【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种加源场板增强型AlGaN/GaN HEMT器件结构,其特征在于:所述结构包括衬底、本征GaN层、AlN隔离层、本征AlGaN层、AlGaN掺杂层、p型GaN层、栅电极、源电极、漏电极、源场板、绝缘层、钝化层以及用于调节沟道电场的硅化物;所述AlGaN掺杂层位于本征AlGaN层之上,p型GaN层位于AlGaN掺杂层之上,源漏电极以及绝缘层位于AlGaN层之上,栅极位于p型GaN层之上,硅化物位于绝缘层之上;在衬底上外延生长增强型AlGaN/GaN异质结材料,并在该异质结材料上形成源极和漏极,然后淀积一层绝缘层,在绝缘层上的栅漏区域以及栅源区域间,形成硅化物,将厚绝缘层上的硅化物与源极电连接形成源场板结构;栅极下方存在p‑GaN外延层,形成增强型器件,最后淀积钝化层实现器件的钝化。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:冯倩,杜锴,马晓华,郑雪峰,代波,郝跃,
申请(专利权)人:西安电子科技大学,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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