喷墨打印头及其制造方法技术

一种喷墨打印头及其制造方法，所述喷墨打印头包括：基底；腔室层，在基底的上部限定墨水腔室；粘合剂部分，使基底和腔室层粘合，其中，粘合剂部分由酚醛感光树脂形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体构思涉及一种喷墨打印头，更具体地讲，涉及一种气泡喷墨 型喷墨打印头以及一种制造该气泡喷墨型喷墨打印头的方法。
技术介绍
通常，喷墨打印机的喷墨方法可以分成电-热转换型(electro-thermal transducer type )禾口电 一 才几举l^奂型(electro-mechanical transducer type), 电一转换型也称为气泡喷墨型。在电-热转换型中，使用热源在墨水中产生泡沫， 利用产生的泡沫的力喷射墨水。在电-机转换型中，利用压电材料喷射墨水， 使得根据由压电材料的变形而引起的墨水体积的改变而喷射墨水。在电-热转换型中，热被传递给与加热器接触的墨水，从而水溶性的墨 水的温度升高到墨水的沸点以上。因此，当墨水的温度升高到沸点以上时， 形成泡沫，这些泡沫向泡沫周围的墨水施加压力。被压迫的墨水由于大气压 力和墨水的压力之间的差而通过喷嘴喷射。当被喷射到纸上时，墨水形成墨 滴以使其表面能最小化。按需喷射型是这样一种类型，当需要时利用计算机 执行上述过程。电-热转换型在耐久性方面存在问题，这是因为热能产生的墨滴的压力 产生连续的沖击。此外，难以控制墨滴的大小，并且难以增加喷射墨滴的速度。近来，随着更高操作速度和高集成性需求的增加，正在开发包括与纸张 的宽度对应的喷墨打印头的阵列头型或者线头型。在电-机转换型中，压电材料附于膜片(diaphragm)上，以对打印头的 腔室进行加压。然后，当施加电压时，压力施加在腔室上以利用产生的力的压电特性喷墨。因此，根据施加的电压产生力，以将压力施加给腔室，从而 在速度方面具有良好的特性。电-热转换型喷墨打印头包括基底、腔室和喷嘴板。基底包括产生热的加热器和供应墨水的管(manifold)。腔室围绕加热器，并形成用于暂时储存 将被喷射的墨水的墨水腔室。喷嘴板设置在腔室的上方，并包括喷嘴，墨水 从所述喷嘴喷射，腔室使用由树脂基材料形成的粘合剂层附于基底上。当粘 合剂层由不感光的材料形成时，粘合剂层通过利用干蚀刻法或者湿蚀刻法进 行图案化而形成。当粘合剂层与储存在墨水腔室中的墨水局部接触时，即使 当粘合剂层与墨水长时间接触时，粘合剂层也应当不与墨水反应。因此，粘 合剂层必须具有高耐化学性。不感光粘合剂层通过光刻工艺使用光刻胶而被理想地图案化。因此，粘 合剂层形成在基底上，光刻胶施加在粘合剂层上。接着，具有期望图案的光 掩模形成在光刻胶上，并且紫外线照射在该光刻胶上，以按照期望的形式对 光刻胶进行图案化。接着，使用蚀刻溶液使光刻胶显影，通过利用蚀刻法按 照期望的图案对粘合剂层进行图案化。因此，当使用不感光粘合剂层时，还 需要使用光刻胶的工艺。此外，当粘合剂层的一部分与储存在墨水腔室中的墨水接触时，应该使 用具有这样的化学特性的粘合剂层，所述化学特性在于粘合剂层不与墨水 反应。因此，用于形成粘合剂层的材料受到限制。
技术实现思路
本专利技术总体构思提供一种，以通过使用感光材 料来减少制造工艺的数量，并包括被形成为不与墨水接触的粘合剂层。将在接下来的描述中部分阐述本专利技术总体构思另外的方面和用途，还有 一部分通过描述将是显而易见的，或者可以经过本专利技术总体构思的实施而得知。通过提供 一种喷墨打印头可实现本专利技术总体构思的上述和/或其它方面 和用途，所述喷墨打印头包括基底；腔室层，在基底的上部限定墨水腔室； 粘合剂部分，使基底和腔室层结合，其中，粘合剂部分由酚醛感光树脂形成。通过提供一种制造喷墨打印头的方法也可实现本专利技术总体构思的上述和 /或其它方面和用途，所述方法包括以下步骤在基底上形成至少一个热源和电极；在基底上形成由酚醛感光树脂形成的粘合剂部分；在粘合剂部分上形 成腔室层，以限定用于暂时储存将被喷射的墨水的墨水腔室，使得粘合剂部分不与墨水接触；在腔室层上形成喷嘴板，使得在喷嘴板上形成至少一个喷嘴。