本发明专利技术提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置在处理室内，在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头（21）与冷却面板接触，通过热传递冷却冷却面板。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置在处理室内，在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头（21）与冷却面板接触，通过热传递冷却冷却面板。【专利说明】冷却装置
本专利技术涉及一种冷却装置，其具有冷冻机和由该冷冻机冷却的冷却面板，在配置有处理对象的处理室内使冷却面板的主面接近或接触处理对象从而冷却处理对象。
技术介绍
例如，在平板显示器面板的制造步骤中，作为处理对象的玻璃基板被依次传送到热处理装置、成膜装置或干蚀刻装置等各种真空处理装置，并对该玻璃基板表面分别实施各种处理。此处，以成膜处理为例进行说明，成膜处理中通常使用溅镀(以下称为“溅射”)装置，在溅射装置中，将由保持装置保持在真空处理室(下称“处理室”)内的玻璃基板和根据要成膜的薄膜成分而形成的靶相对配置，在处理室内形成等离子气氛使稀有气体的离子向着靶加速碰撞，由此使产生的溅射粒子(靶原子)散射，附着、堆积到基板表面而成膜。溅射成膜时，由于溅射粒子与基板表面的碰撞或等离子体的辐射热导致基板温度上升。一旦基板温度上升，则其特性因在基板表面形成的薄膜而变化，所以成膜中需要冷却基板。以往，作为在处理室内冷却基板的冷却装置，已知例如专利文献I中的在紧密保持基板的台架内设置使冷却水循环的机构，通过和台架的热交换冷却基板的装置。然而，将处理对象依次传送到各种真空处理装置进行各种处理时，由于各处理装置的布局或处理对象品质管理等原 因，有时传送时的处理对象的姿势和在各处理装置上实施规定处理时的姿势(在上述溅射装置的例子中，是使玻璃基板的处理面与靶相对的姿势)彼此不同。因此，对于分别包括在各种处理装置内的冷却装置，近年来需要的是一种通用性高的产品，其具有在该处理装置内对应处理对象的姿势而改变姿势，能更有效地使处理对象冷却的结构。在这种情况下，如上述以往例，在使冷却水循环通过紧密保持着处理对象的台架的装置上，需要的是即便在改变台架的姿势时冷却水也不会漏出的结构，存在部件数量增加使装置结构复杂化的问题。现有技术文献专利文献专利文献I专利公开2008 - 281958号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题鉴于以上内容，本专利技术要解决的技术问题是提供一种具有通用性的冷却装置，其结构简单，可根据处理对象的姿势改变姿势并有效地冷却该处理对象。解决技术问题的手段为解决上述技术问题，本专利技术的冷却装置，其特征在于:具有冷冻机和由该冷冻机冷却的冷却面板，在配置有处理对象的处理室内使冷却面板的主面接近或接触处理对象冷却处理对象，以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时的冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面与处理对象分离时的冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板在第一姿势和第二姿势之间可自由摆动地设置在处理室内，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时，冷冻机的冷却部与冷却面板接触通过热传递使冷却面板冷却。根据本专利技术的冷却装置，由冷却面板和冷冻机构成，冷却面板设置为可自由摆动，由于可根据在组装本专利技术的冷却装置的各种真空处理室内的处理对象的姿势来使冷却面板摆动改变其姿势，所以通用性高。而且，因为只要具有至少仅在冷却面板改变姿势时使冷冻机的冷却部分回缩的结构即可，所以无需如上述以往例那样，设置用于防止冷却水泄漏的复杂结构，可简化冷却装置自身的结构。另外，例如，也可以如下方式使用上述冷却装置，预先将本专利技术的冷却装置的冷却面板设置在真空处理装置内，直到将处理对象传送到真空处理装置内为止，将冷却面板设置为不阻碍顺畅传送处理对象的姿势，使处理对象保持传送时的姿势装入真空处理装置内后，即根据装入真空处理装置内的处理对象的姿势，摆动冷却面板变为使其主面与处理对象接近或接触的姿势。