本发明专利技术消除基于移动台的移动分辨率产生的拍摄范围的累积误差，使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。本发明专利技术的液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且所述液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于该移动变动而修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，并修正累积误差，所述累积误差是基于伴随移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生的。累积误差的修正是通过在多次的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术消除基于移动台的移动分辨率产生的拍摄范围的累积误差，使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。本专利技术的液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且所述液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于该移动变动而修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，并修正累积误差，所述累积误差是基于伴随移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生的。累积误差的修正是通过在多次的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。【专利说明】
本专利技术涉及一种使用对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶阵列(array)的液晶阵列检查装置，尤其是涉及拍摄图像的获取。
技术介绍
在液晶阵列检查装置中，可使用扫描图像，该扫描图像是将电子束(eIectronbeam)或离子束(ion beam)等带电粒子束在基板上二维地扫描而获得的。例如，在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)显示装置的TFT阵列基板的制造步骤中，检查所制造的TFT阵列基板要进行是否会正确地驱动。在该TFT阵列基板检查中，使用例如电子束作为带电粒子束对TFT阵列基板进行扫描，并基于通过扫描而获取的拍摄图像来进行检查。(专利文献1、2)作为阵列检查装置的示例，已知有如下的阵列检查装置，即，例如对检查对象的液晶基板的阵列施加检查信号，将电子束或离子束等带电粒子束在基板上二维地扫描，基于通过粒子束扫描而获得的拍摄图像来进行基板检查。在阵列检查中，利用光电倍增管(photomultiplier)等将通过电子束的照射而发射出的二次电子转换为模拟(analog)信号而进行检测，基于该检测信号的信号强度来判定阵列缺陷。阵列检查是检测通过扫描而获得的拍摄图像上的像素(pixel)位置，并基于所检测的像素位置上的拍摄图像的信号强度而进行。像素位置的检测是通过如下方式进行:对拍摄图像进行图像处理而检测像素坐标，配合设定在液晶基板的像素配置排列所检测出的像素坐标。当在拍摄图像上检测像素位置时，存在拍摄图像上的像素位置因载置液晶基板的台(stage)的移动误差等而产生位置偏差的情况。如此一来，如果基于产生位置偏差的拍摄图像来检测像素位置，有时会产生如下不良情况:相对于基板而设定的像素位置与检测出的像素位置之间产生偏差，而相对于所设定的像素位置不同的像素建立对应关系。所检测出的像素位置的位置偏差成为使缺陷检测的精度降低的因素，且会产生将缺陷像素判定为正常、或将正常像素判定为缺陷等错误判定。因此，为了消除这种不良情况以提高缺陷的检测精度，而对拍摄图像要求较高的位置精度。
技术介绍
文献专利文献专利文献1:日本专利特开2004-271516号公报专利文献2:日本专利特开2004-309488号公报
技术实现思路
液晶基板的拍摄图像是通过使载置着液晶基板的移动台移动并且利用带电粒子对液晶基板上进行扫描而进行。在通过将带电粒子在基板上扫描而获取液晶基板的拍摄图像的情况下，由一次扫描的拍摄动作所获取的拍摄范围有限。因此，为了针对液晶基板的整体获取拍摄图像，必须通过重复拍摄动作而获取各拍摄范围的拍摄图像，并将这些多个拍摄图像相连。如此一来，在要通过将多个拍摄图像相连而针对液晶基板的整体获取拍摄图像时，要求各拍摄图像不存在位置偏差。然而，因为通常情况下台动作等机械动作包含误差，所以因该误差而导致拍摄图像产生位置偏差。作为由机械动作所引起的位置偏差的因素，有驱动移动台的滚珠丝杠(ball screw)等驱动机构的膨胀。为了抑制这种拍摄图像的位置偏差的产生，必须修正拍摄动作的位置偏差。 