层的技术。
技术实现思路
此总体专利技术构思提供了 一种具有由改进的材料制成的腔室层和喷嘴层 的热喷墨打印头，以及制造所述喷墨打印头的方法。此总体专利技术构思的其它方面和效用将部分在下述说明中阐述，而部分将 根据所述描述是显而易见的，或者可以通过实施此总体专利技术构思认识到。本专利技术的上述和其它方面和效用可以通过提供一种喷墨打印头实现，所 述打印头包括基体，在该基体上形成有多个加热器以加热墨水以便产生墨水气泡；包括多个形成在所述基体上的墨水腔室的腔室层；和包括多个形成在 所述腔室层上的喷嘴的喷嘴层，其中至少所述腔室层和所述喷嘴层之一由酰 亚胺硅树脂制成。可以另外在所述基体和所述腔室层之间形成胶结层。所述胶结层可以用 酰亚胺硅树脂形成。所速腔室层的厚度可以为10到25pm。所述喷嘴层的厚度可以为10到 20(im。所述基体可以包括墨水供给孔，其贯穿所述基体以将墨水供给到所述墨 水腔室。隔离层、加热器、为加热器供给电流的电极、以及保护加热器和电极的 钝化层可以依次形成在所述基体上。保护所述加热器免受当气泡破裂时所产 生的气穴压力作用的抗气穴层可以另外形成在所述钝化层上。此总体专利技术构思的上述和其它效用也可以通过提供一种制造喷墨打印 头的方法实现，所述方法包括在基体上形成多个包括多个加热器的材料层； 在基体上形成包括多个墨水腔室的腔室层，其中多个材料层形成在所述基体 上；在所述腔室层上形成具有多个喷嘴的喷嘴层；以及在所述基体中形成用 于将墨水供给到所述墨水腔室的墨水供给孔，其中所述腔室层和所述喷嘴层 中的至少一个由酰亚胺硅树脂形成。所述方法还可以包括在形成所述腔室层之前在基体上形成胶结层，其中 多个材料层形成在所述基体上。所述胶结层可以用酰亚胺硅树脂形成。所述腔室层的形成可以包括在所述基体上施加液体酰亚胺硅树脂，其中 多个材料层形成在所述基体上；并使所施加的液体酰亚胺硅树脂干燥，构图 所干燥的酰亚胺硅树脂以形成墨水腔室；并热固化所构图的酰亚胺硅树脂。 所述液体酰亚胺硅树脂的粘度可以为大约800 - 1600厘泊。构图的酰亚胺硅 树脂可以在300。C或更低的温度热固化。所述方法还可以包括通过依次蚀刻所述钝化层和所述隔离层形成暴露 所述基体的上表面的沟槽，并在所述腔室层形成后形成填充所述沟槽和所述墨水腔室的牺牲层。所述方法还可以包括在形成所述牺牲层后平整所述牺牲 层和腔室层的上表面。所述喷嘴层的形成可以包括在所述牺牲层和所述腔室层上施加液体酰 亚胺硅树脂，使得所述液体酰亚胺硅树脂干燥，构图所干燥的酰亚胺硅树脂 以形成喷嘴，以及热固化所构图的酰亚胺硅树脂。所述墨水供给孔的形成可以包括蚀刻所述基体的下表面直到暴露出填 充到所述沟槽中的牺牲层，并去掉填充到所述墨水腔室和所述沟槽中的牺牲 层。此总体专利技术构思的上述和/或其它方面和效用也可以通过提供一种成像装置实现，所述成像装置包括供给打印介质的供给单元；在所述打印介质上 打印的打印单元，还包括喷墨打印头，该喷墨打印头具有基体，所述基体形 成有加热墨水以便产生墨水气泡的多个加热器；形成在所述基体上以限定多 个墨水腔室的腔室层；以及形成在所述腔室层上以限定多个喷嘴的喷嘴层， 其中所述腔室层和所述喷嘴层中的至少 一个由酰亚胺硅树脂形成，以及用于 输出所述打印介质的输出单元。此总体专利技术构思的上述和其它方面和效用也可以通过提供一种喷墨打 印头实现，所述喷墨打印头包括形成有多个加热器以加热墨水以便产生墨水 气泡的基体，形成在所述基体上以限定多个墨水腔室的腔室层，形成在所述 腔室层上以限定多个喷嘴的喷嘴层，以及形成在所述基体和所述腔室层之间 并由酰亚胺硅树脂形成的胶结层。此总体专利技术构思的上述和其它方面和效用也可以通过提供一种喷墨打 印头实现，所述喷墨打印头包括形成有多个加热器以加热墨水以便产生墨水 气泡的基体，形成在所述基体上并由第一酰亚胺硅树脂制成以限定多个墨水 腔室的腔室层，形成在所述腔室层上并由第二酰亚胺硅树脂制成以限定多个 喷嘴的喷嘴层，以及形成在所述基体和所述腔室层之间并由第三酰亚胺硅树 脂形成的胶结层。附图说明此总体专利技术构思的上述和/或其它方面和效用将在下面结合附图对实施 例的说明中变得显而易见和更容易理解。其中图1是示出根据此总体专利技术构思的实施例的热喷墨打印头的示意性平面图2是示出所述热喷墨打印头沿着图1的II - n，线截取的截面图； 图3到图8是示出制造图2中所示的根据此总体专利技术构思的实施例的喷 墨打印头的方法的简图；以及图9是示出根据此总体专利技术构思的实施例的成像装置的视图。具体实施例方式现在将对此总体专利技术构思的实施例做出详细说明，其实例在附图中示 出，其中相同的附图标记在整个附图中代表相同的部件。下面描述的所述实 施例是为了通过参照附图说明此总体专利技术的构思。可以理解，当一个层被称 为在"另一个，，层或基体上时，其可以直接在该另一个层或基体上，或者也 可以出现介入层。此外，所述喷墨打印头中的喷墨的每个部件可以利用与此 处做为例子描述的材料不同材料形成，并且制造所述喷墨打印头的方法中的 处理顺序可以不同。图1是示出根据此总体专利技术构思的实施例的热喷墨打印头的简要平面图，而图2是示出所述热喷墨打印头沿着图i的n - ir线截取的截面图。参照图l和图2，根据此总体专利技术构思的实施例的所述喷墨打印头包括 基体IIO，在该基体上形成有多个材料层，形成在所述基体110上的腔室层 120,和形成在所述腔室层120上的喷嘴层130。所述基体110可以是硅基体。 所述基体110包括墨水供给孔111以供给墨水。在此实施例中，所述腔室层 120和所述喷嘴层130中的至少一个由酰亚胺硅树脂形成。在基体110上形成的所述材料层包括按顺序形成在该基体110上的隔离 层112，加热器114,电极116,以及钝化层118。更详细的说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨打印头，包括：　形成有多个加热器以加热墨水以便产生墨水气泡的基体；　形成在所述基体上以限定多个墨水腔室的腔室层；和　形成在所述腔室层上以限定多个喷嘴的喷嘴层，　其中所述腔室层和所述喷嘴层中的至少一个由酰亚胺硅树脂形成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴性俊，权明钟，金敬镒，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]