通过提供一种喷墨打印头可实现本专利技术总体构思的上述和/或其它方面和用途，所述喷墨打印头包括基底；腔室层，在基底的上部限定墨水腔室； 粘合剂部分，使基底和腔室层结合；其中，腔室层的至少一部分设置在墨水 腔室和粘合剂部分之间。腔室层可包括所述至少一部分和从所述至少一部分后退的中间部分，粘 合剂部分可设置在所述中间部分和基底之间。粘合剂部分可与墨水腔室隔开与腔室层的所述至少 一部分的厚度对应的 距离。腔室层可包括用于限定墨水腔室的表面，所述表面形成在腔室层的所述 至少一部分上。所述基底可包括形成在基底上的作为热源和电极的一层或者更多层，以 加热储存在墨水腔室中的墨水，粘合剂部分可与墨水隔开腔室层的所述至少 一部分的厚度。粘合剂部分的厚度可以比腔室层的厚度窄。粘合剂部分可以不暴露给墨水腔室。附图说明通过下面参照附图对本专利技术总体构思的示例性实施例进行的详细描述， 本专利技术总体构思的上述和其它特点和优点将会变得更加清楚，其中图1至图9是示出根据本专利技术总体构思实施例的制造喷墨打印头的方法 的截面图10是示出根据本专利技术总体构思实施例的检查喷墨打印头的粘合剂部 分的粘附性的方法的透视图。具体实施例方式现在将对本专利技术总体构思的实施例进行详细的描述，其示例表示在附图 中，其中，相同的标号始终表示相同的元件。下面通过参照附图对实施例进6行描述以解释本专利技术的总体构思。图1至图9是根据本专利技术总体构思实施例的制造喷墨打印头的方法的截面图。现在将参照附图描述根据本专利技术总体构思的本实施例形成的喷墨打印头 的结构。参照图9,管170和沟道160形成在基底100中，以将墨水700供应给 墨水腔室440。氧化物膜10形成在基底100上。热源120形成在氧化物膜 110上，以通过〗夸热施加纟合墨水700而形成泡沫。电才及130形成在热源120 上，以将电流供应给热源120。电极130通过保护层与墨水700隔绝开，以 防止储存在墨水腔室440中的墨水700与电极130接触而腐蚀电极130。喷 墨打印头还包括钝化层140和抗气蚀层150。腔室层430形成在基底100的上部以限定墨水腔室440,腔室层430附 于基底100的上侧，更具体地讲，通过粘合剂部分230附于钝化层140上。 粘合剂部分230完全被腔室层430覆盖，因此不暴露到外部。因此，粘合剂 部分230不与储存在墨水腔室440中的墨水700接触。因此，可防止粘合剂 部分230和储存在墨水腔室440中的墨水700之间的化学反应的发生。这里， 设置在腔室层430和基底IOO之间的上述层，例如，钝化层140、电极130、 热源20和/或氧化物层IIO可被称为基底100。腔室层430可包括中间部分430a和设置在中间部分430a的相对的两侧 的外部430b和430c。粘合剂部分230形成在中间部分430a和钝化层140之 间。当中间部分430a具有凹槽形时，粘合剂部分230可i更置在中间部分430a 中。由于外部430b和430c直接接触钝化层140,所以粘合剂部分230与腔室 层430的限定墨水腔室的表面隔开一定距离，4吏得外部430b和/或430c防止 储存在墨水腔室430中的墨水与粘合剂部分230接触。腔室层430可以具有中间部分430a和外部430b。腔室层430的外部能够设置在粘合剂部分230和部分抗气蚀层150之间。 形成喷嘴板600以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨打印头，包括：　基底；　腔室层，在基底的上部限定墨水腔室；　粘合剂部分，使基底和腔室层结合，　其中，粘合剂部分由酚醛感光树脂形成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴性俊，朴炳夏，沈东植，闵慧荣，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]