为了修正该拍摄动作的位置偏差，而考虑在移动台上的预先决定的位置上设置标记(mark)，在移动台的动作中利用固定在检查装置侧的相机等摄影单元识别该标记，将在摄影图像上被检测出的标记位置与标记的基准位置进行比较，由此检测位置偏差并基于所检测出的位置偏差而修正拍摄动作。作为该拍摄动作的修正，考虑基于根据标记的识别求出的位置偏差而算出移动台的实际移动距离，并使用算出的实际移动间隔而修正移动台的移动速度或拍摄范围。图11、图12是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。图11表不移动台未产生位置偏差的情况的不例，图12表不移动台产生位置偏差的情况的示例。在图11中，在移动台未产生位置偏差的情况下，标记的设定位置(图11 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图11 (b))之间未产生位置偏差。在该情况下，进行各拍摄动作的台位置的移动间隔为固定的Ltl (图11 (C))。拍摄动作是基于该固定的移动间隔Lci而产生拍摄触发(trigger)(图11 (d))，并基于各拍摄触发进行拍摄。此外，拍摄触发可以在对移动台的移动量进行监控且该移动量成为移动间隔Ltl的时间点产生。各拍摄的拍摄徂围是对应于移动台的移动间隔L。而决定(图11 (e)),通过以该拍摄徂围进打拍摄而犾取拍摄图像(图11 (f))。在移动台不产生位置偏差的情况下，因为多个拍摄图像之间不产生位置偏差，所以可以通过将各拍摄图像相连而获取基板的整体的拍摄图像。在图12中，在移动台产生位置偏差的情况下，在标记的设定位置(图12 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图12(b))之间检测到位置偏差Al。该位置偏差Al表示例如从移动台的端部等基准位置到标记为止的距离之间产生的位置偏差量。基于该位置偏差Λ I而修正移动台的移动速度并且修正拍摄范围。通过拍摄范围的修正而将进行各拍摄动作的台位置的移动间隔修正为Lc (图12 (C))。拍摄动作是基于修正后的修正移动间隔Lc而产生拍摄触发(图12(d))，并基于各拍摄触发进行拍摄。此外，拍摄触发可以在对移动台的移动量进行监控且该移动量成为修正移动间隔Lc的时间点产生。各拍摄的拍摄范围是对应于移动台的修正移动间隔Lc而决定(图12(e))，通过将以各拍摄范围所获得的拍摄图像相连而获取整个拍摄图像(图12 (f))。 本申请的【专利技术者】发现，存在即便通过如上所述那样修正移动台的移动速度或拍摄范围，也无法充分地修正移动台的位置偏差的情况，以及作为该情况的因素，有因修正量与移动台的移动分辨率的偏差而产生的修正误差的累积。移动台的位置修正是以移动分辨率为最小单位而进行。因此，只要位置偏差的修正量为移动分辨率的整数倍便可准确地将修正量修正，但在位置偏差的修正量并非移动分辨率的整数倍的情况下，在各拍摄范围内会产生修正误差，且各拍摄范围的修正误差在整个拍摄范围内会累积而产生累积误差。以该移动台的驱动机构的移动分辨率为因素的位置偏差的累积误差是即便仅修正移动台的移动速度或拍摄范围也无法被修正的位置误差。图13、图14是用以对累积误差进行说明的图，图13表不正累积误差的不例，图14表不负累积误差的不例。在图13、图14中，通过标记的设定位置(图13 (a)、图14 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图13 (b)、图14 (b))之间的位本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液晶阵列检查装置，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射带电粒子而获得的信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过所述拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列；其特征在于包括：移动部，移动所述液晶基板；拍摄部，每当随着由所述移动部移动所述液晶基板而该液晶基板以规定的移动间隔移动时开始拍摄，并在各拍摄动作中重复将该移动间隔作为拍摄范围的拍摄动作而获取多个分割拍摄图像；拍摄图像形成部，将所述多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像；变动检测部，检测所述移动部的移动变动；以及拍摄修正部，基于由所述变动检测部检测出的所述移动部的移动变动而修正所述拍摄部获取拍摄图像时的拍摄条件；且所述拍摄修正部基于所述移动变动的变动幅度及变动方向而修正所述拍摄条件。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：永井正道，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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