【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
三维集成的多层堆叠结构微屏蔽MEMS滤波器组,其特征是包括A滤波器、B滤波器;所述的A滤波器包括A衬底和B衬底,其中在A衬底上表面沉积金属形成A微波耦合线谐振器、A信号引入传输线、A信号引出传输线及A接地金属面;将A衬底上表面和B衬底下表面对准,利用MEMS对准键合工艺形成A滤波器;所述的B滤波器包括C衬底和D衬底,在C衬底上表面上沉积金属形成B微波耦合线谐振器、B信号引入传输线、B信号引出传输线及B接地金属面,将C衬底上表面和D衬底下表面对准,利用MEMS对准键合工艺形成B滤波器;制作时,将A滤波器的B衬底上表面与B滤波器的C衬底下表面对准,利用MEMS对准键合工艺制成一体,并在A微波耦合线谐振器和B微波耦合线谐振器外侧区域由D衬底至A衬底自上而下刻蚀接地通孔阵列,对该接地通孔阵列进行电镀在通孔侧壁沉积金属,最终实现三维集成的多层堆叠结构微屏蔽MEMS滤波器的制作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郁元卫,侯芳,朱健,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第五十五研究所,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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