此时，优选具有安装有所述冷却面板上的旋转轴、驱动该旋转轴旋转的第一驱动装置、以及驱动所述冷却部相对所述冷却面板自由进退的第二驱动装置，采用由第一驱动装置驱动旋转轴旋转，并且在冷却面板分别采取第一姿势和第二姿势时由第二驱动装置使冷却部与冷却面板接触的结构。由此，可实现只在采取第一姿势和第二姿势中的一种姿势时，冷却面板由冷冻机可靠地冷却的结构。然而，当处理对象是像平板显示器面板用的玻璃基板那样处理面的面积很大的情况下，以往使用的是冷却面板自身也和玻璃基板具有相同的面积的大型的产品，但是用冷冻机冷却该冷却面板时，冷却面板自身产生温度变化，所以不能均匀地冷却玻璃基板。因此，优选在旋转轴的轴方向上存在间隔地配置多台冷冻机。由此，通过从轴方向的多处同时对冷却面板进行冷却，抑制冷却面板自身发生温度变化，进而可使处理对象在其整个面上均匀冷却。另外，也可设置为除在旋转轴的轴方向上存在间隔地配置多台冷冻机外，再在与旋转轴的轴方向正交的方向上存在间隔且在轴方向存在间隔地配置多台冷冻机。再有，冷却面板优选还具有围绕处理对象的外周面的围绕部。由此，即便处理对象是平板显示器面板用的大面积玻璃基板的情况下，也可以可靠地冷却到处理对象的外周缘部。进而，所述冷却面板由多块面板体并列设置在同一平面内构成，所述冷却面板的面积大于等于处理对象的与其相对面的面积，所述面板体的面积小于所述相对面的面积。优选与所述冷却面板的面板体分别对应设置冷冻机。由此，即便是因冷冻机的个体差异而导致对冷却面板的传热量存在差异的情况下，只要控制各冷冻机，就可使各冷却面板的温度大致固定，乃至可以可靠地使处理对象在其整个面上均匀冷却。再有，在本专利技术中，所述冷却面板优选具有固定面板,所述固定面板随时与冷冻机接触；可动面板；连接件，所 述连接件以该固定面板为旋转中心摆动可动面板。由此，当可动面板上处理对象的负载发挥作用时冷却面板在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，可省去驱动冷冻机的机构，可设置成更简单的结构。【专利附图】【附图说明】图1是本专利技术第一实施方式的冷却装置的侧面图。图2是图1所示冷却装置的平面图。图3 (a)及(b)是说明冷却面板的变形例的平面图及剖面图。图4是示出本专利技术的第二实施方式的冷却装置的结构的平面图。图5 (a)~(C)是确认本专利技术的效果的实验结果的图表。图6是本专利技术第三实施方式的冷却装置的侧面图。图7是省略图1所示的冷却装置的一部份而示出的平面图。【具体实施方式】下面参照附图，以矩形的玻璃基板为处理对象，说明组装在溅镀装置或蚀刻装置等真空处理装置中的本专利技术的冷却装置的第一实施方式。另外，处理对象如果是在真空处理装置内进行规定处理的情况下需要冷却的物质的话，则也不限定于上述基板，例如在硅晶片等其他基板之外也可用于防沉积板等的冷却。下面，以在真空处理装置内将玻璃基板的处理面沿着铅垂方向装入并施以规定处理时的姿势为第一姿势，以玻璃基板的处理面沿水平方向的姿势为第二姿势来进行说明。再有，如无特别限定，示出“上”、“下”、“左”、“右”等方向的用语以图1为准。参照图1及图2，RU1是组装在图外的真空本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种冷却装置，具有冷冻机和由该冷冻机冷却的冷却面板，使冷却面板的主面接近或接触处理对象从而冷却处理对象，其特征在于：以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时的冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面与处理对象分离时的冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置为在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中的至少一种时，冷冻机的冷却部与冷却面板接触，通过热传递使冷却面板冷却。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：安田淳一，降矢新治，森本秀敏，増田行男，
申请(专利权)人：爱发科低温泵株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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